放射线光栅检测器和X射线检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供放射线光栅检测器和X射线检查装置。该放射线光栅检测器具备：光栅部，其构成第一光栅、第二光栅以及第三光栅中的至少第二光栅，并且形成使放射线透过的开口部以外的非开口部；以及检测部，其设置于非开口部，用于检测透过光栅部后入射的放射线。

Radiation grating detector and X ray inspection device

The invention provides a radiation grating detector and a X ray inspection device. The radial grating detector is provided with a grating portion which constitutes at least a second grating in the first grating, the second grating and the third grating, and forms a non-opening portion other than the opening portion through which the radiation is transmitted; and a detection portion which is arranged at the non-opening portion for detecting the radiation incident after passing through the grating portion.

【技术实现步骤摘要】
放射线光栅检测器和X射线检查装置
本专利技术涉及一种放射线光栅检测器和X射线检查装置，特别是涉及一种设置有用于拍摄X射线的相位的光栅部的放射线光栅检测器和X射线检查装置。
技术介绍
以往，已知一种设置有用于拍摄X射线的相位的光栅部的X射线检查装置。这种X射线检查装置例如在日本特开2012-127685号公报中被公开。另外，在日本特开2012-127685号公报中公开了一种具备X射线源(X射线照射部)、多狭缝(第一光栅)、第一衍射光栅(第二光栅)、第二衍射光栅(第三光栅)以及X射线图像检测器(透过X射线检测部)的X射线摄像装置(X射线检查装置)。另外，公开了第一硅层和金属光栅，该金属光栅形成在第一硅层上，且由沿一个方向行状地延伸的多个第二硅部分与沿一个方向行状地延伸的多个金属部分(光栅部)交替且平行地配置而成。另外，构成为使金属光栅的第二硅部分(无光栅部的部分)发挥使X射线透过的功能，使金属光栅的金属部分(光栅部)发挥吸收X射线的功能。另外，多狭缝、第一衍射光栅以及第二衍射光栅由上述金属光栅构成。具体地说，从X射线源朝向用于产生低效的多狭缝(第一光栅)照射X射线，该低效应是指仅使相位一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种放射线光栅检测器，使用于包括第一光栅、第二光栅以及第三光栅中的至少所述第二光栅的X射线检查装置，其中，所述第一光栅用于将所入射的放射线变为多点光源来获得相干性，所述第二光栅用于生成所入射的所述放射线的光栅像，所述第三光栅用于在生成所述光栅像的位置处吸收并屏蔽所述放射线，所述放射线光栅检测器具备：光栅部，其构成所述第一光栅、所述第二光栅以及所述第三光栅中的至少所述第二光栅，并且形成使所述放射线透过的开口部以外的非开口部；以及检测部，其设置于所述非开口部，对透过所述光栅部后入射的所述放射线进行检测。

【技术特征摘要】
2017.03.15 JP 2017-0502261.一种放射线光栅检测器，使用于包括第一光栅、第二光栅以及第三光栅中的至少所述第二光栅的X射线检查装置，其中，所述第一光栅用于将所入射的放射线变为多点光源来获得相干性，所述第二光栅用于生成所入射的所述放射线的光栅像，所述第三光栅用于在生成所述光栅像的位置处吸收并屏蔽所述放射线，所述放射线光栅检测器具备：光栅部，其构成所述第一光栅、所述第二光栅以及所述第三光栅中的至少所述第二光栅，并且形成使所述放射线透过的开口部以外的非开口部；以及检测部，其设置于所述非开口部，对透过所述光栅部后入射的所述放射线进行检测。2.根据权利要求1所述的放射线光栅检测器，其特征在于，所述检测部包括与各像素对应的多个检测元件，各所述检测元件直接或间接地检测向所述非开口部入射的所述放射线并输出电信号。3.根据权利要求2所述的放射线光栅检测器，其特征在于，所述检测部还包括闪烁体，该闪烁体将所入射的所述放射线转换为频率比所述放射线的频率低的光，所述检测元件由光电转换元件构成，该光电转换元件检测由所述闪烁体进行转换得到的低频率的所述光并输出电信号。4.根据权利要求3所述的放射线光栅检测器，其特征在于，所述光栅部通过使所述闪烁体的在所述放射线的入射方向上的厚度增大，来作为吸收所入射的所述放射线以避免该放射线透过的吸收光栅发挥功能以构成所述第一光栅、所述第二光栅或所述第三光栅，所述光栅部通过使所述闪烁体的在所述放射线的入射方向上的厚度减小，来作为改变所入射的所述放射线的相位的相位光栅发挥功能以构成所述第二光栅。5.根据权利要求3或4所述的放射线光栅检测器，其特征在于，还具备透明基板，该透明基板设置有所述闪烁体且使所述放射线透过，所述透明基板构成为能够与所述闪烁体一起相对于设置有所述光电转换元件的元件基板中的一个元件基板进行装卸。6.根据权利要求2所述的放射线光栅检测器，其特征在于，所述检测元件由半导体检测元件构成，该半导体检测元件包括：半导体转换膜，其将所入射的所述放射线转换为电流；以及电极，其输出由所述半导体转换膜进行转换得到的电流信号。7.根据权利要求6所述的放射线光栅检测器，其特征在于，通过将所述半导体转换膜的材质设为重元素或者形成厚的所述电极，来作为吸收所入射的所述放射线以避免该放射线透过的吸收光栅发挥功能以构成所述第一光栅、所述第二光栅或所述第三光栅，通过将所述半导体转换膜的材质设为轻元素或者形成薄的所述电极，来作为改变所入射的所述放射线的相位的相位光栅发挥功能以构成所述第二光栅。8.一种X射线检查装置，具备：X射线照射部，其向被检体照射X射线；第一光栅、第二光栅以及第三光栅中的至少所述第二光栅，所述第一光栅用于使所入射的X射线的相位一致，所述第二光栅用于生成所入射的所述X射线的光栅像，所述第三光栅用于在生成所述光栅像的位置处吸收并屏蔽所述X射线；以及透过X射线检测部，其对透过了所述第一光栅、所述被检体、所述第二光栅以及所述第三光栅的所述X射线进行检测，其中，所述第一光栅、所述第二光栅以及所述第三光栅包括：光栅部，其构成所述第一光栅、所述第二光栅以及所述第三光栅中的至少所述第二光栅，并且形成使所述X射线透过的开口部以外的非开口部；以及光栅检测部，其设置于所述非开口部，对透过所述光栅部后入射的所述X射线进行检测。9.根据权利要求8所述的X射线检...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐野哲，大井淳一，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP