硅片花篮导片装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种硅片花篮导片装置，推片机构包括水平驱动气缸、水平推杆和推块；出片机构包括花篮一固定座，固定座上设有定位夹具；缓存机构包括缓存盒和升降系统一，缓存盒中设有与花篮一数量和槽间距相同的插片槽，升降系统一用于控制和驱动所述缓存盒进行Y轴方向的升降动作；收片机构包括花篮二固定座和升降系统二，升降系统二用于控制和驱动花篮固定座二进行Y轴方向的升降动作；运输机构包括沿X轴平行设置的两组传送带，在工作初始状态，传送带运输起始端位于缓存盒的插片部下方，运输末端达到或伸入花篮固定座二的插片部内。本实用新型专利技术可实现不同规格花篮之间硅片的自动化转移，转片速度快，碎片率低，可大幅提高工作效率。

Silicon wafer guide device

The utility model relates to a silicon wafer basket guide plate device, which comprises a horizontal driving cylinder, a horizontal push rod and a push block; a discharging mechanism comprises a flower basket fixed seat with a positioning fixture; a buffer mechanism comprises a buffer box and a lifting system; and a buffer box is provided with an insert with the same number of flower basket and slot spacing. The receiving mechanism comprises a flower basket two fixed seats and a lifting system two, the lifting system two for controlling and driving the flower basket two fixed seats for lifting in the Y-axis direction, and the conveying mechanism comprises two sets of conveyor belts arranged parallel along the X-axis. In the initial state of operation, the conveyor belt transport starting end is located below the insertion part of the buffer box, and the transport end reaches or extends into the insertion part of the flower basket fixed seat 2. The utility model can realize the automatic transfer of silicon wafers between flower baskets of different specifications, has the advantages of fast turning speed, low debris rate and greatly improving work efficiency.

【技术实现步骤摘要】
硅片花篮导片装置
本技术涉及机涉及导片装置，具体涉及一种硅片花篮导片装置。
技术介绍
硅片花篮(硅片盒)是一种在硅片生产加工过程中用于承载硅片的载体，根据承载硅片的数量分为多种规格(如25片花篮、50片花篮、75片花篮、100片花篮等)。在实际生产过程中，常常需要将硅片从一个花篮转移到另一种规格的花篮里，现有手段是采用手工插取的方式，但是硅片材质薄、脆、极易损坏，导致碎片率高，费时费力，工作效率低。因此，需要设计一款导片机构来实现不同规格花篮间的硅片转移。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的上述缺陷，申请人进行研究及改进，提供一种硅片花篮导片装置，该装置可实现不同规格花篮之间硅片的自动化转移，转片速度快，碎片率低，可大幅提高工作效率。为实现上述目的，本技术采用如下方案：硅片花篮导片装置，按照硅片转移方向包括沿X轴依次设置的推片机构、出片机构、缓存机构、运输机构和收片机构；所述推片机构包括水平驱动气缸、水平推杆和推块；所述出片机构包括花篮一固定座，所述固定座上设有定位夹具；所述缓存机构包括缓存盒和升降系统一，所述缓存盒中设有与花篮一数量和槽间距相同的插片槽，所述升降系统一用于控制和驱动所述缓存盒进行Y轴方向的升降动作；所述收片机构包括花篮二固定座和升降系统二，所述升降系统二用于控制和驱动所述花篮二固定座进行Y轴方向的升降动作；所述运输机构包括沿X轴平行设置的两组传送带，在工作初始状态，所述传送带运输起始端位于所述缓存盒的插片部下方，运输末端达到或伸入所述花篮二固定座的插片部内。作为优选，所述推块Y轴方向上的高度大于花篮一中插片部的总高度。作为优选，所述定位夹具包括定位底座以及位于所述定位底座上的左右限位块。作为优选，所述传送带运输起始端贯穿所述缓存盒。作为优选，所述升降系统一和所述升降系统二分别包括伺服电机和丝杠模组。作为优选，所述花篮二固定座上设有压紧机构，所述压紧机构包括压紧支架、气缸驱动压紧板及垂直驱动三轴气缸，用于在Y轴方向压紧花篮二。作为优选，所述花篮一固定座下方设有到位传感器和防反传感器。作为优选，所述水平驱动气缸、所述升降系统一和所述升降系统二由PLC控制器控制运行状态和参数。作为优选，所述推片机构周围设有保护罩。作为优选，所述缓存盒固定或可拆卸设置于所述升降系统一上。本技术的技术效果在于：本技术采用水平驱动气缸驱动推块进行一次性推片，在待取片和待装片花篮之间设置可升降缓存盒作为硅片的中转和过渡，同时设置升降式收片机构，配合取片输送带一层一层取出硅片并一层一层放入待装片花篮，从而实现了不同规格花篮之间硅片的自动化转移，可根据实际情况定制缓冲盒，花篮兼容性好，转片速度快，碎片率低，大幅提高了工作效率，可实现无人值守。附图说明图1为本实施例硅片花篮导片装置的立体结构示意图一。图2为本实施例硅片花篮导片装置的立体结构示意图二(未示出花篮一和保护罩)。图3为本实施例硅片花篮导片装置的正视结构示意图。图4为本实施例硅片花篮导片装置的俯视结构示意图。图中：1、水平驱动气缸；2、水平推杆；3、推块；4、花篮一；5、花篮二；6、定位底座；7、左右限位块；8、缓存盒；9、升降支架；10、伺服电机；11、到位传感器；12、防反传感器；13、花篮二固定座；14、压紧支架；15、气缸驱动压紧板；16、垂直驱动三轴气缸；17、伺服电机；18、丝杠模组；19、传送带；20、丝杠模组；21、保护罩。具体实施方式下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步说明。如图1、图2、图3和图4所示，本实施例硅片花篮导片装置用于从花篮一4(25片硅片花篮，槽间距4.76mm)向花篮二5(50片硅片花篮，槽间距4.76mm)内导片，按照硅片转移方向包括沿X轴依次设置的推片机构、出片机构、缓存机构、运输机构和收片机构；推片机构包括水平驱动气缸1、三个相互平行的水平推杆2和推块3，推块3在Y轴方向上的高度大于花篮一4插片部的总高度，推片机构周围设有保护罩21；出片机构包括花篮一固定座，固定座上设有定位夹具，定位夹具包括定位底座6和左右限位块7，用以直接固定花篮一4，花篮一固定座下方设有到位传感器11和防反传感器12；缓存机构包括缓存盒8和升降系统一，缓存盒8中部设有与花篮一4数量(25个)和槽间距(4.76mm)相同的插片槽，并构成插片部，升降系统一用于控制和驱动缓存盒8进行Y轴方向的升降动作，包括升降支架9、伺服电机10和丝杠模组20，缓存盒8固定(或可拆卸)设置于升降支架9上，伺服电机10驱动丝杠模组20并带动升降支架9升降，以实现缓存盒8的上下升降；收片机构包括花篮二固定座13和升降系统二，花篮二固定座13上设有压紧机构，压紧机构包括压紧支架14、气缸驱动压紧板15及垂直驱动三轴气缸16，用于在Y轴方向压紧和固定花篮二5，升降系统二包括伺服电机17和丝杠模组18，用于驱动花篮二固定座13沿Y轴方向进行升降动作；运输机构包括沿X轴平行设置的两组传送带19，在工作初始状态，传送带19运输起始端位于缓存盒8的插片部下方并贯穿缓存盒8，运输末端伸入花篮二固定座13的插片部内。本实施例硅片花篮导片装置的水平驱动气缸1、伺服电机10、伺服电机17、垂直驱动三轴气缸16、到位传感器11和防反传感器12与PLC控制器控制联锁，以实现自动化控制。本实施例具体工作过程原理如下：人工将载满硅片的花篮一4放置于定位底座6上由左右限位块7限位，此时花篮一4的插片槽和缓存盒8的插片槽一一对应，花篮二5(空载)固定于花篮二固定座13上，传感器感应后指示花篮到位，推块3在水平驱动气缸1驱动下将花篮一4内的硅片一次性推入缓存盒8的插片部，伺服电机10驱动丝杠模组20带动缓存盒8下降，每下降4.76mm，硅片接触传送带19后向花篮二5运输，硅片到达花篮二5的插片部后被插入插片槽，从顶端插片槽开始，每插一张，伺服电机17和丝杠模组18驱动带动花篮二5上升4.76mm，再插下一张硅片，直至花篮一4中的硅片被取完，缓存机构复位，更换上新的25片硅片花篮，按照上述方法导片直至花篮二5满载。本技术采用水平驱动气缸驱动推块进行一次性推片，在待取片和待装片花篮之间设置可升降缓存盒作为硅片的中转和过渡，同时设置升降式收片机构，配合取片输送带一层一层取出硅片并一层一层放入待装片花篮，从而实现了不同规格花篮之间硅片的自动化转移，可根据实际情况定制缓冲盒，花篮兼容性好，转片速度快，碎片率低，大幅提高了工作效率，可实现无人值守。以上所举实施例为本技术的较佳实施方式，仅用来方便说明本技术，并非对本技术作任何形式上的限制，任何所属
中具有通常知识者，若在不脱离本技术所提技术特征的范围内，利用本技术所揭示
技术实现思路
所作出局部改动或修饰的等效实施例，并且未脱离本技术的技术特征内容，均仍属于本技术技术特征的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.硅片花篮导片装置，其特征在于：按照硅片转移方向包括沿X轴依次设置的推片机构、出片机构、缓存机构、运输机构和收片机构；所述推片机构包括水平驱动气缸、水平推杆和推块；所述出片机构包括花篮一固定座，所述固定座上设有定位夹具；所述缓存机构包括缓存盒和升降系统一，所述缓存盒中设有与花篮一数量和槽间距相同的插片槽，所述升降系统一用于控制和驱动所述缓存盒进行Y轴方向的升降动作；所述收片机构包括花篮二固定座和升降系统二，所述升降系统二用于控制和驱动所述花篮二固定座进行Y轴方向的升降动作；所述运输机构包括沿X轴平行设置的两组传送带，在工作初始状态，所述传送带运输起始端位于所述缓存盒的插片部下方，运输末端到达或伸入所述花篮二固定座的插片部内。

【技术特征摘要】
1.硅片花篮导片装置，其特征在于：按照硅片转移方向包括沿X轴依次设置的推片机构、出片机构、缓存机构、运输机构和收片机构；所述推片机构包括水平驱动气缸、水平推杆和推块；所述出片机构包括花篮一固定座，所述固定座上设有定位夹具；所述缓存机构包括缓存盒和升降系统一，所述缓存盒中设有与花篮一数量和槽间距相同的插片槽，所述升降系统一用于控制和驱动所述缓存盒进行Y轴方向的升降动作；所述收片机构包括花篮二固定座和升降系统二，所述升降系统二用于控制和驱动所述花篮二固定座进行Y轴方向的升降动作；所述运输机构包括沿X轴平行设置的两组传送带，在工作初始状态，所述传送带运输起始端位于所述缓存盒的插片部下方，运输末端到达或伸入所述花篮二固定座的插片部内。2.如权利要求1所述的硅片花篮导片装置，其特征在于：所述推块Y轴方向上的高度大于花篮一中插片部的总高度。3.如权利要求1所述的硅片花篮导片装置，其特征在于：所述定位夹具包括定位底座以...

【专利技术属性】
技术研发人员：董晓清，凌勇，杜广亮，
申请(专利权)人：无锡市江松科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32