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本发明公开了一种适用于酸性气体、粉尘环境的水洗喷淋装置，涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，包括前端和后端水洗装置、第一和第二反应腔、冷却塔和废水箱，前端水洗装置和第一反应腔通过连接管道一连接，第一反应腔和第二反应腔通过连接...
该专利属于安徽京仪自动化装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽京仪自动化装备技术有限公司授权不得商用。

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