下载波前传感器的检测装置和方法的技术资料

文档序号:19173380

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本发明公开了一种波前传感器的检测装置和方法,该检测装置包括:球面波产生装置,用于产生球面波;光束调整单元,设置在球面波产生装置与夏克‑哈特曼波前传感器之间,用于对球面波进行调节;移动台,用于带动所述夏克‑哈特曼波前传感器沿光轴方向移动;位移...
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