一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置，包括气管、管夹、气缸固定板、气缸、防护托架、半圆形防护板和气瓶接头螺母，所述气管通过管夹固定在气缸固定板上端面，所述气缸固定板下端面固定气缸，气缸的导杆末端连接防护托架，防护托架上焊接半圆形防护板，所述气瓶接头螺母连接气瓶，并位于半圆形防护板之中；所述气缸连接有电磁阀，电磁阀连接继电器，继电器连接气瓶柜PLC，气瓶柜PLC连接气体管理系统的主控制板。该装置一体式结构紧凑、简单，操作、控制简单方便；智能、安全、可靠，PLC自动控制；控制与执行机构安全隔离，达到集成电路生产线的安全防爆要求。

A gas cylinder safety protection device for IC production line

The utility model discloses a cylinder safety protection device for integrated circuit production line, which comprises a gas pipe, a pipe clamp, a cylinder fixed plate, a cylinder, a protective bracket, a semi-circular protective plate and a cylinder joint nut. The gas pipe is fixed on the end face of the cylinder fixed plate through a pipe clamp, and the lower end face of the cylinder fixed plate fixes the cylinder. The guide rod end of the cylinder is connected with a protective bracket, and a semi-circular protective plate is welded on the protective bracket. The cylinder joint nut is connected with the cylinder and is located in the semi-circular protective plate; the cylinder is connected with an electromagnetic valve, the electromagnetic valve is connected with a relay, the relay is connected with the cylinder cabinet PLC, and the cylinder cabinet PLC is connected with the main control of the gas management system. Plate making. The integrated device has compact structure, simple operation and convenient control, intelligent, safe and reliable, PLC automatic control, and safe isolation between control and actuator, so as to meet the requirements of safety and explosion-proof of integrated circuit production line.

【技术实现步骤摘要】
一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置
本技术涉及安全防护装置，尤其涉及一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置。
技术介绍
传统的集成电路生产线上气瓶安全防护装置，是一个圆筒状的塑料防呆帽扣在气瓶阀门上。由于气体系统是专为FAB内的设备、机台提供气体，是整个生产流水线的一个非常重要的环节，而且气体系统包含大宗气体：N2、O2、Ar；特殊气体：SiH4、NF3、CH4、B2H6（2%）、CO2、TMBPH3(0.5)等，其中有些气体是有毒气体，此种方法虽然可以实现在人工更换气瓶时起到一定的防护警示作用，但这种方法对人员的综合素质及工作责任心要求较高，必须人为的去细心核对需要更换气瓶的状态信息、新气瓶的气体信息和气柜信息的一致性，接换料，这样效率低，久而久之难免因人为因素或工作疏忽而错换气瓶，导致气体泄露或人员伤亡。
技术实现思路
本技术为了解决现有技术的上述不足，提供了一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置，该装置可以有效可靠的起到安全防护作用，提高工作效率。本技术的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置，包括气管、管夹、气缸固定板、气缸、防护托架、半圆形防护板和气瓶接头螺母，所述气管通过管夹固定在气缸固定板上端面，所述气缸固定板下端面固定气缸，气缸的导杆末端连接防护托架，防护托架上焊接半圆形防护板，所述气瓶接头螺母连接气瓶，并位于半圆形防护板之中；所述气缸连接有电磁阀，电磁阀连接继电器，继电器连接气瓶柜PLC，气瓶柜PLC连接气体管理系统的主控制板。当气瓶处于正常供气工作状态时，气缸伸出，半圆形防护板起到安全防护作用。该装置只有在操作人员录入本人个人信息、气瓶信息、气柜信息及需要更换的气瓶信息后，经气体管理系统综合判断完全吻合符合更换条件后，由气体管理系统向气瓶柜控制PLC发送允许更换指令，PLC控制输出继电器，使得电磁阀得电，防护装置的气缸带动半圆形防护板一起收回，收回到位后，操作人员才可以自行更换气瓶。本技术与现有技术相比的优点是：该装置主要功能是实现防止在人为对气瓶的更换过程中由于人为因素或工作疏忽而引起的换错气瓶或气体泄露。其一体式结构紧凑、简单，操作、控制简单方便；智能、安全、可靠，PLC自动控制；控制与执行机构安全隔离，达到集成电路生产线的安全防爆要求。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为本技术的立体结构示意图。具体实施方式下面结合实施例对本专利技术进一步详述。如图1、图2所示，一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置，包括气管1、管夹2、气缸固定板3、气缸4、防护托架5、半圆形防护板6和气瓶接头螺母7，所述气管1通过管夹2固定在气缸固定板3上端面，所述气缸固定板3下端面固定气缸4，气缸4的导杆末端连接防护托架5，防护托架5上焊接半圆形防护板6，所述气瓶接头螺母7连接气瓶，并位于半圆形防护板6之中；所述气缸4连接有电磁阀8，电磁阀8连接继电器9，继电器9连接气瓶柜PLC10，气瓶柜PLC10连接气体管理系统的主控制板11。当气瓶处于正常供气工作状态时，气缸4伸出，半圆形防护板6起到安全防护作用。该装置只有在操作人员录入本人个人信息、气瓶信息、气柜信息及需要更换的气瓶信息后，经气体管理系统综合判断完全吻合符合更换条件后，由气体管理系统向气瓶柜控制PLC发送允许更换指令，PLC控制输出继电器，使得电磁阀得电，防护装置的气缸4带动半圆形防护板6一起收回，收回到位后，操作人员才可以自行更换气瓶。由于该技术的安装空间有限，整个装置用管夹固定在ψ6铜气管上，因此，固定管夹的强度及固定方式非常重要。由于该技术的安装空间有限，整个装置用管夹固定在ψ6铜气管上，因此要求选用动作平缓材质轻的铝合金超低摩擦气缸。该防护装置的结构紧凑、重量轻、动作灵活、智能、安全可靠。上述的具体实施方式只是示例性的，是为了更好的使本领域技术人员能够理解本专利，不能理解为是对本专利包括范围的限制；只要是根据本专利所揭示精神的所作的任何等同变更或修饰，均落入本专利包括的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置，其特征在于：包括气管（1）、管夹（2）、气缸固定板（3）、气缸（4）、防护托架（5）、半圆形防护板（6）和气瓶接头螺母（7），所述气管（1）通过管夹（2）固定在气缸固定板（3）上端面，所述气缸固定板（3）下端面固定气缸（4），气缸（4）的导杆末端连接防护托架（5），防护托架（5）上焊接半圆形防护板（6），所述气瓶接头螺母（7）连接气瓶，并位于半圆形防护板（6）之中；所述气缸（4）连接有电磁阀（8），电磁阀（8）连接继电器（9），继电器（9）连接气瓶柜PLC（10），气瓶柜PLC（10）连接气体管理系统的主控制板（11）。

【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路生产线上气瓶安全防护装置，其特征在于：包括气管（1）、管夹（2）、气缸固定板（3）、气缸（4）、防护托架（5）、半圆形防护板（6）和气瓶接头螺母（7），所述气管（1）通过管夹（2）固定在气缸固定板（3）上端面，所述气缸固定板（3）下端面固定气缸（4），气缸（4）的导...

【专利技术属性】
技术研发人员：何俊峰，马党军，陶芝勇，
申请(专利权)人：上海欧控电气技术有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31