栅尺零位的搜寻方法技术

技术编号:40601724 阅读:20 留言:0更新日期:2024-03-12 22:06
本发明专利技术提供一种栅尺零位的搜寻方法,包括:提供一测量系统,包括栅尺和永磁同步电机,栅尺包括尺带和读数头,永磁同步电机用于驱动读数头在尺带上移动,尺带上设置有多个索引条纹,读数头用于在触发每个索引条纹时输出对应的索引脉冲;标定测量系统,以获得相位角表,相位角表包含至少部分个索引条纹对应的索引脉冲和相位角;移动读数头,直至初次触发索引条纹后测得对应的相位角;从相位角表中找到测得的相位角对应的索引脉冲,以确定读数头初次触发的索引条纹的位置,进而确定测量系统的零位。本发明专利技术的技术方案使得搜零速度得到明显提高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造,特别涉及一种栅尺零位的搜寻方法


技术介绍

1、在光刻系统中,相对光栅尺等位置传感器与电机组成的系统被运用于测量工件台和掩模台的位置。在系统安装完成之后,系统会定义零位(一般在机械限位的边缘),但是系统上电时电机与相对光栅尺中的读数头的起始位置不能保证在零位,因此,在系统上电之后需要先对系统的零位进行搜寻。

2、目前的搜零方式是在系统的机械限位的边缘增加一个传感器,在直线闭环后,读数头朝固定方向运动,直至传感器触发,同时记录下当前相对光栅尺的条纹计数值,并将该值进行固定偏置即可确定出系统的零位的位置。但是,此搜零过程需要额外增加传感器,且读数头的运动距离长,搜零过程缓慢。

3、因此,如何提高搜零速度是目前亟需解决的问题。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种栅尺零位的搜寻方法,使得搜零速度得到明显提高。

2、为实现上述目的,本专利技术提供了一种栅尺零位的搜寻方法,包括:

3、提供一测量系统,所述测量系统包括栅尺和永磁同步电机,本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种栅尺零位的搜寻方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的栅尺零位的搜寻方法,其特征在于,相邻两个所述索引条纹之间设置有多个间隔排列的计数条纹,所述读数头用于对所述索引条纹和所述计数条纹进行计数。

3.如权利要求2所述的栅尺零位的搜寻方法,其特征在于,所述索引条纹的长度大于所述计数条纹的长度。

4.如权利要求2所述的栅尺零位的搜寻方法,其特征在于,在采用所述永磁同步电机在所述第一当前位置和所述第二当前位置寻找初始相位角之前,将所述测量系统上电,上电位置的条纹计数值为固定的初始计数值。

5.如权利要求4所述的栅尺零位的搜寻方法,其...

【技术特征摘要】

1.一种栅尺零位的搜寻方法,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的栅尺零位的搜寻方法,其特征在于,相邻两个所述索引条纹之间设置有多个间隔排列的计数条纹,所述读数头用于对所述索引条纹和所述计数条纹进行计数。

3.如权利要求2所述的栅尺零位的搜寻方法,其特征在于,所述索引条纹的长度大于所述计数条纹的长度。

4.如权利要求2所述的栅尺零位的搜寻方法,其特征在于,在采用所述永磁同步电机在所述第一当前位置和所述第二当前位置寻找初始相位角之前,将所述测量系统上电,上电位置的条纹计数值为固定的初始计数值。

5.如权利要求4所述的栅尺零位的搜寻方法,其特征在于,所述初始计数值为0。

6.如权利要求1所述的栅尺零位的搜寻方法,其特征在于,初次使用所述测量系统时,标定所述测量系统。

7.如权利要求1所述的栅尺零位的搜寻方法,其特征在于,标定所述测量系统的步骤包括:

8.如权利要求7所述的栅尺零位的搜寻方法,其特征在于,将所述读数头在所述尺带的两端...

【专利技术属性】
技术研发人员:周攀峰冒鹏飞史定龙
申请(专利权)人:上海微电子装备集团股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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