层叠型电子部件及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种层叠型电子部件及其制造方法，能够提高过孔电极与陶瓷坯体的结合力且能够防止产生断线、龟裂。层叠型电子部件(1)具有：被依次层叠的第一陶瓷层(3a)～第三陶瓷层(3e)；第一内部电极(4a)，夹在第一陶瓷层与第二陶瓷层之间；第二内部电极(4c)，夹在第二陶瓷层与第三陶瓷层之间；以及过孔电极(5)，将第一内部电极与第二内部电极之间电连接。在过孔电极(5)一体形成有从该过孔电极朝向外周突出且呈层状进入到第二陶瓷层(3b、3c)内的突出部(5a)。

【技术实现步骤摘要】
层叠型电子部件及其制造方法
本专利技术涉及层叠型电子部件，特别涉及具备至少三层的陶瓷层、被所述陶瓷层夹着的至少两层的内部电极、以及将所述内部电极间电连接的过孔电极的层叠型电子部件。
技术介绍
一般来说，在多层构造的电子部件中，已知有为了取得某层上的电路与形成在其上层或下层上的电路的连接而形成了过孔电极(也包括导体柱、通孔)的电子部件。在专利文献1记载的多层布线基板中，用喷墨等液滴喷吐法形成有过孔电极。专利文献1中的基板是聚酰亚胺等树脂基板，在最终的过孔电极的剖面中，过孔电极与基板呈直线状相接。但是，在电子部件主体由陶瓷坯体形成的情况下，由于烧成时的过孔电极与陶瓷坯体的收缩率之差，有时会像图7(a)或图7(b)那样，过孔电极20的厚度变得比陶瓷坯体21薄或厚。因此，有时会在某层上的电路22与其上层或下层上的电路23之间产生间隙24，或者产生连接部的断线25或龟裂26。此外，也有时会像图8(a)或图8(b)那样，过孔电极30变得比陶瓷坯体31的孔细或粗，因此有时会在过孔电极30与陶瓷坯体31之间形成间隙33或在陶瓷坯体31产生龟裂32。进而，像图9那样，由于过孔电极40变细而与陶瓷坯体41之间形成间隙42，在过孔电极40贯通至电子部件的外表面的情况下，有时过孔电极40会脱落。在专利文献2中，在基底基板上形成密封树脂层，并通过喷墨法将形成在该密封树脂层的过孔电极形成为剖面呈褶皱状。但是，在代替密封树脂层而使用了陶瓷坯体的情况下，过孔电极和陶瓷坯体以曲面相接，因此在由于烧成时的收缩差而使过孔电极变细的情况下，容易剥落，有时会在与陶瓷坯体之间形成间隙。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2005-340437号公报专利文献2：日本特开2011-249452号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术的目的在于，提供一种能够提高过孔电极与陶瓷坯体的结合力且能够防止产生断线、龟裂的层叠型电子部件及其制造方法。用于解决课题的技术方案为了达成上述目的，本专利技术的第一实施方式提供一种层叠型电子部件，具有：被依次层叠的第一陶瓷层～第三陶瓷层；第一内部电极，夹在所述第一陶瓷层与所述第二陶瓷层之间；第二内部电极，夹在所述第二陶瓷层与所述第三陶瓷层之间；以及过孔电极，将所述第一内部电极与所述第二内部电极之间电连接，其中，在所述过孔电极一体形成有从该过孔电极朝向外周突出且呈层状进入到所述第二陶瓷层内的突出部。在本专利技术涉及的层叠型电子部件中，形成在过孔电极的外周的突出部呈层状进入到第二陶瓷层内，从而成为第二陶瓷层与过孔电极啮合的状态，两者固定为一体。因此，即使在烧成时在过孔电极与陶瓷坯体之间存在收缩率之差，也能够抑制内部电极的断线、陶瓷层的龟裂、过孔电极与陶瓷坯体之间的间隙的产生，还能够防止过孔电极的脱落。与突出部的根部的厚度相比可以使突出长度大。即，突出部可以是扁平状。在与突出部的根部的厚度相比突出长度大的情况下，突出部与第二陶瓷层以宽面积接触，因此两者的固定力增加，能够更有效地抑制过孔电极与陶瓷层之间的间隙、龟裂的产生。突出部“朝向外周突出”是指如下状态，即，在过孔电极的剖面形状为圆形的情况下，从过孔电极的轴线方向观察向半径方向突出。突出部无需是从过孔电极向四周突出的凸缘状部分，也可以只向一部分的方向突出。另外，过孔电极的剖面形状不限于圆形，可以是椭圆形、四边形等任意的形状，此外，突出部的平面形状也是任意的。过孔电极可以到达电子部件的上下两面或任一面而与外部的电路实现导通，也可以是不到达上下任一面的形状。进入到第二陶瓷层内的过孔电极的突出部的个数不限于一个，也可以设置有多个。进而，多个突出部的长度也可以不一样。在第二陶瓷层内在与突出部相同的层(同一高度)形成有其他内部电极的情况下，至少在突出部的前端与该内部电极之间空开不会在电气特性以及可靠性方面出现不良状况的程度的距离为宜。突出部可以从其根部到前端部为止为固定厚度，但也可以是从根部到前端部厚度变薄的楔形。此外，突出部也可以具有从其根部到前端部发生了弯曲的形状。即，过孔电极的突出部不限于笔直地延伸，也可以在厚度方向上弯曲。在第二陶瓷层弯曲的情况下，可以沿着该弯曲而突出部也弯曲。进而，突出部不限于在相对于过孔电极的轴线方向正交的方向上延伸。即，突出部也可以在相对于内部电极的电极平面倾斜的方向上延伸。另外，倾斜方向也可以不固定。陶瓷层能够使用电介质材料、磁性体材料、压电体材料等各种陶瓷材料。此外，作为构成过孔电极的导电材料，能够使用Ni、Ag、Pd、Au、Cu、将它们作为主成分的合金。过孔电极也可以包含树脂、玻璃等非导电材料。即，过孔电极也可以是金属复合电极。进而，内部电极、过孔电极可以包含与陶瓷层相同的陶瓷材料(共通材料)。由此，能够减小烧成时的收缩率之差。此外，共通材料相对于过孔电极的金属材料的含有率(体积比率)可以高于共通材料相对于内部电极的金属材料的含有率(体积比率)。一般来说，与内部电极和陶瓷层的接触面积fff相比，过孔电极和陶瓷层的接触面积相对小，因此过孔电极容易受到烧成时的收缩差的影响。因此，通过使过孔电极的共通材料的含有率高于内部电极，从而能够减小过孔电极与陶瓷层的收缩率差，能够抑制龟裂、间隙、脱落这样的不良状况。本专利技术涉及的第二实施方式是一种层叠型电子部件的制造方法，所述层叠型电子部件具备：被依次层叠的第一陶瓷层～第三陶瓷层；第一内部电极，夹在所述第一陶瓷层与所述第二陶瓷层之间；第二内部电极，夹在所述第二陶瓷层与所述第三陶瓷层之间；以及过孔电极，将所述第一内部电极与所述第二内部电极之间电连接，其中，所述层叠型电子部件的制造方法包括：(A)工序，准备在上表面具有第一内部电极的第一陶瓷层；(B)工序，将以下的(B-1)～(B-4)工序重复给定次数，从而在所述第一陶瓷层上形成所述过孔电极和所述第二陶瓷层的工序，其中，(B-1)工序，在形成了所述第一内部电极的所述第一陶瓷层上供给陶瓷材料墨水，从而形成具有与所述过孔电极对应的第一孔部的第一子陶瓷层，(B-2)工序，对所述第一孔部供给成为过孔电极的第一导体墨水，在该工序中进行供给以使得所述第一导体墨水与所述第一内部电极相接、且所述第一导体墨水的一部分溢出到所述第一孔部的周围，(B-3)工序，在供给了所述第一导体墨水的第一子陶瓷层上供给陶瓷材料墨水，从而形成具有与所述第一子陶瓷层的第一孔部对应的第二孔部的第二子陶瓷层，(B-4)工序，对所述第二孔部供给成为过孔电极的第二导体墨水，在该工序中供给所述第二导体墨水以使得所述第二导体墨水与所述第一导体墨水相接；(C)工序，在所述第二陶瓷层上形成第二内部电极，在该工序中所述第二内部电极延伸到与所述过孔电极连接的位置；以及(D)工序，在形成了所述第二内部电极的所述第二陶瓷层上形成第三陶瓷层。如上所述，通过重复执行第一子陶瓷层的形成、第一导体墨水的供给、第二子陶瓷层的形成、第二导体墨水的供给这样的工序，从而能够容易地形成具有呈层状进入到第二陶瓷层内的突出部的过孔电极。所述(B-1)～(B-4)工序可以通过喷墨法来执行。喷墨法能够喷吐微细的液滴并涂敷到对象物，因此能够将第一子陶瓷层和第二子陶瓷层形成为极薄的厚度，同样地，第一导体墨水和第二导体墨水也能够涂敷为极薄的厚度。即，与过孔电极的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种层叠型电子部件，具有：依次被层叠的第一陶瓷层～第三陶瓷层；第一内部电极，夹在所述第一陶瓷层与所述第二陶瓷层之间；第二内部电极，夹在所述第二陶瓷层与所述第三陶瓷层之间；以及过孔电极，将所述第一内部电极与所述第二内部电极之间电连接，其中，在所述过孔电极一体形成有从该过孔电极朝向外周突出且呈层状进入到所述第二陶瓷层内的突出部。

【技术特征摘要】
2017.03.21 JP 2017-0538661.一种层叠型电子部件，具有：依次被层叠的第一陶瓷层～第三陶瓷层；第一内部电极，夹在所述第一陶瓷层与所述第二陶瓷层之间；第二内部电极，夹在所述第二陶瓷层与所述第三陶瓷层之间；以及过孔电极，将所述第一内部电极与所述第二内部电极之间电连接，其中，在所述过孔电极一体形成有从该过孔电极朝向外周突出且呈层状进入到所述第二陶瓷层内的突出部。2.根据权利要求1所述的层叠型电子部件，其中，与所述突出部的根部的厚度相比突出长度大。3.根据权利要求1或2所述的层叠型电子部件，其中，所述突出部是从其根部到前端部厚度变薄的楔形。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的层叠型电子部件，其中，所述突出部具有从其根部到前端部发生了弯曲的形状。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的层叠型电子部件，其中，所述突出部向相对于所述第一内部电极以及所述第二内部电极的电极平面倾斜的方向突出。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的层叠型电子部件，其中，共通材料相对于构成所述过孔电极的金属材料的含有率比所述内部电极中的共通材料的含有率高。7.一种层叠型电子部件的制造方法，所述层叠型电子部件具备：依次被层叠的第一陶瓷层～第三陶瓷层；第一内部电极，夹在所述第一陶瓷层与所述第二陶瓷层之间；第二内部电极，夹在所述第二陶...

【专利技术属性】
技术研发人员：川上哲生，平尾尚大，田中努，景山知洋，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP