一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，所述靶芯包括靶头，所述靶头上依次套设有轴套、石墨碳环、弹簧和锁紧螺母，所述轴套与石墨碳环之间设有密封圈，所述锁紧螺母与弹簧之间设有垫环，所述靶头的外侧面上设有定位槽，所述定位槽位于垫环和石墨碳环的安装位上，并与靶头的轴线平行设置，所述垫环的内侧壁上设有与定位槽相适配的垫环定位销。本实用新型专利技术目的在于提供一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，这种改动结构简单，而且可以有效的防止靶材靶芯漏水现象的发生。

An improved structure of target core for a winding vacuum coating machine

The utility model discloses an improved structure of a target core of a winding vacuum coating machine. The target core comprises a target head, which is successively sleeved with a shaft sleeve, a graphite carbon ring, a spring and a locking nut. A sealing ring is arranged between the shaft sleeve and a graphite carbon ring, and a gasket ring is arranged between the locking nut and the spring. A positioning groove is arranged on the outer side of the head, which is located on the mounting position of the pad ring and graphite carbon ring, and is parallel to the axis of the target head. A pad ring positioning pin matching the positioning groove is arranged on the inner wall of the pad ring. The utility model aims to provide an improved structure of the target core of a winding vacuum coating machine, which has simple structure and can effectively prevent the leakage of the target core.

【技术实现步骤摘要】
一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构
本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构。
技术介绍
目前，常用的靶芯组件主要是由阴极、靶头、轴套、石墨碳环、弹簧、垫片、锁紧螺母和聚合物环八大部分组成，组装时，聚合物环→轴套→密封圈→石墨环→弹簧→垫片→锁紧螺母2个。组装完成后，轴套最后是与靶材固定的，在靶材处于旋转状态时，阴极是固定不动的。在靶材旋转过程中，靶头上只有轴套是随靶材一起转动的，其余部分皆为静止不动。靶材旋转过程中，由于内部通有冷却水，为防止冷却水泄漏，除靶头头部与水管连接部分以外，其防止冷却水泄漏需密封的有两处：一是石墨碳环内部自带的密封圈密封，是属于静态密封，二是石墨碳环与轴套的接触处采用加装一个密封圈密封，这个密封圈主要是依靠弹簧给石墨碳环的弹力将其紧贴在轴套的下沿，使靶材旋转过程中，旋转状态下密封圈可以起到机械密封作用。但是，在组装扭紧锁紧螺母时，垫片通常会收到锁紧螺母扭力带来的旋转摩擦力和往轴套方向的挤压力，根据力的传递性，锁紧螺母旋转时容易通过摩擦力带动垫片旋转，进而会使弹簧尾部也会受到同向的旋转摩擦力，因无法消除或抵消弹簧收到的旋本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，所述靶芯包括靶头(1)，所述靶头(1)上依次套设有轴套(2)、石墨碳环(3)、弹簧(4)和锁紧螺母(5)，所述轴套(2)与石墨碳环(3)之间设有密封圈(8)，所述锁紧螺母(5)与弹簧(4)之间设有垫环(6)，其特征在于：所述靶头(1)的外侧面上设有定位槽(101)，所述定位槽(101)位于垫环(6)和石墨碳环(3)的安装位上，并与靶头(1)的轴线平行设置，所述垫环(6)的内侧壁上设有与定位槽(101)相适配的垫环定位销(601)。

【技术特征摘要】
1.一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，所述靶芯包括靶头(1)，所述靶头(1)上依次套设有轴套(2)、石墨碳环(3)、弹簧(4)和锁紧螺母(5)，所述轴套(2)与石墨碳环(3)之间设有密封圈(8)，所述锁紧螺母(5)与弹簧(4)之间设有垫环(6)，其特征在于：所述靶头(1)的外侧面上设有定位槽(101)，所述定位槽(101)位于垫环(6)和石墨碳环(3)的安装位上，并与靶头(1)的轴线平行设置，所述垫环(6)的内侧壁上设有与定位槽(101)相适配的垫环定位销(601)。2.根据权利要求1所述的卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，其特征在于：所述定位槽(101)为长条状的方形槽或长条状的U形槽。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐祖元，
申请(专利权)人：广东汉能薄膜太阳能有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44