The utility model relates to a 6 inch sapphire crystal rod end face grinding fixture. The clamp comprises a base, a fixture, a protective rubber ring, a connecting shaft, a hexagonal bolt, a nut, an airfoil knob, a helical gear and an adjusting screw. The clamp base is a square iron plate parallel to the upper and lower surfaces, and the fixing device is connected with the base through four adjusting screws. The wing knob is connected with the adjusting screw through the helical gear to control the distance between the fixing device and the base. The inner side of the fixing device is provided with a protective rubber ring, and a crystal rod is fixed by six angle bolts and nuts. The fixture is fixed on the operation platform of the surface grinder through an electromagnetic device. The utility model can quickly fix and disassemble 6-inch sapphire crystal rods, ensure the accuracy of the end face grinding of sapphire crystal rods, operate simply, save manpower and work efficiently.
【技术实现步骤摘要】
一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具
本技术涉及大尺寸蓝宝石晶棒加工领域,具体涉及一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具。
技术介绍
α-Al2O3单晶又称蓝宝石,俗称刚玉,是一种简单配位型氧化物晶体。蓝宝石晶体具有优异的光学性能、物理性能和稳定的化学性能,广泛应用于高亮度LED衬底材料、各种光学元器件、窗口材料。众所周知,采用大尺寸蓝宝石衬底可有效降低LED芯片成本,大尺寸衬底可以在每个MOCVD轮次中制作更多的芯片。由于LED芯片存在边缘无效区,所以直径越大,芯片数量比与直径比优势越明显,以6英寸蓝宝石衬底为例,表面积是2英寸的9倍,芯片数量确是2英寸的10.9倍。所以衬底尺寸越大,芯片数量优势越明显。蓝宝石晶体具有各向异性的特点,LED衬底采用c向蓝宝石晶片,为了更好地与外延层晶格匹配,减少外延层缺陷,在加工过程中要严格控制蓝宝石晶棒的晶向,需要对蓝宝石晶棒进行端面平磨纠角。采用松香封蜡的粘胶工艺在固定、拆卸晶棒时均需要采用铁板加热,加工效率低。同时,在加热过程中会产生刺激性气体,存在安全隐患。蓝宝石晶体的密度为3.98g/cm3,长度为20cm的6英寸蓝宝石晶棒重量约为15kg,在粘胶过程中不利于操作。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种高精度、高效率的6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具。本技术的目的是这样实现的:它包括底座、固定装置、连接轴、六角螺栓、螺母、翼形旋钮、斜齿轮和调节螺杆,固定装置通过调节螺杆与底座连接,固定装置内侧设有保护胶圈,并通过六角螺栓和螺母固定晶棒,翼形旋钮通过斜齿轮连接调节螺杆,以控制固定装置和底座的距离,调节翼形 ...
【技术保护点】
1.一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具,其特征在于它包括底座、固定装置、连接轴、六角螺栓、螺母、翼形旋钮、斜齿轮和调节螺杆,固定装置通过调节螺杆与底座连接,固定装置内侧设有保护胶圈,并通过六角螺栓和螺母固定晶棒,翼形旋钮通过斜齿轮连接调节螺杆,以控制固定装置和底座的距离,调节翼形旋钮确保晶棒底面与底座上表面完全贴合。
【技术特征摘要】
1.一种6英寸蓝宝石晶棒端面平磨夹具,其特征在于它包括底座、固定装置、连接轴、六角螺栓、螺母、翼形旋钮、斜齿轮和调节螺杆,固定装置通过调节螺杆与底座连接,固定装置内侧设有保护胶圈,并通过六角螺栓和螺母固定晶棒,翼形旋钮通过斜齿轮连接调节螺杆,以控制固定装置和底座的距离,调节翼形旋钮...
【专利技术属性】
技术研发人员:左洪波,杨鑫宏,李铁,
申请(专利权)人:哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司,
类型:新型
国别省市:黑龙江,23
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