一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置，涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，包括前端和后端水洗装置、第一和第二反应腔、冷却塔和废水箱，前端水洗装置和第一反应腔通过连接管道一连接，第一反应腔和第二反应腔通过连接管道二连接，第二反应腔和后端水洗装置的进气端连接，冷却塔和后端水洗装置的出气端连接，前端和后端水洗装置通过连接软管分别和废水箱连接。废气中含有的粉尘和酸性气体经过前端水洗装置后，与水结合掉落到装置底部并顺着水流冲洗到废水箱中，接着废气中的有机物进入第一和第二反应腔充分反应，再经过后端水洗装置和冷却塔的水洗喷淋和冷却降温后，达到排放标准后从出气口排出。

A water washing and spraying device suitable for the environment of acid gas and dust

The invention discloses a water washing and spraying device suitable for acid gas and dust environment, relating to the technical field of manufacturing process gas treatment equipment in semiconductor manufacturing process, including front-end and back-end water washing device, first and second reaction chambers, cooling tower and waste water tank, front-end water washing device and first reaction chamber through connection. The first reaction chamber and the second reaction chamber are connected by two connecting pipes, the second reaction chamber and the inlet end of the back-end washing device are connected, the cooling tower and the outlet end of the back-end washing device are connected, and the front-end and the back-end washing devices are connected with the waste water tank respectively through connecting hoses. Dust and acid gases in the exhaust gas are combined with water to the bottom of the device and washed into the wastewater tank along the water flow after passing through the front-end washing device. Then the organic matter in the exhaust gas is fully reacted in the first and second reaction chambers. After being washed, sprayed and cooled by the back-end washing device and the cooling tower, the exhaust is reached. Discharge the standard from the outlet.

【技术实现步骤摘要】
一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置
本专利技术涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的
，具体涉及一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置。
技术介绍
在半导体制造过程中既有二氧化硫、氮氧化物、含氟气体等有害废气外排，也有大量的粉尘伴随废气排放到环境中，造成环境空气污染。应用在半导体行业的传统废气处理设备在长时间运行中会因为废气中含有的粉尘导致废气处理设备反应腔堵塞，缩短设备的维护周期，影响工厂的产能，同时，在长时间运行中会因为废气中的酸性气体加速腐蚀设备的金属管路及连接厂务排风的金属管路，造成气体泄漏，导致安全事件发生。中国专利申请号为CN107051092A公开了一种废气处理设备，包括：喷淋净化装置，包括塔体和喷淋机构，塔体具有容纳腔，塔体内沿底部到顶部依次设有旋流结构层和填料层以将容纳腔分隔为第一腔室、第二腔室和第三腔室，塔体的底部设有与第一腔室连通的进气口和出水口，塔体的顶部设有与第三腔室连通的出气口；喷淋机构包括第一喷淋组件和第二喷淋组件；气体净化装置，包括具有净化腔的本体，本体上设有与净化腔连通的进风口和出风口，进风口与出气口连通，净化腔包括等离子反应腔，等离子反应腔内设有等离子电场发生器。中国专利申请号为CN107051067A公开了一种一体化废气处理设备，包括：降温装置，包括壳体和降温喷淋机构，壳体具有降温腔，降温喷淋机构设于降温腔内，降温腔内从降温进气口至降温出气口设有多个隔板以将降温腔分隔为多个降温区，隔板上开设有通孔；喷淋净化装置，包括塔体和净化喷淋机构，塔体具有容纳腔，塔体上设有与容纳腔连通的净化进气口、净化出水口和净化出气口，净化喷淋机构设于容纳腔内，净化进气口与降温出气口连通；气体净化装置，包括具有净化腔的本体，本体上设有与净化腔连通的进风口和出风口，进风口与净化出气口连通，净化腔包括等离子反应腔。通过对上述对比文件仔细分析后发现：对比文件1中所涉及的技术方案结构上过于复杂，维护成本较高；对比文件2中所涉及的技术方案装置占用的空间较大，不便应用于半导体制造过程中对制成工艺气体处理，因此，对应用于半导体制造过程中制成工艺气体处理设备需要重新进行更加合理的设计。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置，以解决现有技术中导致的上述多项缺陷。一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置，包括前端水洗装置、第一反应腔、第二反应腔、后端水洗装置、冷却塔和废水箱，所述前端水洗装置包括前端水洗腔体和安装在前端水洗腔体上的进气法兰、出气法兰和出水法兰一，所述进气法兰和出气法兰分别竖直焊接在前端水洗腔体的顶部左侧和右侧，所述出水法兰一竖直焊接在前端水洗腔体的底部并通过连接软管一和废水箱连接，所述前端水洗腔体的左侧上部和下部分别水平焊接有喷头法兰一和喷头法兰二，所述前端水洗腔体的右侧下部水平焊接有喷头法兰三，所述喷头法兰一、喷头法兰二和喷头法兰三内均设有喷头一；所述第一反应腔包括反应腔一和主进气法兰一，所述主进气法兰一设于反应腔一的顶部中间，所述出气法兰一通过连接管道一和主进气法兰一连接并且连接管道一上设有控制阀，所述反应腔一的底部设有出气法兰二，所述第二反应腔包括反应腔二和主进气法兰二，所述主进气法兰二设于反应腔二的顶部中间，所述出气法兰二和主进气法兰二通过连接管道二连接在一起，所述反应腔二的底部和后端水洗装置连接，所述后端水洗装置包括后端水洗腔体和设于水洗腔体内的喷头二，所述喷头二对称设于后端水洗腔体的左右两侧，所述后端水洗腔体的顶部左边设有进气端，顶部右边设有出气端，后端水洗腔体的进气端和反应腔二的底部直接连接，后端水洗腔体的出气端和冷却塔的底部直接连接，所述后端水洗腔体的底部设有出水法兰二并通过连接软管二和废水箱连接，所述冷却塔内部均布设有冷却板，所述冷却板的材质为多孔的氧化铝陶瓷，所述冷却塔内部的中间和上部分别设有喷头三和喷头四，所述冷却塔的顶部水平设有出气口。优选的，所述前端水洗腔体的内部中间竖直安装有挡板，所述挡板和前端水洗腔体的顶部连接并将前端水洗腔体的内部分隔成左、右两个腔室。优选的，所述前端水洗腔体的前侧在每个喷头一安装处对应设有矩形的观察口，所述观察口的内侧均布焊接有压铆螺母，所述观察处的外侧通过锁紧螺钉安装有透明面板，所述透明面板和前端水洗腔体之间加装有密封垫，所述密封垫的材质为含有玻璃纤维的聚四氟乙烯复合材料。优选的，所述前端水洗腔体的内部的下方设有过滤板，所述过滤板的下方设有支撑板并焊接在前端水洗腔体的内壁上，所述过滤板通过支撑板水平安装在前端水洗腔体内。优选的，所述前端水洗腔体的左侧下部也设有矩形的观察口，所述观察口的底部和支撑板处于相同的水平高度。优选的，所述前端水洗腔体的内部及内部的支撑板和压铆螺母做聚四氟乙烯涂层覆盖处理。优选的，所述进气法兰和出气法兰一的数量分别为四个和一个。优选的，所述反应腔一和反应腔二的顶部的两边分别设有辅进气法兰一和辅进气法兰二。优选的，所述反应腔一和反应腔二的中部分别设有辅进料法兰一和辅进料法兰二。优选的，所述冷却塔的顶部和出气口安装处还安装有过滤袋。本专利技术的优点在于：废气在经过前端水洗装置除去粉尘和酸性气体后，进入第一反应腔和第二反应腔进行反应，将废气中的有机成分反应掉，接着进入后端水洗装置进行水淋，反应后产生的粉尘与水结合掉落到后端水洗腔体底部并顺着水流冲洗到废水箱中，紧接着，反应后产生的高温气体进入冷却塔，高温气体经过多孔的冷却板和进一步的水淋降温后，从出气口处被排除，整个装置结构紧凑，方案合理。通过在前端水洗腔体的前侧在每个喷头一安装处对应设有矩形的观察口，观察口的内侧均布焊接有压铆螺母，观察处的外侧通过锁紧螺钉安装有透明面板，便于人员观察内部的工作状态，而通过在透明面板和前端水洗腔体之间加装有密封垫，密封垫的材质为含有玻璃纤维的聚四氟乙烯复合材料，避免废气从透明面板和前端水洗腔体之间安装缝隙处的泄露，同时，此材质的密封垫的抗腐蚀性更强，寿命更长。通过对前端水洗腔体的内部以及内部支撑板和压铆螺母做聚四氟乙烯涂层覆盖处理，延缓了酸性气体对前端水洗装置的腐蚀，延长了设备维护周期。通过在前端水洗腔体上设置多个进气法兰，可以一次接入多个废气源，提高前端水洗装置对含有酸性气体和粉尘的废气处理的工作效率，降低半导体生产成本。通过在反应腔一和反应腔二的顶部分别设置辅进气法兰一和辅进气法兰二，可通入空气，再通过在反应腔一和反应腔二的中部分别设置辅进料法兰一和辅进料法兰二，可通入CDA催化剂，从而使反应腔一和反应腔二中的有机成分得到充分的反应完全。通过将后端水洗装置中的喷头二对称设置在后端水洗腔体的左右两侧，可以让反应后产生的粉尘和水充分接触。通过在冷却塔的顶部和出气口安装处还安装有过滤袋，可以有效地将反应后粉尘彻底的限制在本专利技术的装置之中，不会被排放到空气中。通过将冷却板的材质选为多孔的氧化铝陶瓷，因氧化铝陶瓷本身有较好的传导性、机械强度和耐高温性，再配合冷却塔内的喷头三和喷头四的使用，可以对反应后的高温气体进行降温。附图说明图1为本专利技术整体的结构示意图。图2-1为本专利技术中前端水洗装置的结构示意图。图2-2为本专利技术中前端水洗腔体的正视的结构示意图。图2-3为本专利技术中前端水洗腔体的左视本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置，其特征在于：包括前端水洗装置(1)、第一反应腔(2)、第二反应腔(3)、后端水洗装置(4)、冷却塔(5)和废水箱(11)，所述前端水洗装置(1)包括前端水洗腔体(101)和安装在前端水洗腔体(101)上的进气法兰(102)、出气法兰(103)和出水法兰一(104)，所述进气法兰(102)和出气法兰(103)分别竖直焊接在前端水洗腔体(101)的顶部左侧和右侧，所述出水法兰一(104)竖直焊接在前端水洗腔体(101)的底部并通过连接软管一(9)和废水箱(11)连接，所述前端水洗腔体(101)的左侧上部和下部分别水平焊接有喷头法兰一(106)和喷头法兰二(107)，所述前端水洗腔体(101)的右侧下部水平焊接有喷头法兰三(108)，所述喷头法兰一(106)、喷头法兰二(107)和喷头法兰三(108)内均设有喷头一(105)；所述第一反应腔(2)包括反应腔一(21)和主进气法兰一(22)，所述主进气法兰一(22)设于反应腔一(21)的顶部中间，所述出气法兰一(103)通过连接管道一(6)和主进气法兰一(22)连接并且连接管道一(6)上设有控制阀(7)，所述反应腔一(21)的底部设有出气法兰二(25)，所述第二反应腔(3)包括反应腔二(31)和主进气法兰二(32)，所述主进气法兰二(32)设于反应腔二(31)的顶部中间，所述出气法兰二(25)和主进气法兰二(32)通过连接管道二(8)连接在一起，所述反应腔二(31)的底部和后端水洗装置(4)连接，所述后端水洗装置(4)包括后端水洗腔体(41)和设于水洗腔体(41)内的喷头二(42)，所述喷头二(42)对称设于后端水洗腔体(41)的左右两侧，所述后端水洗腔体(41)的顶部左边设有进气端，顶部右边设有出气端，后端水洗腔体(41)的进气端和反应腔二(31)的底部直接连接，后端水洗腔体(41)的出气端和冷却塔(5)的底部直接连接，所述后端水洗腔体(41)的底部设有出水法兰二(43)并通过连接软管二(10)和废水箱(11)连接，所述冷却塔(5)内部均布设有冷却板(51)，所述冷却板(51)的材质为多孔的氧化铝陶瓷,所述冷却塔(5)内部的中间和上部分别设有喷头三(52)和喷头四(53)，所述冷却塔(7)的顶部水平设有出气口(55)。...

【技术特征摘要】
1.一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置，其特征在于：包括前端水洗装置(1)、第一反应腔(2)、第二反应腔(3)、后端水洗装置(4)、冷却塔(5)和废水箱(11)，所述前端水洗装置(1)包括前端水洗腔体(101)和安装在前端水洗腔体(101)上的进气法兰(102)、出气法兰(103)和出水法兰一(104)，所述进气法兰(102)和出气法兰(103)分别竖直焊接在前端水洗腔体(101)的顶部左侧和右侧，所述出水法兰一(104)竖直焊接在前端水洗腔体(101)的底部并通过连接软管一(9)和废水箱(11)连接，所述前端水洗腔体(101)的左侧上部和下部分别水平焊接有喷头法兰一(106)和喷头法兰二(107)，所述前端水洗腔体(101)的右侧下部水平焊接有喷头法兰三(108)，所述喷头法兰一(106)、喷头法兰二(107)和喷头法兰三(108)内均设有喷头一(105)；所述第一反应腔(2)包括反应腔一(21)和主进气法兰一(22)，所述主进气法兰一(22)设于反应腔一(21)的顶部中间，所述出气法兰一(103)通过连接管道一(6)和主进气法兰一(22)连接并且连接管道一(6)上设有控制阀(7)，所述反应腔一(21)的底部设有出气法兰二(25)，所述第二反应腔(3)包括反应腔二(31)和主进气法兰二(32)，所述主进气法兰二(32)设于反应腔二(31)的顶部中间，所述出气法兰二(25)和主进气法兰二(32)通过连接管道二(8)连接在一起，所述反应腔二(31)的底部和后端水洗装置(4)连接，所述后端水洗装置(4)包括后端水洗腔体(41)和设于水洗腔体(41)内的喷头二(42)，所述喷头二(42)对称设于后端水洗腔体(41)的左右两侧，所述后端水洗腔体(41)的顶部左边设有进气端，顶部右边设有出气端，后端水洗腔体(41)的进气端和反应腔二(31)的底部直接连接，后端水洗腔体(41)的出气端和冷却塔(5)的底部直接连接，所述后端水洗腔体(41)的底部设有出水法兰二(43)并通过连接软管二(10)和废水箱(11)连接，所述冷却塔(5)内部均布设有冷却板(51)，所述冷却板(51)的材质为多孔的氧化铝陶瓷,所述冷却塔(5)内部的中间和上部分别设有喷头三(52)和喷头四(53)，所述冷却塔(7)的顶部水平设有出气口(55)。2.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨春水，司马超，张坤，曹小康，赵力行，邹昭平，蒋俊海，于浩，
申请(专利权)人：安徽京仪自动化装备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34