化学品更换智能防呆系统及方法技术方案

本发明专利技术涉及一种化学品更换智能防呆系统，包括设备化学品更换控制系统、化学品更换智能推车，设备化学品更换控制系统包括化学品更换防呆服务器、设备通信终端。化学品更换防呆服务器包括设备化学品容器监控模块、服务器化学品信息匹配模块、智能推车对接模块，化学品更换智能推车包括推车组合柜、推车化学品更换控制系统，推车组合柜包括若干化学品储存分柜，推车化学品更换控制系统包括化学品储存分柜监控模块、化学品识别模块、推车化学品信息匹配模块、设备通信终端对接模块、人机交互触摸屏。本发明专利技术防呆方法包括取品、换品、回收等步骤。本发明专利技术采用智能信息识别装置在更换化学品前检验物品信息的正确性，具有更换化学品智能防呆的特点。

【技术实现步骤摘要】
化学品更换智能防呆系统及方法
本专利技术涉及一种化学品补充更换系统及方法，特别涉及一种在半导体生产光刻工艺中更换化学品原料的智能防呆系统及方法，属于半导体生产设备领域。
技术介绍
光刻工艺是集成电路制造的核心，在光刻工艺中有一项重要的涂胶工艺，在该涂胶工艺中，化学制剂通常装在一个特殊的瓶子中，和光刻胶等化学制剂存储在专门的柜子中，需要使用时拿到机台的特殊管道上连接供机台抽取使用。当瓶中的化学物质抽光之后，机台会报警提示更换一瓶新的化学制剂。集成电路制造过程中需要频繁的更换该类化学品，而该类化学物质通常具有毒性，应当严格核实名称、批次、有效期、瓶号等信息，如果更换错误或更换不及时，就会导致严重问题的产生。现有的防呆系统分为瓶盖与瓶口两部分，利用不同位置上的缺口区分不同型号的化学品，如果化学品更换错误则无法盖上瓶盖继续使用，起到防呆作用。但是，当发现更换错误时，化学品本身以及设备端瓶盖已经被污染，化学品将报废，设备端瓶盖甚至与其连接的管路都需要清洗，给生产带来了极为不利的影响。
技术实现思路
本专利技术化学品更换智能防呆系统及方法公开了新的方案，采用智能信息识别装置在更换化学品前检验物品信息本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.化学品更换智能防呆系统，其特征是包括设备化学品更换控制系统、化学品更换智能推车，所述设备化学品更换控制系统包括化学品更换防呆服务器、设备通信终端，所述设备通信终端与所述化学品更换防呆服务器通信连接，所述化学品更换防呆服务器通过所述设备通信终端与所述化学品更换智能推车通信连接，操作人员利用所述化学品更换智能推车完成化学品的提取、运输、更换操作；所述化学品更换防呆服务器包括设备化学品容器监控模块、服务器化学品信息匹配模块、智能推车对接模块，所述化学品更换智能推车包括推车组合柜、推车化学品更换控制系统，所述推车组合柜包括若干化学品储存分柜，所述推车化学品更换控制系统包括化学品储存分柜监控模块、化...

【技术特征摘要】
1.化学品更换智能防呆系统，其特征是包括设备化学品更换控制系统、化学品更换智能推车，所述设备化学品更换控制系统包括化学品更换防呆服务器、设备通信终端，所述设备通信终端与所述化学品更换防呆服务器通信连接，所述化学品更换防呆服务器通过所述设备通信终端与所述化学品更换智能推车通信连接，操作人员利用所述化学品更换智能推车完成化学品的提取、运输、更换操作；所述化学品更换防呆服务器包括设备化学品容器监控模块、服务器化学品信息匹配模块、智能推车对接模块，所述化学品更换智能推车包括推车组合柜、推车化学品更换控制系统，所述推车组合柜包括若干化学品储存分柜，所述推车化学品更换控制系统包括化学品储存分柜监控模块、化学品识别模块、推车化学品信息匹配模块、设备通信终端对接模块、人机交互触摸屏，操作人员通过所述人机交互触摸屏与所述推车化学品更换控制系统进行信息交互。2.根据权利要求1所述的化学品更换智能防呆系统，其特征在于，所述推车组合柜是长方体结构，所述推车组合柜的上部边缘上设有手推把杆，所述手推把杆是“工”形结构，所述推车组合柜的下部四个角端上分别设有万向轮，所述推车组合柜通过所述万向轮实现自由转向运动。3.根据权利要求1所述的化学品更换智能防呆系统，其特征在于，所述推车化学品更换控制系统还包括声光报警模块，所述推车化学品更换控制系统通过所述人机交互触摸屏提示出错信息同时启动所述声光报警模块提示操作人员注意。4.化学品更换智能防呆方法，化学品更换智能防呆方法通过化学品更换智能防呆系统实现，所述化学品更换智能防呆系统包括设备化学品更换控制系统、化学品更换智能推车，所述设备化学品更换控制系统包括化学品更换防呆服务器、设备通信终端，所述设备通信终端与所述化学品更换防呆服务器通信连接，所述化学品更换防呆服务器通过所述设备通信终端与所述化学品更换智能推车通信连接，所述化学品更换防呆服务器包括设备化学品容器监控模块、服务器化学品信息匹配模块、智能推车对接模块，所述化学品更换智能推车包括推车组合柜、推车化学品更换控制系统，所述推车组合柜包括若干化学品储存分柜，所述推车化学品更换控制系统包括化学品储存分柜监控模块、化学品识别模块、推车化学品信息匹配模块、设备通信终端对接模块、人机交互触摸屏，操作人员通过所述人机交互触摸屏与所述推车化学品更换控制系统进行信息交互，其特征是包括以下步骤：⑴化学品更换防呆服务器根据设备通信终端发来的请求更换化学品信息向化学品更换智能推车发送作业指令，操作人员根据收到的作业指令将化学品更换智能推车移动至取品处启动取品作业；⑵推车化学品更换控制系统通过化学品储存分柜监控模块检查推车组合柜内化学品储存分柜的空闲状态后根据有空闲分柜信息解锁空闲分柜的柜门，操作人员将通过化学品识别模块识别后的更换新品放入空闲分柜；⑶化学品储存分柜监控模块根据推车化学品信息匹配模块传送的化学品识别模块传送来的更换新品信息与化学品更换防呆服务器传送来的请求更换化学品信息比对一致的信息锁定分柜柜门；⑷操作人员将化学...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵德闻，
申请(专利权)人：玄创半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31