一种环保型硅片清洗剂及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种环保型硅片清洗剂及制备方法，环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：水0‑99.9份、碱0.1‑100份、表面活性剂0‑10份、防锈剂0‑10份、螯合剂0‑10份、分散剂0‑10份、杀菌剂0‑5份和消泡剂0‑5份，所述份数为重量份数。环保型硅片清洗剂的制备方法是①将水和碱加入混合釜中，搅拌30‑60分钟，得到均匀透明溶液；②将防锈剂加入混合釜中，搅拌30‑60分钟，得到均匀透明溶液；③将表面活性剂、分散剂、杀菌剂和消泡剂加入混合釜中，混合搅拌30‑60分钟，得到均匀透明溶液。整体清洗性能优异，使用成本低，不含磷，不含氮，不含苯酚类，不含亚硝酸盐，重金属等有毒有害原料，保证工人身体不受损害，保证环境免受破坏。

【技术实现步骤摘要】
一种环保型硅片清洗剂及制备方法
本专利技术涉及清洗剂的
，特别是一种环保型硅片清洗剂及制备方法的

技术介绍
随着超大规模集成电路的发展，集成度不断提高，器件的特征尺寸不断减小，对硅衬底表面洁净度的要求也比较严格，硅片清洗在半导体工业的重要性早引起人们的高度重视，超大规模集成电路工艺要求在提供的衬底片上吸附物不多于500个/m2×0.12μm，金属污染物小于1010atom/cm2，硅衬底表面的污染物将会严重影响硅衬底的物理性质和电学性质，并最终影响到集成电路的成品率，硅片生产中每一道工序存在的潜在污染，都可能导致缺陷的产生和器件的失败，在超大规模集成电路的制造工艺中，硅片的表面状态是以后集成电路平整度保证的基础，如果清洗效果不好会直接影响器件的成品率、性能和可靠性。目前清洗剂大部分采用含磷，含氮，含苯酚类(NP)，含亚硝酸盐等有毒有害原料作为主要清洗剂添加剂，含磷，含氮，含苯酚类清洗添加剂作为清洗添加剂具有清洗能好的特点，亚硝酸盐作为清洗防锈剂具有防锈效果好，成本低的特点，但是含磷，含氮，含苯酚类添加剂污染环境，含亚硝酸盐，苯酚类添加剂还有毒，国内外已经禁止使用苯酚类添加剂。
技术实现思路
本专利技术的目的就是解决现有技术中的问题，提出一种环保型硅片清洗剂及制备方法，通过碱和表面活性剂起清洗作用，有效清洗各类工件表面的油污，粉末等杂质；通过防锈剂有效保护机器和工件不生锈；通过螯合剂起螯合的作用，有效螯合铁、钙、镁等金属离子，使其螯合物能够溶于水，达到软化水硬度，提高清洗效果；通过分散剂起分散无机盐类和无机矿物质的作用；通过杀菌剂起杀菌的作用；通过消泡剂起消泡的作用，整体清洗性能优异，使用成本低，不含磷，不含氮，不含苯酚类，不含亚硝酸盐，重金属等有毒有害原料，保证工人身体不受损害，保证环境免受破坏。为实现上述目的，本专利技术提出了一种环保型硅片清洗剂，所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：水0-99.9份、碱0.1-100份、表面活性剂0-10份、防锈剂0-10份、螯合剂0-10份、分散剂0-10份、杀菌剂0-5份和消泡剂0-5份，所述份数为重量份数。作为优选，所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：碱20份、表面活性剂2份、防锈剂4份、螯合剂2份、分散剂1份、杀菌剂2份、消泡剂0.1份，其余为水，所述份数为重量份数。作为优选，所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：碱30份、表面活性剂2份、螯合剂2份、分散剂2份、杀菌剂2份，消泡剂0.1份，其余为水，所述份数为重量份数。作为优选，所述其由下述浓度的组分配制而成：碱40份、表面活性剂4份、防锈剂4份、螯合剂1份、杀菌剂2份，其余为水，所述份数为重量份数。作为优选，所述的碱是无机碱，如氢氧化钠、氢氧化钾和氢氧化钙等。作为优选，所述的表面活性剂是离子型表面活性剂、非离子型表面活性剂或两性离子表面活性剂，所述离子型表面活性剂是脂肪醇醚硫酸酯盐、脂肪醇硫酸酯盐、烷基磺酸钠、烷基(芳香基)醚羧酸、脂肪醇羧酸盐、石油磺酸钠、石油磺钙、二丁基萘磺酸钠、木质素磺酸盐或十八烷基三甲基氯(溴)化铵等，所述非离子型表面活性剂是聚氧化乙烯脂肪醇醚、聚氧化乙烯丙烯脂肪醇醚、聚氧化乙烯脂肪酸酯、失水山梨醇脂肪酸酯或脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚等，所述两性离子表面活性剂是烷基甜菜碱或羟基磺基甜菜碱等，所述的表面活性剂是其中的一种或者几种的组合。作为优选，所述的防锈剂是有机酸盐、有机酸盐酯、硼酸盐、硼酸酯、十二烯基丁二酸盐或者十二烯基丁二酸盐酯，如十二二元酸纳盐、十一二元酸纳盐、三元酸纳盐和硼酸纳盐等，所述的防锈剂是其中的一种或者几种的组合，所述螯合剂是有机类螯合剂或无机类螯合剂，如醋酸钙、柠檬酸及其钙、钾、钠盐、葡糖酸的钙、钠盐、葡糖酸-δ-内酯、氧化硬脂精、二醋酸一钠、酒石酸及其钾钠盐、硫代酸钠和山梨糖醇等，所述螯合剂是其中的一种或者几种的组合，所述分散剂是聚羧酸类分散剂，如马来酸-丙烯酸共聚物、聚马来酸、聚丙烯酸钠、羧酸-磺酸盐共聚物、丙烯酸-丙烯酸酯-磺酸盐三元共聚物和聚环氧琥珀酸钠等，所述分散剂是其中的一种或者几种的组合，所述杀菌剂是有机类杀菌剂或无机类杀菌剂，如BK、BIT、BBIT、MBM和MOB等，所述杀菌剂是其中的一种或者几种的组合，所述消泡剂是有机硅类消泡剂或聚醚类消泡剂，如FOAMBANHP720、FOAMBANMS550和DF-20等，所述消泡剂是其中的一种或者几种的组合。一种环保型硅片清洗剂的制备方法由下述步骤制成：①将水和碱加入混合釜中，搅拌30-60分钟，得到均匀透明溶液；②将防锈剂加入混合釜中，搅拌30-60分钟，得到均匀透明溶液；③将表面活性剂、分散剂、杀菌剂和消泡剂加入混合釜中，混合搅拌30-60分钟，得到均匀透明溶液。本专利技术的有益效果：本专利技术通过碱和表面活性剂起清洗作用，有效清洗各类工件表面的油污，粉末等杂质；通过防锈剂有效保护机器和工件不生锈；通过螯合剂起螯合的作用，有效螯合铁、钙、镁等金属离子，使其螯合物能够溶于水，达到软化水硬度，提高清洗效果；通过分散剂起分散无机盐类和无机矿物质的作用；通过杀菌剂起杀菌的作用；通过消泡剂起消泡的作用，整体清洗性能优异，使用成本低，不含磷，不含氮，不含苯酚类，不含亚硝酸盐，重金属等有毒有害原料，保证工人身体不受损害，保证环境免受破坏。本专利技术的特征及优点将通过实施例进行详细说明。【具体实施方式】本专利技术提出了一种环保型硅片清洗剂，所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：水0-99.9份、碱0.1-100份、表面活性剂0-10份、防锈剂0-10份、螯合剂0-10份、分散剂0-10份、杀菌剂0-5份和消泡剂0-5份，所述份数为重量份数，所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：碱20份、表面活性剂2份、防锈剂4份、螯合剂2份、分散剂1份、杀菌剂2份、消泡剂0.1份，其余为水，所述份数为重量份数，所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：碱30份、表面活性剂2份、螯合剂2份、分散剂2份、杀菌剂2份，消泡剂0.1份，其余为水，所述份数为重量份数，所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：碱40份、表面活性剂4份、防锈剂4份、螯合剂1份、杀菌剂2份，其余为水，所述份数为重量份数，所述的碱是无机碱，如氢氧化钠、氢氧化钾和氢氧化钙等，所述的表面活性剂是离子型表面活性剂、非离子型表面活性剂或两性离子表面活性剂，所述离子型表面活性剂是脂肪醇醚硫酸酯盐、脂肪醇硫酸酯盐、烷基磺酸钠、烷基(芳香基)醚羧酸、脂肪醇羧酸盐、石油磺酸钠、石油磺钙、二丁基萘磺酸钠、木质素磺酸盐或十八烷基三甲基氯(溴)化铵等，所述非离子型表面活性剂是聚氧化乙烯脂肪醇醚、聚氧化乙烯丙烯脂肪醇醚、聚氧化乙烯脂肪酸酯、失水山梨醇脂肪酸酯或脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚等，所述两性离子表面活性剂是烷基甜菜碱或羟基磺基甜菜碱等，所述的表面活性剂是其中的一种或者几种的组合，所述的防锈剂是有机酸盐、有机酸盐酯、硼酸盐、硼酸酯、十二烯基丁二酸盐或者十二烯基丁二酸盐酯，如十二二元酸纳盐、十一二元酸纳盐、三元酸纳盐和硼酸纳盐等，所述的防锈剂是其中的一种或者几种的组合，所述螯合剂是有机类螯合剂或无机类螯合剂，如醋酸钙、柠檬酸及其钙、钾、钠本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种环保型硅片清洗剂，其特征在于：所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：水0‑99.9份、碱0.1‑100份、表面活性剂0‑10份、防锈剂0‑10份、螯合剂0‑10份、分散剂0‑10份、杀菌剂0‑5份和消泡剂0‑5份，所述份数为重量份数。

【技术特征摘要】
1.一种环保型硅片清洗剂，其特征在于：所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：水0-99.9份、碱0.1-100份、表面活性剂0-10份、防锈剂0-10份、螯合剂0-10份、分散剂0-10份、杀菌剂0-5份和消泡剂0-5份，所述份数为重量份数。2.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗剂，其特征在于：所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：碱20份、表面活性剂2份、防锈剂4份、螯合剂2份、分散剂1份、杀菌剂2份、消泡剂0.1份，其余为水，所述份数为重量份数。3.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗剂，其特征在于：所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：碱30份、表面活性剂2份、螯合剂2份、分散剂2份、杀菌剂2份，消泡剂0.1份，其余为水，所述份数为重量份数。4.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗剂，其特征在于：所述环保型硅片清洗剂由下述浓度的组分配制而成：碱40份、表面活性剂4份、防锈剂4份、螯合剂1份、杀菌剂2份，其余为水，所述份数为重量份数。5.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗剂，其特征在于：所述的碱是无机碱,如氢氧化钠、氢氧化钾和氢氧化钙。6.如权利要求1所述的一种环保型硅片清洗剂，其特征在于：所述的表面活性剂是离子型表面活性剂、非离子型表面活性剂或两性离子表面活性剂,如脂肪醇醚硫酸酯盐、聚氧化乙烯脂肪醇醚和烷基甜菜碱。7.如权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：张启力，
申请(专利权)人：富地润滑科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33