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本实用新型公开了一种卷绕式真空镀膜机靶材靶芯的改进结构，所述靶芯包括靶头，所述靶头上依次套设有轴套、石墨碳环、弹簧和锁紧螺母，所述轴套与石墨碳环之间设有密封圈，所述锁紧螺母与弹簧之间设有垫环，所述靶头的外侧面上设有定位槽，所述定位槽位于垫环...
该专利属于广东汉能薄膜太阳能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东汉能薄膜太阳能有限公司授权不得商用。

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