【技术实现步骤摘要】
水管接头漏水检测保护装置
本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种水管接头漏水检测保护装置。
技术介绍
在半导体制造过程中，为了确保半导体制造工艺持续、稳定的进行，在半导体制造设备中都设置有水冷却系统。一般来说，水冷却系统包括设置于机台内部的多根水管，水管之间、水管与机台接口之间通过水管接头实现相互连接。现有的水管接头分为平行管路接头和固定管路接头。所谓平行管路接头，是指在管路铺设过程中使用的接头；所谓固定管路接头，是指用于连接机台端接口与水管的接头。位于机台内部的水管及水管接头在不打开机台的情况下一般是看不到的，有些位置甚至打开机台也看不到。这就导致在定期开机检查的过程中也很难发现问题，造成半导体设备的困扰。一般问题被发现时，都已较为严重，此时：要么停机进行维修，给产线正常、稳定的运行带来较大的困扰；要么继续使用直至水管接头爆破，最后为机台维护付出昂贵的代价。水管接头是最易发生水泄露的部位。当前，为了检测水管接头是否漏水，都是在水管接头处设置漏水感应绳，其需要水完全浸泡才能触发报警，感应灵敏度较低。另外，半导体设备中使用的水管接头大都是卡箍、密封性金属接头或快...
【技术保护点】
1.一种水管接头漏水检测保护装置，其特征在于，包括位于内层的传感器和位于外层的绝缘密封层；所述传感器，用于安装于所述水管接头外表面，以检测所述水管接头是否漏水；所述绝缘密封层，用于包覆于所述水管接头外表面，使得所述传感器夹设于所述水管接头与所述绝缘密封层之间。
【技术特征摘要】
1.一种水管接头漏水检测保护装置，其特征在于，包括位于内层的传感器和位于外层的绝缘密封层；所述传感器，用于安装于所述水管接头外表面，以检测所述水管接头是否漏水；所述绝缘密封层，用于包覆于所述水管接头外表面，使得所述传感器夹设于所述水管接头与所述绝缘密封层之间。2.根据权利要求1所述的水管接头漏水检测保护装置，其特征在于，所述传感器，包括至少一组检测电极组，所述检测电极组包括以预设间隔设置的两个电极。3.根据权利要求2所述的水管接头漏水检测保护装置，其特征在于，所述电极为沿所述水管接头的轴向设置的条状电极。4.根据权利要求3所述的水管接头漏水检测保护装置，其特征在于，至少一组检测电极组包括多组相互独立的检测电极组。5.根据权利要求4所述的水管接头漏水检测保护装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘普然，黄志凯，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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