一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，包括机架以及安装在机架上的炉体升降组件，炉体升降组件上设置有炉体；炉体的内部设置有安装在固定板上的真空室，真空室底部连接有过渡腔；过渡腔一端连通有冷阱装置，过渡腔顶部设置有料框支架，且过渡腔内设置有内循环冷却系统；冷阱装置通过真空管路连通有真空机组；真空机组、过渡腔，以及真空室设置有冷却循环水系统；真空管路连接有气源供气系统；升降组件、炉体、内循环冷却系统、真空机组和气源供气系统连接有工控系统。本实用新型专利技术设计合理，降温更均匀，双罗茨泵真空机组的抽真空速度快，操作方便，能够提高设备的可靠性，大大提高磁性材料镝/铽扩渗炉生产的制品的质量和性能。

【技术实现步骤摘要】
一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉
本技术属于磁性材料镝/铽扩渗炉领域，更具体地说，涉及一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉。
技术介绍
磁性材料在高温烧结成坯块后继续进行镝/铽扩渗处理，可显著降低成本(降低重稀土使用量)，同时提高制品的矫顽力。镝/铽扩渗炉的高可靠性主要体现在高极限真空度、温度均匀度和快速冷却。但是目前的扩渗炉还不能达到这个要求。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供了一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，设计合理，降温更均匀，双罗茨泵真空机组的抽真空速度快，冷态下可达到极限真空度6.0*10-4Pa，工艺气体恒压(可设定)控制系统能够保证镝/铽扩渗工艺气氛，带有垂直导轨的升降动力系统使真空室和炉体的升降更平稳，提高炉体和真空室的使用寿命，独立的工控系统实现集中控制，操作方便，能够提高设备的可靠性，大大提高磁性材料镝/铽扩渗炉生产的制品的质量和性能，实用性强，适于推广。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，其特征在于：包括机架以及安装在机架上的炉体升降组件，炉体升降组件上设置有炉体；所述炉体的内部设置有安装在固定板上的真空室，真空室底部连接有过渡腔；所述过渡腔一端连通有冷阱装置，过渡腔顶部设置有料框支架，且过渡腔内设置有内循环冷却系统；所述冷阱装置通过真空管路连通有真空机组；真空机组、过渡腔，以及真空室设置有冷却循环水系统；所述真空管路连接有气源供气系统；所述炉体升降组件、炉体、内循环冷却系统、真空机组和气源供气系统连接有工控系统。作为一种优化的技术方案，所述炉体升降组件包括安装在机架中部且垂直向上设置的导轨，导轨内侧设置有升降动力系统；升降动力系统设置有螺杆、液压杆、链轮链条、齿轮齿条，且连接固定板实现固定板及炉体平稳的上升或者下降。作为一种优化的技术方案，所述炉体为立式加热炉体，内部装有螺旋形铁铬铝电阻丝加热元件，加热炉体内部装有水冷真空室。作为一种优化的技术方案，所述过渡腔设置有内循环冷却系统，顶部料框支架，一端连接有冷阱装置；所述内循环冷却系统包括安装在过渡腔内的离心风机和热交换器；所述离心风机连接工控系统。作为一种优化的技术方案，所述工控系统包括控制柜体，控制柜体包含工控机以及安装在控制柜体内的电器元件，电器元件负责功率加热及温度控制系统，工控机负责控制设备自动运行、报警和提示。作为一种优化的技术方案，所述气源供气系统包括供气管道、气体流量控制器、控制阀门、压力控制系统，通过流量控制器控制气体流量，经过供气管道连接到真空管路，压力控制系统负责进行可设定的工艺气体恒压控制。作为一种优化的技术方案，所述真空机组包括扩散泵、双罗茨泵、前级泵、维持泵、真空阀门及波纹管；所述双罗茨泵由主次二个罗茨泵串联组成；所述维持泵连接扩散泵，负责对扩散泵进行预热或冷却抽真空。由于采用了上述技术方案，与现有技术相比，设计合理，降温更均匀，双罗茨泵真空机组的抽真空速度快，冷态下可达到极限真空度6.0*10-4Pa，工艺气体恒压(可设定)控制系统能够保证镝/铽扩渗工艺气氛，带有垂直导轨的升降动力系统使真空室和炉体的升降更平稳，提高炉体和真空室的使用寿命，独立的工控系统实现集中控制，操作方便，能够提高设备的可靠性，大大提高磁性材料镝/铽扩渗炉生产的制品的质量和性能，实用性强，适于推广。参照附图和实施例对本技术做进一步说明。附图说明图1为本技术一种实施例的正面结构示意图；图2为本技术一种实施例的截侧面结构示意图。具体实施方式实施例如图1-2所示，一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，包括机架以及安装在机架上的炉体升降组件4，升降组件4上设置有炉体3；所述炉体3的内部设置有安装在固定板上的真空室2，所述真空室2底部连接有过渡腔5；所述过渡腔5一端连通有冷阱装置6，所述过渡腔5顶部设置有料框支架1，且过渡腔5内设置有内循环冷却系统9；所述冷阱装置6通过真空管路连通有真空机组7；真空机组7、过渡腔5，以及真空室2设置有冷却循环水系统；所述真空管路连接有气源供气系统10；所述炉体升降组件4、炉体3、内循环冷却系统9、真空机组7和气源供气系统10连接有工控系统8。所述炉体升降组件4包括安装在机架中部且垂直向上设置的导轨，导轨内侧设置有升降动力系统；升降动力系统设置有螺杆、液压杆、链轮链条、齿轮齿条，且连接固定板实现固定板及炉体平稳的上升或者下降。所述炉体3为立式加热炉体，内部装有螺旋形铁铬铝电阻丝加热元件。加热炉体内部装有水冷真空室2，真空室底部连接有过渡腔5。所述过渡腔5设置有内循环冷却系统9，顶部料框支架1，一端连接有冷阱装置6；所述内循环冷却系统9包括安装在过渡腔5内的离心风机和热交换器；所述离心风机连接工控系统8。所述工控系统8包括控制柜体，控制柜体包含工控机以及安装在控制柜体内的电器元件，电器元件负责功率加热及温度控制系统，工控机负责控制设备自动运行、报警和提示。所述气源供气系统10包括供气管道、气体流量控制器、控制阀门、压力控制系统，通过流量控制器控制气体流量，经过供气管道连接到真空管路，压力控制系统负责进行可设定的工艺气体恒压控制。所述真空机组7包括扩散泵、双罗茨泵、前级泵、维持泵、真空阀门及波纹管；所述双罗茨泵由主次二个罗茨泵串联组成；所述维持泵连接扩散泵，负责对扩散泵进行预热或冷却抽真空。工艺开始时，炉体3内的真空室2中的料筐支架1上放置原材料，将真空室2与过渡腔5的固定板固定，炉体3与真空室2压紧连接，工控系统8控制真空机组7自动抽真空，当真空度达到设定值时，工控系统8的功率加热及电气温控系统开始给炉体3加热，立式加热结构使炉体3内温度更均匀，原材料受热更均匀。工艺结束时，加热自动断电，炉体3和真空室2之间的连接断开，炉体升降组件4自动带着炉体3上升、离开真空室2，从外部给真空室2内的坯件降温，同时内循环冷却系统9自动启动，真空室2通入惰性气体，从内部给真空室2内的坯件降温，双重降温，效率更高。冷却完成后，真空室2和过渡腔5之间的连接断开，炉体升降组件4带着炉体3下降，真空室2和炉体3连接固定，炉体升降组件4带着真空室2和炉体3上升，可从料筐支架1上直接取料。设计合理，降温更均匀，双罗茨泵真空机组的抽真空速度快，冷态下可达到极限真空度6.0*10-4Pa，工艺气体恒压(可设定)控制系统能够保证镝/铽扩渗工艺气氛，带有垂直导轨的升降动力系统使真空室和炉体的升降更平稳，提高炉体和真空室的使用寿命，独立的工控系统实现集中控制，操作方便，能够提高设备的可靠性，大大提高磁性材料镝/铽扩渗炉生产的制品的质量和性能，实用性强，适于推广。本技术的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本技术思路下的技术方案均属于本技术的保护范围。应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，其特征在于：包括机架以及安装在机架上的炉体升降组件，炉体升降组件上设置有炉体；所述炉体的内部设置有安装在固定板上的真空室，真空室底部连接有过渡腔；所述过渡腔一端连通有冷阱装置，过渡腔顶部设置有料框支架，且过渡腔内设置有内循环冷却系统；所述冷阱装置通过真空管路连通有真空机组；真空机组、过渡腔，以及真空室设置有冷却循环水系统；所述真空管路连接有气源供气系统；所述炉体升降组件、炉体、内循环冷却系统、真空机组和气源供气系统连接有工控系统。

【技术特征摘要】
1.一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，其特征在于：包括机架以及安装在机架上的炉体升降组件，炉体升降组件上设置有炉体；所述炉体的内部设置有安装在固定板上的真空室，真空室底部连接有过渡腔；所述过渡腔一端连通有冷阱装置，过渡腔顶部设置有料框支架，且过渡腔内设置有内循环冷却系统；所述冷阱装置通过真空管路连通有真空机组；真空机组、过渡腔，以及真空室设置有冷却循环水系统；所述真空管路连接有气源供气系统；所述炉体升降组件、炉体、内循环冷却系统、真空机组和气源供气系统连接有工控系统。2.根据权利要求1所述的一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，其特征在于：所述炉体升降组件包括安装在机架中部且垂直向上设置的导轨，导轨内侧设置有升降动力系统；升降动力系统设置有螺杆、液压杆、链轮链条、齿轮齿条，且连接固定板实现固定板及炉体平稳的上升或者下降。3.根据权利要求2所述的一种新型磁性材料镝/铽扩渗炉，其特征在于：所述炉体为立式加热炉体，内部装有螺旋形铁铬铝电阻丝加热元件；加热炉体内部装有水冷真空室。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘洋，
申请(专利权)人：青岛精诚华旗微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37