压力传感器制造技术

本发明专利技术涉及压力传感器，能够检测从用于导入测定对象的压力的配管传递到压力传感器的检测部的热的变动。通过温度差计算部(107)求出由第1温度测定机构(103)测定出的温度与由第2温度测定机构(106)测定出的温度的温度差。第1温度测定机构(103)设置于内侧容器(201)的元件配置侧(201b)的外侧壁面。第2温度测定机构(106)设置于加热器(104)的外侧周面，加热器(104)设置于收容内侧容器(201)的外侧容器(202)的外侧壁面。

【技术实现步骤摘要】
压力传感器
本专利技术涉及一种压力传感器，特别涉及一种具备检测设备的压力传感器，该检测设备包括受到来自流体的压力而进行位移的隔膜。
技术介绍
关于静电电容式的隔膜真空计等压力传感器，将包括隔膜(隔膜)的检测设备安装于流过作为测定对象的气体的配管等，将受到压力的隔膜的挠曲量即位移变换成静电电容值，根据静电电容值而输出压力值。该压力传感器由于气体种类依赖性小，所以，在以半导体设备为主的工业用途中广泛使用(参照专利文献1、专利文献2)。如图6所示，上述隔膜真空计等压力传感器的检测设备具有受到来自测定对象的压力的隔膜302以及在俯视时在中央具有凹部并且具有支承隔膜302的支承部301a的基座301。隔膜302与基座301形成电容室303。由支承部301a支承的隔膜302中的与基座301间隔开的可动区域302a能够在基座301的方向上进行位移。隔膜302和基座301例如由蓝宝石等绝缘体构成。另外，压力传感器的检测设备具备形成于隔膜302的可动区域302a的可动电极304以及形成于基座301之上并与可动电极304相面对的固定电极305。另外，压力传感器的检测设备具备在隔膜302的可动区域302a本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力传感器，其特征在于，具备：检测设备，其具备受到来自测定对象的压力而进行位移的隔膜，将所述隔膜的位移变换成其他物理量的变化；压力值输出部，其构成为将由所述隔膜的位移引起的所述其他物理量的变化变换成压力值并输出；内侧容器，其收容所述检测设备；外侧容器，其收容所述内侧容器；压力导入管，其连接到所述内侧容器，用于将测定对象的压力导入到所述内侧容器的内部；隔壁，其设置于所述内侧容器的内部，将所述内侧容器的内部空间分离成所述测定对象的压力经由所述压力导入管而被导入的压力检测侧的空间、以及作为与所述压力检测侧的空间相反的一侧的空间的配置有所述检测设备的元件配置侧的空间，并且在所述元件配置侧的面接...

【技术特征摘要】
2017.03.09 JP 2017-0445541.一种压力传感器，其特征在于，具备：检测设备，其具备受到来自测定对象的压力而进行位移的隔膜，将所述隔膜的位移变换成其他物理量的变化；压力值输出部，其构成为将由所述隔膜的位移引起的所述其他物理量的变化变换成压力值并输出；内侧容器，其收容所述检测设备；外侧容器，其收容所述内侧容器；压力导入管，其连接到所述内侧容器，用于将测定对象的压力导入到所述内侧容器的内部；隔壁，其设置于所述内侧容器的内部，将所述内侧容器的内部空间分离成所述测定对象的压力经由所述压力导入管而被导入的压力检测侧的空间、以及作为与所述压力检测侧的空间相反的一侧的空间的配置有所述检测设备的元件配置侧的空间，并且在所述元件配置侧的面接合有所述检测设备，所述隔壁具有将所述压力检测侧的压力引导到所述检测设备的所述隔膜的压力导入孔；第1温度测定机构，其设置于所述内侧容器的所述元件配置侧的...

【专利技术属性】
技术研发人员：关根正志，石原卓也，添田将，栃木伟伸，
申请(专利权)人：阿自倍尔株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP