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本实用新型公开了一种带流体压力测试功能的不锈钢CMP装置，涉及化学机械抛光技术领域，它包括抛光辊电机、抛光辊、矩形抛光液喷头、电机支撑板、轨道、中空抛光带、液压升降装置、丝杠、联轴器、丝杠电机、流体压力传感器；本实用新型可以实时测试不锈钢带...
该专利属于佛山科学技术学院所有，仅供学习研究参考，未经过佛山科学技术学院授权不得商用。

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