替换毛细管的方法技术

一种替换包括持拿毛细管的持拿单元的引线键合装置的毛细管的方法包括响应于从引线键合装置接收替换开始信号通过移动机器人将毛细管替换单元传送到引线键合装置、通过毛细管替换单元使与替换开始信号对应的毛细管与引线键合装置分离、以及通过毛细管替换单元将新毛细管安装在引线键合装置中。

【技术实现步骤摘要】
替换毛细管的方法
本专利技术构思的实施方式涉及替换毛细管的方法。部
技术介绍

技术介绍
引线键合工艺可以是用于制造半导体封装的工艺的部分。半导体芯片可以通过引线键合工艺由金线电连接到基板，因而电信号能在半导体芯片与基板之间传输。因此，半导体封装可以具有电特性。引线键合工艺中使用的毛细管是沿着其上将设置金线的轨迹直接键合金线的细管。因为此毛细管是具有有限使用时间的消耗部件，所以它是当其寿命终止时需要用新毛细管替换的替换部件。在传统技术中，工作人员手动地将引线键合装置的毛细管替换以新毛细管。例如，当从引线键合装置接收到毛细管替换信号时，工作人员识别该替换信号并将毛细管替换以新毛细管。然而，这增加了替换毛细管的时间。此外，因为毛细管被手动地替换，所以可能会发生安装错误，这在工作未完成时会增加产品的故障率。
技术实现思路
本专利技术构思的实施方式可以提供自动替换毛细管的方法。根据一实施方式，一种替换包括持拿毛细管的持拿单元的引线键合装置的毛细管的方法包括：响应于从引线键合装置接收替换开始信号，通过移动机器人将毛细管替换单元传送到引线键合装置；通过毛细管替换单元使与替换开始信号对应的毛细管与引线键合装置分离；以及通过毛细管替换单元将新毛细管安装在引线键合装置中。根据一实施方式，一种使用装载于移动机器人上的毛细管替换单元替换引线键合装置的毛细管的方法包括：从多个引线键合装置中的至少一个接收替换开始信号；使接收到替换开始信号的移动机器人自主地移动到发送了替换开始信号的引线键合装置，以将毛细管替换单元装载到该引线键合装置上；通过毛细管替换单元使与替换开始信号对应的毛细管与该引线键合装置分离；以及通过毛细管替换单元将新毛细管安装在该引线键合装置中。根据一实施方式，一种毛细管替换装置包括：毛细管替换单元，其替换引线键合装置的毛细管；以及移动机器人，其响应于从引线键合装置接收替换开始信号而将毛细管替换单元传送到引线键合装置。毛细管替换单元包括：夹持毛细管的夹持器；具有容纳新毛细管的多个孔的托架(cradle)；接收使用过的毛细管的收集容器；以及传送单元，其将夹持器移动到托架或收集容器，或者从托架或收集容器移动夹持器。附图说明图1是示出根据本专利技术构思的一些实施方式的毛细管替换系统的示意图。图2A是示出图1的引线键合装置的示意图。图2B是示出图2A的持拿单元的俯视图。图3是示出图1的引线键合装置的一些部件的框图。图4A是示出图1的毛细管替换装置的透视图。图4B是示出图1的毛细管替换装置的侧视图。图5是示出图4A和4B的移动机器人的一些部件的框图。图6是示出图5的毛细管替换单元的透视图。图7是示出图6的毛细管替换单元的一些部件的框图。图8是示出图6的传送单元和夹持器的正视图。图9是图8的区域“A”的放大图。图10和11是示出图1的毛细管替换装置的一修改示例的示意图。图12是示出图10和11的毛细管替换装置的框图。图13至24是示出通过图1的毛细管替换系统替换毛细管的工序的示意图。图25A和25B示出由图14的感测部分获得的第二图像信息。具体实施方式在下文中将参照附图详细描述本专利技术构思的示例性实施方式。图1是示出根据本专利技术构思的一些实施方式的毛细管替换系统的示意图。参照图1，根据本专利技术构思的一些实施方式的毛细管替换系统1包括引线键合装置10和毛细管替换装置20。毛细管替换系统1还包括服务器30。引线键合装置10执行通过导线连接芯片和基板的引线键合工艺。在一些实施方式中，可以有多个引线键合装置10。引线键合装置10设置为彼此间隔开。在一些实施方式中，引线键合装置10通过使用两种或更多种类型的毛细管执行引线键合工艺。例如，引线键合装置10能通过使用具有第一直径的第一毛细管以及具有不同于第一直径的第二直径的第二毛细管执行引线键合工艺。引线键合装置10具有位置标记15。这将在下面进行详细描述。在一些实施方式中，引线键合装置10确定使用中的毛细管(在下文中被称为“所用毛细管”)是否需要被替换。当需要替换所用毛细管时，引线键合装置10发送替换信号。下面将参照图2A、2B和3详细描述引线键合装置10。在一些实施方式中，毛细管替换装置20移动到正在发送替换信号的引线键合装置10以用新毛细管替换所用毛细管。毛细管替换装置20在X-Y平面上自主地移动。在本说明书中，X轴方向被定义为第一方向D1，Y轴方向被定义为第二方向D2，Z轴方向被定义为第三方向D3。在本说明书中，要理解的是，当一部件、元件或装置被称为自主地移动时，其沿着未指定的路径自动地移动到预定位置。下面将参照图4A、4B以及图5至9更详细地描述毛细管替换装置20。在一些实施方式中，服务器30接收从引线键合装置10发送的替换信号。服务器30将接收到的替换信号发送到毛细管替换装置20。服务器30存储替换信号中包括的信息或数据。在一些实施方式中，当引线键合装置10的毛细管需要替换时，毛细管替换系统1通过使用毛细管替换装置20自动地将毛细管替换以新毛细管。毛细管替换系统1比手动替换毛细管的工作人员花费更少的时间来替换毛细管。因为毛细管替换系统1减少了毛细管的替换时间，所以能提高引线键合工艺的效率，并能提高半导体制造工艺的生产率。图2A是示出图1的引线键合装置的示意图。图2B是示出图2A的持拿单元的俯视图。图3是示出图1的引线键合装置的一些部件的框图。参照1、2A、2B和3，在一些实施方式中，引线键合装置10包括支撑构件110、键合单元120、键合驱动部分130、图像获取单元140和加热单元150。引线键合装置10还包括放电单元160、通信模块170和控制器180。在一些实施方式中，支撑构件110支撑基板S。支撑构件110包括其上装载下面将描述的毛细管替换单元400(见图4A和4B)的装载区域LA(见图14)。支撑构件110支撑毛细管替换单元400。支撑构件110位于键合单元120和图像获取单元140下方。支撑构件110位于加热单元150上。支撑构件110与加热单元150间隔开。在一些实施方式中，键合单元120将供应自导线供应单元的导线W键合到基板S。多个键合单元120可以被提供。键合单元120的每个包括毛细管121、夹具122和持拿单元123。键合单元120的每个还包括向持拿单元123提供超声波振动的换能器。在一些实施方式中，毛细管121朝基板S提供从导线供应单元供应的导线W。毛细管121具有导线W穿过的通孔。夹具122位于毛细管121之上。换言之，夹具122与毛细管121间隔开。夹具122能夹住或松开毛细管121与导线供应单元之间的导线W。在一些实施方式中，持拿单元123持拿或释放毛细管121。例如，持拿单元123包括其中插入毛细管121的第一插入孔123a。持拿单元123还包括与第一插入孔123a间隔开的第二插入孔123b、连接第一插入孔123a和第二插入孔123b的连接狭缝123c、以及在第二插入孔123b中能旋转的销125。在一些实施方式中，当在俯视图中被观察时，销125具有大体上椭圆的形状。第一插入孔123a和第二插入孔123b的直径以及连接狭缝123c的宽度能通过销125的旋转而增大或减小。因此，当第一插入孔123a的直径减小时，毛细管121能被持拿在持拿单元123中。当第一插入孔123本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种替换引线键合装置的毛细管的方法，所述引线键合装置包括持拿毛细管的持拿单元，所述方法包括：响应于从所述引线键合装置接收替换开始信号，通过移动机器人将毛细管替换单元传送到所述引线键合装置；通过所述毛细管替换单元使与所述替换开始信号对应的所述毛细管与所述引线键合装置分离；以及通过所述毛细管替换单元将新毛细管安装在所述引线键合装置中。

【技术特征摘要】
2017.04.05 KR 10-2017-00441431.一种替换引线键合装置的毛细管的方法，所述引线键合装置包括持拿毛细管的持拿单元，所述方法包括：响应于从所述引线键合装置接收替换开始信号，通过移动机器人将毛细管替换单元传送到所述引线键合装置；通过所述毛细管替换单元使与所述替换开始信号对应的所述毛细管与所述引线键合装置分离；以及通过所述毛细管替换单元将新毛细管安装在所述引线键合装置中。2.根据权利要求1所述的方法，其中传送所述毛细管替换单元包括：向其上装载所述毛细管替换单元的所述移动机器人发送所述替换开始信号；定位所述移动机器人，其中所述移动机器人对应于发送了所述替换开始信号的所述引线键合装置；以及将所述毛细管替换单元从所述移动机器人传送到所述引线键合装置的装载区域上。3.根据权利要求2所述的方法，其中定位所述移动机器人包括：使所述移动机器人朝所述引线键合装置自主地移动以使所述移动机器人邻近于所述引线键合装置定位；通过所述移动机器人获取邻近的引线键合装置的位置标记的图像以获得图像信息；以及利用所述图像信息使所述移动机器人与所述引线键合装置对准。4.根据权利要求1所述的方法，其中安装所述新毛细管包括：通过所述引线键合装置获取夹持在所述毛细管替换单元的夹持器中的所述新毛细管的图像以获得所述新毛细管的位置信息；利用所述位置信息使所述持拿单元的插入孔和所述新毛细管彼此对准；将所述新毛细管插入到所述持拿单元的所述插入孔中；以及通过所述持拿单元将所述新毛细管持拿在所述插入孔中。5.根据权利要求4所述的方法，其中使所述插入孔和所述新毛细管对准包括：利用所述位置信息移动所述持拿单元，其中所述插入孔和所述新毛细管彼此垂直地重叠。6.根据权利要求4所述的方法，其中使所述插入孔和所述新毛细管对准包括：利用所述位置信息移动所述夹持器，其中所述插入孔和所述新毛细管彼此垂直地重叠。7.根据权利要求1所述的方法，还包括：当毛细管使用时间和所述毛细管的使用次数中的至少一个对应于预定参考值时，从所述引线键合装置发送所述替换开始信号。8.根据权利要求1所述的方法，其中分离所述毛细管包括：通过所述引线键合装置获取所述毛细管替换单元的夹持器的一对夹持构件的图像以获得所述夹持构件的位置信息；利用所述位置信息使所述夹持构件之间的空间和所述持拿单元的其中插入所述毛细管的插入孔彼此对准；使所述插入孔中的所述毛细管定位在所述空间内；通过所述夹持器夹持所述空间中的所述毛细管；以及通过所述持拿单元释放由所述夹持器夹持的所述毛细管。9.根据权利要求1所述的方法，还包括：在所述新毛细管的安装之后，通过所述移动机器人将所述毛细管替换单元安置到原始位置。10.一种使用装载于移动机器人上的毛细管替换单元替换引线键合装置的毛细管的方法，所述方法包括：从多个引线键合装置中的至少一个引线键合装置接收替换开始信号；使接收到所述替换开始信号的所述移动机器人自主地移动到发送了所述替换开始信号的所述至少一个引线键合装置，以将所述毛细管替换单元装载到所述至少一个引线键合装置上；通过所述毛细管替换单元使与所述替换开始信号对应的所述毛细管与所述至少一个引线键合装置分离；以及通过所述毛细管替换单元将新毛细管安装在所述至少一个引线键合装置中。11.根据权利要求10所述的方法，其中使所述移动机器人自主地移动以装载所述毛细管替换单元包括：定位所述移动机器人，其中所述移动机器人邻近于发送了所述替换开始信号的所述至少一个引线键合装置；以及将所述毛细管替换单元从所述移动机器人传送到所述至少一个引线键合装置的装载区域上。12.根据权利要求10所述的方法，其中安装所述新毛细管包括：通过所述至少一个引线键合装置获取夹持在所述毛细管替换单元的夹持器中的所述新毛细管的图像以获得所述新毛细管的位置信息；利用所述位置信息使所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：金营式，金斗珍，李锡浩，黄永坤，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR