提高靶材利用率及涂层质量的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了提高靶材利用率及涂层质量的装置，包括磁铁装夹模块，靶材固定模块和冷却模块；其中：所述磁铁装夹模块包括磁铁安装夹、磁铁和磁铁安装框，所述磁铁安装于所述磁铁安装夹内部；所述靶材固定模块包括靶材固定部件和靶材；所述靶材固定部件环绕所述靶材设置并对所述靶材进行固定；所述冷却模块包括冷却水进水管和冷却水出水管，用于冷却所述靶材。本实用新型专利技术以最低的成本方式解决了靶材利用率低的问题，减少材料的浪费，采用了不同规格的圆形铜板改变了靶材的装夹位置和将磁铁安装夹向外旋转扭动改变磁铁的位置，使得每一次消耗过后的靶材表面都能够最大限度地处于理想的磁场环境中工作。

Device for improving target utilization and coating quality

The utility model discloses a device for improving the utilization ratio of target materials and coating quality, including a magnet clamping module, a target fixing module and a cooling module, wherein the magnet clamping module comprises a magnet mounting clamp, a magnet and a magnet mounting frame, and the magnet is mounted inside the magnet mounting clamp; and the target fixing module package. The cooling module comprises a cooling water inlet pipe and a cooling water outlet pipe for cooling the target material. The utility model solves the problem of low utilization ratio of target material with the lowest cost, reduces the waste of material, adopts circular copper plates of different specifications to change the clamping position of target material and changes the position of magnet by rotating and twisting the magnet clamp outward, so that the target surface after each consumption can be maximized. Working in an ideal magnetic field.

【技术实现步骤摘要】
提高靶材利用率及涂层质量的装置
本技术属于机械加工中切削刀具PVD涂层领域，具体涉及提高靶材利用率及涂层质量的装置。
技术介绍
在现有的技术条件下，涂层设备在正常工作时，每完成一次涂层内容，相对应的靶材表面会被消耗成“W”形状。对下一次的涂层会造成靶材电弧激发粒子不均匀，从而对涂层结果的质量造成不良影响，同时也会导致涂层过程中引弧不成功，使得机器系统报错的产生。对于生产来说，另外还会产生靶材利用不充分、利用率低、生产成本高的现象。传统的涂层技术中，对于解决靶材消耗带来的涂层粒子大小不一，涂层效果不理想的问题，对应的解决方案一般是采用更换靶材装夹夹具内部的磁铁，通过变换不同磁场力大小的磁铁来控制磁场强度。但是对于真空度要求苛刻的涂层设备来说，频繁地更换会导致机器设备相关部件连接处地磨损和部件地损坏，同时也不利于正常生产工作地进行。因此有待现有技术进行进一步的改进，开发一种能降低生产成本，减少材料的浪费，充分利用靶材的装置。
技术实现思路
为了解决上述现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供提高靶材利用率及涂层质量的装置，充分利用PVD(物理气相沉积)涂层过程中所用的靶材，降低生产成本，减少材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.提高靶材利用率及涂层质量的装置，其特征在于，包括磁铁装夹模块、靶材固定模块和冷却模块；所述磁铁装夹模块以环绕所述靶材固定模块的方式设置，所述磁铁装夹模块包括磁铁安装夹(101)，磁铁(102)和磁铁安装框(108)；所述磁铁(102)安装在所述磁铁安装夹(101)内部，所述磁铁安装夹(101)的外壁上半部设置有外螺纹，所述磁铁安装框(108)的内壁上半部设置有内螺纹，所述磁铁安装夹(101)设置在所述磁铁安装框(108)内部；通过外螺纹与内螺纹的配合，所述磁铁安装夹(101)带动所述磁铁(102)在所述安装框(108)内旋上旋下；所述靶材固定模块包括靶材固定部件(103)和靶材(104)；...

【技术特征摘要】
1.提高靶材利用率及涂层质量的装置，其特征在于，包括磁铁装夹模块、靶材固定模块和冷却模块；所述磁铁装夹模块以环绕所述靶材固定模块的方式设置，所述磁铁装夹模块包括磁铁安装夹(101)，磁铁(102)和磁铁安装框(108)；所述磁铁(102)安装在所述磁铁安装夹(101)内部，所述磁铁安装夹(101)的外壁上半部设置有外螺纹，所述磁铁安装框(108)的内壁上半部设置有内螺纹，所述磁铁安装夹(101)设置在所述磁铁安装框(108)内部；通过外螺纹与内螺纹的配合，所述磁铁安装夹(101)带动所述磁铁(102)在所述安装框(108)内旋上旋下；所述靶材固定模块包括靶材固定部件(103)和靶材(104)；所述靶材固定部件(103)环绕所述靶材(104)设置并对所述靶材(104)进行固定；所述冷却模块与所述靶材固定模块的下部抵接；所述冷却模块包括冷却水进水管(106)和冷却水出水管(107)，用于冷却所述靶材(104)；所述冷却模块中心下方设有外部中心磁铁(105)，所述外部中心磁铁(105)用于为所述靶材(104)提供竖直方向的磁场。2.如权利要求1所述的提高靶材利...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅铭桓，
申请(专利权)人：广州巴达精密刀具有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44