一种含酸性气体、粉尘颗粒的废气净化装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种含酸性气体、粉尘颗粒的废气净化装置，涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，包括增压气泵、前端水洗室、反应腔、后端水洗室、冷却塔和废水净水箱，增压气泵的进气端和外接设备的废气出口连接，增压气泵的出气端和前端水洗室连接，废气进入前端水洗室后，去除了废气中的酸性气体和粉尘颗粒，剩下的废气进入反应室中反应，将废气中的有机物反应掉，接着，反应后的高温气体再经过后端水洗室和冷却塔的水洗喷淋和冷却降温，达到排放标准后从出气口排出，整个装置结构合理，实用性强。

An exhaust gas purification device containing acid gas and dust particles

The invention discloses a waste gas purification device containing acid gas and dust particles, which relates to the technical field of manufacturing process gas treatment equipment in semiconductor manufacturing process, including pressurized air pump, front-end washing chamber, reaction chamber, back-end washing chamber, cooling tower and waste water purification tank, inlet end of pressurized air pump and external equipment. After the exhaust gas enters the front washing chamber, the acid gas and dust particles in the exhaust gas are removed, and the remaining exhaust gas enters the reaction chamber and reacts with the organic matter in the exhaust gas. Then, the high temperature gas after the reaction passes through the back washing chamber and the cold water chamber. The water spraying and cooling of the tower can be discharged from the outlet after reaching the discharge standard. The whole device has reasonable structure and strong practicability.

【技术实现步骤摘要】
一种含酸性气体、粉尘颗粒的废气净化装置
本专利技术涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的
，具体涉及一种含酸性气体、粉尘颗粒的废气净化装置。
技术介绍
在半导体制造过程中既有二氧化硫、氮氧化物、含氟气体等有害废气外排，也有大量的粉尘伴随废气排放到环境中，造成环境空气污染。应用在半导体行业的传统废气处理设备在长时间运行中会因为废气中含有的粉尘导致废气处理设备反应腔堵塞，缩短设备的维护周期，影响工厂的产能，同时，在长时间运行中会因为废气中的酸性气体加速腐蚀设备的金属管路及连接厂务排风的金属管路，造成气体泄漏，导致安全事件发生。中国专利公开号为CN107051092A公开了一种废气处理设备，包括：喷淋净化装置，包括塔体和喷淋机构，塔体具有容纳腔，塔体内沿底部到顶部依次设有旋流结构层和填料层以将容纳腔分隔为第一腔室、第二腔室和第三腔室，塔体的底部设有与第一腔室连通的进气口和出水口，塔体的顶部设有与第三腔室连通的出气口；喷淋机构包括第一喷淋组件和第二喷淋组件；气体净化装置，包括具有净化腔的本体，本体上设有与净化腔连通的进风口和出风口，进风口与出气口连通，净化腔包括等离子反应腔，等离子反应腔内设有等离子电场发生器。中国专利公开号为CN1120740C公开了一种废气处理设备，具有圆锥状内筒11、喷嘴19以及吸附纸31，该圆锥状内筒11越往下方直径越小，该喷嘴19用于沿着圆锥状筒11的上部内周面并朝着以圆锥状筒11中心轴为中心旋转的方向喷射压缩空气。圆锥状内筒11在其上部形成取入废气的上部开口，在其下部形成用于排出通过内部的废气的构成物质的下部开口12。吸附纸31配置在从圆锥状内筒11排出的废气的构成物质的通过流路中。上述对比文件中所涉及的技术方案结构上过于复杂，维护成本较高，装置占用的空间也较大，不便应用于半导体制造过程中对制成工艺气体处理，因此，对应用于半导体制造过程中制成工艺气体处理设备需要重新进行更加合理的设计。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种含酸性气体、粉尘颗粒的废气净化装置，以解决现有技术中导致的上述多项缺陷。一种含酸性气体、粉尘颗粒的废气净化装置，包括增压气泵、前端水洗室、反应腔、后端水洗室、冷却塔和废水净水箱，所述增压气泵的进气端和外接设备的废气出口连接，所述增压气泵的出气端和前端水洗室连接，所述前端水洗室包括前端水洗腔和进气法兰，所述进气法兰贯穿前端水洗腔的顶部左侧并和前端水洗腔焊接在一起，所述进气法兰的下端连接有出气罩，所述出气罩上均布设有出气孔并浸没于前端水洗腔内的水下，所述前端水洗腔的顶部右侧焊接有出气法兰一，所述出气法兰一通过连接管道一和反应室相连，所述前端水洗腔的右端焊接有喷水法兰一，所述喷水法兰一内设有喷头一并位于出气法兰一的正下方，所述前端水洗腔的底部焊接有排水法兰一；所述反应室包括反应腔、主进气法兰、辅进气法兰和辅进料法兰、出气法兰二，所述主进气法兰和辅进气法兰分别焊接在反应腔的顶部中间和顶部两边，所述辅进料法兰焊接在反应腔的中部，所述出气法兰二焊接在反应腔的底部并通过连接管道二和后端水洗室相连；所述后端水洗室包括后端水洗腔和喷头法兰二，所述喷头法兰二对称设于后端水洗腔的两侧并内设有喷头二，所述后端水洗腔的顶部左侧设有进气端并和连接管道二相连，顶部右边设有出气端并和冷却塔相连，所述后端水洗腔的底部设有排水法兰二；所述冷却塔的内部均布设有冷却板，所述冷却塔的外部中间和上部分别焊接有喷水法兰三和喷水法兰四，所述喷水法兰三和喷水法兰四内设有喷头三和喷头四，所述冷却塔的顶部水平设有出气口；所述废水净水箱包括箱体和进水法兰一和进水法兰二，所述进水法兰一和进水法兰二焊接在箱体的顶部左边，所述进水法兰一通过连接管道四和排水法兰一相连，所述进水法兰二通过连接管道三和排水法兰二相连，所述箱体的内部中间设有过滤板并通过固定架二竖直固定在箱体的内部，所述箱体的右侧下部设有出水法兰。优选的，所述出水法兰连接有增压水泵，所述增压水泵的进水端和出水法兰连接，增压水泵的出水端连接有分流接口，所述分流接口连接有连接管道五、连接管道六、连接管道七、连接管道八、连接管道九，所述连接管道五和喷头一连接，所述连接管道六和连接管道七分别和后端水洗腔内部两侧的喷头二连接，所述连接管道八和所述连接管道九分别和冷却塔内部的喷头三和喷头四连接。优选的，所述前端水洗腔的前侧在喷头一安装处对应设有矩形的观察口，所述观察口的内侧均布焊接有压铆螺母，所述观察处的外侧通过锁紧螺钉安装有透明面板，所述透明面板和前端水洗腔之间加装有密封垫。优选的，所述前端水洗腔的内部设有活性炭和隔板，所述隔板上设有小孔并通过隔板将活性炭隔离在前端水洗腔的底部。优选的，所述前端水洗腔的内部及内部的固定架一和压铆螺母做聚四氟乙烯涂层覆盖处理。优选的，所述连接管道一和连接管道二上分别设有电动阀一和电动阀二，所述连接管道一内设有气压传感器，所述连接管道一外设有气压表，所述气压传感器和气压表、电动阀一和电动阀二之间信号连接。优选的，所述密封垫的材质为含有玻璃纤维的聚四氟乙烯复合材料。优选的，所述冷却塔的顶部和出气口安装处还安装有过滤袋。优选的，所述冷却板的材质为多孔的氧化铝陶瓷。本专利技术的优点在于：废气进入前端水洗室后，废气中酸性气体和粉尘颗粒遇到水后掉落到前端水洗腔的底部并顺着水流冲洗到废水净水箱中，从而去除了废气中的酸性气体和粉尘颗粒，剩下的废气进入反应室中反应，进而将废气中的有机物反应掉，接着，反应后的高温气体再经过后端水洗室和冷却塔的水洗喷淋和冷却降温，达到排放标准后从出气口排出，整个装置结构紧凑，方案合理。通过在前端水洗腔的内部设置活性炭，可以更加有效的将废气中的酸性气体和粉尘颗粒吸附集中在水体下方并顺着水流冲洗到废水净水箱中(活性炭继续留在前端水洗腔的内部)。通过在前端水洗腔的前侧在喷头一安装处对应设有矩形的观察口，观察处的外侧通过锁紧螺钉安装有透明面板，便于人员观察前端水洗腔的内部的工作状态，而通过在透明面板和前端水洗腔之间加装有密封垫，避免废气从透明面板和前端水洗腔之间安装缝隙处的泄露，而密封垫的材质选含有玻璃纤维的聚四氟乙烯复合材料，抗腐蚀性更强，寿命更长。通过在反应腔的顶部设置辅进气法兰和辅进料法兰，可通入空气和CDA催化剂，从而使反应腔中的有机成分得到充分的反应完全。通过将后端水洗室中喷头二对称设置在后端水洗腔的左右两侧，可以让反应后产生的粉尘和水充分接触。通过在冷却塔的顶部和出气口安装处还安装有过滤袋，可以有效地将反应后粉尘彻底的限制在本专利技术之中，不会被排放到空气中。通过将冷却板的材质选为多孔的氧化铝陶瓷，因氧化铝陶瓷本身有较好的传导性、机械强度和耐高温性，再配合冷却塔内的喷头三和喷头四的使用，可以对反应后的高温气体进行降温。通过在废水净水箱中安装过滤板，可以对来自前端水洗室和后端水洗室中的水进行过滤，然后再利用增压水泵将净化后的水通过分流接口和连接管路一对一引给喷头，提高了水的利用率，也避免了喷头再外接水源。附图说明图1为本专利技术整体的结构示意图。图2为本专利技术中前端水洗室的正视结构示意图。图3为本专利技术中前端水洗室的侧视结构示意图。图4为本专利技术中后端水洗室的结构示意图。其中，1-增压气泵；2-前端水洗室；3-连接管道一；4-反应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种含酸性气体、粉尘颗粒的废气净化装置，其特征在于：包括增压气泵(1)、前端水洗室(2)、反应腔(4)、后端水洗室(6)、冷却塔(7)和废水净水箱(9)，所述增压气泵(1)的进气端和外接设备的废气出口(101)连接，所述增压气泵(1)的出气端和前端水洗室(2)连接，所述前端水洗室(2)包括前端水洗腔(201)和进气法兰(202)，所述进气法兰(202)贯穿前端水洗腔(201)的顶部左侧并和前端水洗腔(201)焊接在一起，所述进气法兰(202)的下端连接有出气罩(206)，所述出气罩(206)上均布设有出气孔并浸没于前端水洗腔(201)内的水下，所述前端水洗腔(201)的顶部右侧焊接有出气法兰一(203)，所述出气法兰一(203)通过连接管道一(3)和反应室(4)相连，所述前端水洗腔(201)的右端焊接有喷水法兰一(204)，所述喷水法兰一(204)内设有喷头一(210)并位于出气法兰一(203)的正下方，所述前端水洗腔(201)的底部焊接有排水法兰一(205)；所述反应室(4)包括反应腔(401)、主进气法兰(402)、辅进气法兰(403)和辅进料法兰(404)、出气法兰二(405)，所述主进气法兰(402)和辅进气法兰(403)分别焊接在反应腔(401)的顶部中间和顶部两边，所述辅进料法兰(404)焊接在反应腔(401)的中部，所述出气法兰二(405)焊接在反应腔(401)的底部并通过连接管道二(5)和后端水洗室(6)相连；所述后端水洗室(6)包括后端水洗腔(601)和喷头法兰二(602)，所述喷头法兰二(602)对称设于后端水洗腔(601)的两侧并内设有喷头二(603)，所述后端水洗腔(601)的顶部左侧设有进气端并和连接管道二(5)相连，顶部右边设有出气端并和冷却塔(7)相连，所述后端水洗腔(601)的底部设有排水法兰二(604)；所述冷却塔(7)的内部均布设有冷却板(701)，所述冷却塔(7)的外部中间和上部分别焊接有喷水法兰三(702)和喷水法兰四(704)，所述喷水法兰三(702)和喷水法兰四(704)内设有喷头三(703)和喷头四(705)，所述冷却塔(7)的顶部水平设有出气口(707)；所述废水净水箱(9)包括箱体(901)和进水法兰一(902)和进水法兰二(903)，所述进水法兰一(902)和进水法兰二(903)焊接在箱体(901)的顶部左边，所述进水法兰一(902)通过连接管道四(10)和排水法兰一(205)相连，所述进水法兰二(903)通过连接管道三(8)和排水法兰二(604)相连，所述箱体(901)的内部中间设有过滤板(906)并通过固定架二(905)竖直固定在箱体(901)的内部，所述箱体(901)的右侧下部设有出水法兰(904)。...

【技术特征摘要】
1.一种含酸性气体、粉尘颗粒的废气净化装置，其特征在于：包括增压气泵(1)、前端水洗室(2)、反应腔(4)、后端水洗室(6)、冷却塔(7)和废水净水箱(9)，所述增压气泵(1)的进气端和外接设备的废气出口(101)连接，所述增压气泵(1)的出气端和前端水洗室(2)连接，所述前端水洗室(2)包括前端水洗腔(201)和进气法兰(202)，所述进气法兰(202)贯穿前端水洗腔(201)的顶部左侧并和前端水洗腔(201)焊接在一起，所述进气法兰(202)的下端连接有出气罩(206)，所述出气罩(206)上均布设有出气孔并浸没于前端水洗腔(201)内的水下，所述前端水洗腔(201)的顶部右侧焊接有出气法兰一(203)，所述出气法兰一(203)通过连接管道一(3)和反应室(4)相连，所述前端水洗腔(201)的右端焊接有喷水法兰一(204)，所述喷水法兰一(204)内设有喷头一(210)并位于出气法兰一(203)的正下方，所述前端水洗腔(201)的底部焊接有排水法兰一(205)；所述反应室(4)包括反应腔(401)、主进气法兰(402)、辅进气法兰(403)和辅进料法兰(404)、出气法兰二(405)，所述主进气法兰(402)和辅进气法兰(403)分别焊接在反应腔(401)的顶部中间和顶部两边，所述辅进料法兰(404)焊接在反应腔(401)的中部，所述出气法兰二(405)焊接在反应腔(401)的底部并通过连接管道二(5)和后端水洗室(6)相连；所述后端水洗室(6)包括后端水洗腔(601)和喷头法兰二(602)，所述喷头法兰二(602)对称设于后端水洗腔(601)的两侧并内设有喷头二(603)，所述后端水洗腔(601)的顶部左侧设有进气端并和连接管道二(5)相连，顶部右边设有出气端并和冷却塔(7)相连，所述后端水洗腔(601)的底部设有排水法兰二(604)；所述冷却塔(7)的内部均布设有冷却板(701)，所述冷却塔(7)的外部中间和上部分别焊接有喷水法兰三(702)和喷水法兰四(704)，所述喷水法兰三(702)和喷水法兰四(704)内设有喷头三(703)和喷头四(705)，所述冷却塔(7)的顶部水平设有出气口(707)；所述废水净水箱(9)包括箱体(901)和进水法兰一(902)和进水法兰二(903)，所述进水法兰一(902)和进水法兰二(903)焊接在箱体(901)的顶部左边，所述进水法兰一(902)通过连接管道四(10)和排水法兰一(205)相连，所述进水法兰二(903)通过连接管道三(8)和排水法兰二(604)相连，所述箱体(901)的内部中间设有过滤板(906)并通过固定架二(9...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹小康，杨春水，赵力行，邹昭平，蒋俊海，于浩，
申请(专利权)人：安徽京仪自动化装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34