一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，涉及化学机械抛光技术领域，它包括抛光辊电机、抛光辊、矩形抛光液喷头、电机支撑板、轨道、中空抛光带、液压升降装置、丝杠、联轴器、丝杠电机、流体压力传感器；本实用新型专利技术可以实时测试不锈钢带不同位置的流体压力，同时也可以单独测试不同抛光压力下、不同抛光速度以及不同流量抛光液等情况下的流体压力，抛光液输送装置采用矩形双侧喷头，保证两侧的抛光辊上的抛光液进给量相同，提高了抛光的效率，从节省空间的方面考虑，抛光机机架采用立式机架，空间利用率高，同时保证了抛光质量，大大降低加工成本，以满足人们的基本要求，具有很好的实用价值。

A stainless steel CMP device with the function of fluid pressure test

The utility model discloses a stainless steel CMP device with fluid pressure testing function, which relates to the technical field of chemical mechanical polishing. The device comprises a polishing roller motor, a polishing roller, a rectangular polishing fluid nozzle, a motor support plate, a track, a hollow polishing belt, a hydraulic lifting device, a screw, a coupling, a screw motor, and a fluid pressure. The utility model can measure the fluid pressure at different positions of the stainless steel belt in real time, and can also test the fluid pressure at different polishing pressures, polishing speeds and polishing fluids with different flow rates. The polishing fluids conveying device adopts rectangular bilateral sprinklers to ensure the polishing of the polishing rolls on both sides. Considering the space saving, the vertical frame of polishing machine is adopted, which has high space utilization rate, ensures the polishing quality, greatly reduces the processing cost, and meets the basic requirements of people. It has good practical value.

【技术实现步骤摘要】
一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置
本技术涉及化学机械抛光，特别是一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置。
技术介绍
目前，在我们国家，随着智能时代的到来，智能手机，平板，液晶电视等电子显示设备随处可见，作为显示器柔性衬底材料的不锈钢对表面的粗糙度和平整度要求越来越高。化学机械抛光作为抛光不锈钢表面的一种方式，抛光过程中存在的流体压力对抛光的材料去除率以及工件的表面粗糙度影响较大，流体压力过大或者过小都会降低抛光质量。
技术实现思路
本技术的目的是要提供一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置。为达到上述目的，本技术是按照以下技术方案实施的：一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，包括机架，所述机架的底板上固定设置有两个平行的轨道，所述轨道上部设置有丝杠，所述丝杠的一端通过联轴器连接有丝杠电机，所述丝杠的另一端通过轴承安装在轴承底座上，所述轴承底座固定在所述机架的底板上，所述丝杠电机固定在所述机架的底板上，所述丝杠贯穿的连接有滑块，所述滑块可移动的连接在所述轨道上，所述滑块上部固定安装有液压升降装置，所述液压升降装置上部固定连接有抛光带，所述抛光带上安装有多个流体压力传感器，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，包括机架，其特征在于：所述机架的底板上固定设置有两个平行的轨道，所述轨道上部设置有丝杠，所述丝杠的一端通过联轴器连接有丝杠电机，所述丝杠的另一端通过轴承安装在轴承底座上，所述轴承底座固定在所述机架的底板上，所述丝杠电机固定在所述机架的底板上，所述丝杠贯穿的连接有滑块，所述滑块可移动的连接在所述轨道上，所述滑块上部固定安装有液压升降装置，所述液压升降装置上部固定连接有抛光带，所述抛光带上安装有多个流体压力传感器，所述机架的两个侧壁之间有两个抛光辊，所述的两个抛光辊逆时针运转，所述的两个抛光辊通过固定在所述机架侧壁的抛光辊电机驱动，所述抛光辊电机固定在...

【技术特征摘要】
1.一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，包括机架，其特征在于：所述机架的底板上固定设置有两个平行的轨道，所述轨道上部设置有丝杠，所述丝杠的一端通过联轴器连接有丝杠电机，所述丝杠的另一端通过轴承安装在轴承底座上，所述轴承底座固定在所述机架的底板上，所述丝杠电机固定在所述机架的底板上，所述丝杠贯穿的连接有滑块，所述滑块可移动的连接在所述轨道上，所述滑块上部固定安装有液压升降装置，所述液压升降装置上部固定连接有抛光带，所述抛光带上安装有多个流体压力传感器，所述机架的两个侧壁之间有两个抛光辊，所述的两个抛光辊逆时针运转，所述的两个抛光辊通过固定在所述机架侧壁的抛光辊电机驱动，所述抛光辊电机固定在所述机架的侧壁外部，所述的两个抛光辊设置在所述抛光带的上部，所述的两...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏翱翔，邓爽爽，
申请(专利权)人：佛山科学技术学院，
类型：新型
国别省市：广东,44