【技术实现步骤摘要】
一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置
本技术涉及一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置,属于微纳加工领域。
技术介绍
近年来,透镜阵列器件广泛应用于光电子系统等各个领域,对光电领域的发展具有重要的作用。微纳压印是一种快速制备透镜阵列的方式,尤其是辊式微纳压印,更加是大大的提高了透镜阵列器件的生产效率。对于辊型模板而言,又分软模板与硬模板,硬模板的寿命相较软模板更长,但软模板能够更好的贴合衬底,从而压印出更好的微纳图案。对于辊型软模板而言,有直接制备和通过平面模板包覆制备两种方式。平面模板包覆在压印辊上会存在接缝,接缝会使得压印不连续,并且接缝处区域难以施加均匀的压印力,易破坏模板和损坏压印图案。目前,能够直接制备无缝辊型微纳压印的软模板的技术有包括超精密加工、聚焦离子束技术和刻蚀技术在内的许多精密制造技术。但通过精密制造技术制备具有凹陷透镜图案的无缝软模板无疑是十分复杂且耗时耗力的,并且需要昂贵的设备作支撑,这进一步的制约了发展。
技术实现思路
本技术的主要目的在于针对现有技术制备具有透镜图案的无缝辊型软模板需要精密制造技术、昂贵、费时费力的问题,提供一种制备具有透 ...
【技术保护点】
1.一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置,其特征在于,包括:套筒、筒盖、钢珠、钢珠套和平坦层,其中,所述的钢珠嵌在钢珠套中,并通过过盈配合固定于套筒之中,平坦层浇筑于钢珠套内表面,筒盖通过螺纹连接固定于套筒之上。
【技术特征摘要】
1.一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置,其特征在于,包括:套筒、筒盖、钢珠、钢珠套和平坦层,其中,所述的钢珠嵌在钢珠套中,并通过过盈配合固定于套筒之中,平坦层浇筑于钢珠套内表面,筒盖通过螺纹连接固定于套筒之上。2.根据权利要求1所述的一种制备具有透镜图案的辊型软模板的装置,其特征在于,所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:谷岩,陈修元,张群,董青青,李景鹏,郑恭承,王点正,易正发,戴得恩,冯开拓,田旭,杨继犇,刘阳,张哲名,徐梓苏,苍新宇,
申请(专利权)人:长春工业大学,
类型:新型
国别省市:吉林,22
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