The invention discloses a detection device and a method for a wavefront sensor, which comprises a spherical wave generating device for generating spherical waves, a beam adjusting unit arranged between a spherical wave generating device and a Shack Hartmann wavefront sensor for adjusting spherical waves, and a mobile station for driving the said spherical wave. The Shack Hartmann wavefront sensor moves along the optical axis; a displacement interferometer for measuring the position of the Shack Hartmann wavefront sensor; and a data acquisition and processing system for connecting the Shack Hartmann wavefront sensor and a displacement interferometer respectively for receiving and calculating the Shack Hartmann wavefront in real time Data of sensor and displacement interferometer. The invention adopts the displacement interferometer and the Shack Hartmann wavefront sensor to measure, and realizes the high precision detection of the measuring resolution of the curvature radius of the Shack Hartmann wavefront sensor.
【技术实现步骤摘要】
波前传感器的检测装置和方法
本专利技术涉及波前传感器,特别涉及一种波前传感器的检测装置和方法。
技术介绍
夏克-哈特曼波前传感器是一种波前检测仪器,在医疗仪器、自适应光学、光学面形检测等领域有广泛的应用。其在光刻机物镜测量中,不仅可以进行物镜波像差测量,还可以实现对场曲的测量,波前传感器对入射波前曲率半径的测量分辨率,直接影响对场曲测量的分辨率。因此夏克-哈特曼波前传感器对曲率测量的分辨率也是体现其性能的一个重要指标。夏克-哈特曼波前传感器的部件主要包括微透镜阵列和光电探测器,微透镜阵列对入射波前进行子孔径分割,当入射到每个子孔径内的波前存在倾斜时,在光电探测器上的对应会聚光斑会与理想垂直入射的平面波产生光斑偏移。因此,根据光斑阵列的分布可以重建出入射波前信息,得到入射波前的波像差及其曲率。传统的夏克-哈特曼波前传感器标定及检测方法中,一般只对一种入射波前进行检测,在调整过程测量精度较低,而且位置调整中引入的误差也不能得到有效控制。
技术实现思路
本专利技术提供一种波前传感器的检测装置和方法,实现对波前传感器曲率半径测量分辨率的高精度检测。为解决上述技术问题,本专利技术提供一种波前传感器的检测装置,包括:球面波产生装置,用于产生球面波;光束调整单元,设置在球面波产生装置与夏克-哈特曼波前传感器之间,用于对球面波进行调节;移动台,用于带动所述夏克-哈特曼波前传感器沿光轴方向移动;位移干涉仪,用于测量所述夏克-哈特曼波前传感器的位置;以及数据采集处理系统,与所述夏克-哈特曼波前传感器和位移干涉仪分别连接,用于实时接收和处理所述夏克-哈特曼波前传感器移动过程中测得的 ...
【技术保护点】
1.一种波前传感器的检测装置,其特征在于,包括:球面波产生装置,用于产生球面波;光束调整单元,设置在球面波产生装置与夏克‑哈特曼波前传感器之间,用于对球面波进行调节;移动台,用于带动所述夏克‑哈特曼波前传感器沿光轴方向移动;位移干涉仪,用于测量所述夏克‑哈特曼波前传感器的位置;以及数据采集处理系统,与所述夏克‑哈特曼波前传感器和位移干涉仪分别连接,用于实时接收和处理所述夏克‑哈特曼波前传感器移动过程中测得的所述球面波的波前曲率半径和位移干涉仪测得的夏克‑哈特曼波前传感器的位置数据,计算所述夏克‑哈特曼波前传感器对波前曲率半径的测量分辨率。
【技术特征摘要】
1.一种波前传感器的检测装置,其特征在于,包括:球面波产生装置,用于产生球面波;光束调整单元,设置在球面波产生装置与夏克-哈特曼波前传感器之间,用于对球面波进行调节;移动台,用于带动所述夏克-哈特曼波前传感器沿光轴方向移动;位移干涉仪,用于测量所述夏克-哈特曼波前传感器的位置;以及数据采集处理系统,与所述夏克-哈特曼波前传感器和位移干涉仪分别连接,用于实时接收和处理所述夏克-哈特曼波前传感器移动过程中测得的所述球面波的波前曲率半径和位移干涉仪测得的夏克-哈特曼波前传感器的位置数据,计算所述夏克-哈特曼波前传感器对波前曲率半径的测量分辨率。2.如权利要求1所述的波前传感器的检测装置,其特征在于,还包括反射镜,所述反射镜固定在所述夏克-哈特曼波前传感器上。3.如权利要求2所述的波前传感器的检测装置,其特征在于,还包括干涉仪光源,其中,所述干涉仪光源为所述位移干涉仪提供测试光源,该测试光源经位移干涉仪投射到所述反射镜,并由所述反射镜反射回所述位移干涉仪。4.如权利要求1所述的波前传感器的检测装置,其特征在于,所述光束调整单元包括沿光传播方向依次设置的会聚镜和光阑。5.如权利要求4所述的波前传感器的检测装置,其特征在于,所述会聚镜设置有两个。6.如权利要求1所述的波前传感器的检测装置,其特征在于,所述位移干涉仪采用三轴位移干涉仪。7.如权利要求1所述的波前传感器的检测装置,其特征在于,球面波产生装置采用点光源。8.一种波前传感器的检测方法,采用如权利要求1~7任意一项所述的波前传感器的检测装置,其特征在于,包括:提供并调整球面波,调整后的球面波投射到夏克-哈特曼波前传感器上;沿光轴方向移动所述夏克-哈特曼波前传感...
【专利技术属性】
技术研发人员:翟思洪,何经雷,
申请(专利权)人:上海微电子装备集团股份有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。