一种利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法技术

本发明专利技术公开了一种利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法，所述方法步骤如下：对待键合材料的表面进行清洗→放置楔形片→放置玻璃晶片→活化待键合的晶片对→抽出楔形→手动施压完成键合。本发明专利技术通过利用紫外光能透过玻璃晶片对下方材料的待键合表面进行活化的方法，实施活化过程中的原位键合，既能减少污染物颗粒在表面的亲水性表面的吸附，也能在一定程度上降低人为因素的干扰，能够有效地提高玻璃与其他材料的键合质量，降低键合过程中的缺陷。

A method of glass and other materials placed by ultraviolet activation bonding

The invention discloses a method of using ultraviolet light to activate bonding superimposed glass and other materials. The method steps are as follows: cleaning the surface of bonding material placing wedge placing glass chip activating the wafer pair to be bonded pulling wedge manually pressing to complete bonding. By using the method of activating the bonded surface of the underlying material through the glass chip by ultraviolet light, the in-situ bonding in the activation process can reduce the adsorption of pollutant particles on the hydrophilic surface of the surface, reduce the interference of human factors to a certain extent, and effectively improve the glass and the glass. The bonding quality of other materials reduces the defects in the bonding process.

【技术实现步骤摘要】
一种利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法
本专利技术属于晶圆键合
，涉及一种玻璃与其他功能性材料进行键合的方法，具体涉及一种利用紫外光活化法键合叠加式放置的玻璃与其他功能性材料的方法。
技术介绍
晶圆键合是指对晶圆表面进行清洗及活化后实现原子级清洁的表面，然后将二者贴合，通过室温或低温退火从而实现二者的共价连接的过程。玻璃是一种良好的光透过性材料，几乎在所有波段其透光率都可达到甚至超过90%。此外，由于其热膨胀系数较小（0.56×10-6/K），具有良好的热稳定性，是许多光电器件、微流体器件及激光器的衬底材料。为了实现上述器件的性能，通常需要对玻璃与其他功能性材料（例如：硅、碳化硅等）进行键合。紫外光是一种波长位于100~400nm的电磁波，因其具有较高的能量，可以切断晶圆表面有机物和基体的共价键，从而达到清洗和活化的作用。采用紫外光活化法对晶圆进行键合时，通常将待键合的表面平行置于光源下方，照射一定时间后完成键合。但是由于大气中存在许多的尺寸微小污染物颗粒，极易吸附在紫外光活化后的亲水性表面，从而诱发键合缺陷的产生。此外，这种方法对于大尺寸的晶圆键合常常需要较大本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法，其特征在于所述方法具体实施步骤如下：一、将待键合的玻璃晶片材料和非玻璃晶片材料以及若干枚楔形片进行清洗；二、取若干枚楔形片均匀地置于待键合的非玻璃晶片材料表面的边缘；三、将待键合的玻璃晶片材料置于楔形片的上方，使得待键合的玻璃晶片材料表面与另一待键合的非玻璃晶片材料表面相对；四、将放置好的待键合晶片对置于紫外光光源正下方进行照射活化；五、完成活化后，原位抽去楔形片，使得待键合表面相互贴合；六、关闭紫外光光源，取出表面贴合的晶片对，手动施加压力完成键合。

【技术特征摘要】
1.一种利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法，其特征在于所述方法具体实施步骤如下：一、将待键合的玻璃晶片材料和非玻璃晶片材料以及若干枚楔形片进行清洗；二、取若干枚楔形片均匀地置于待键合的非玻璃晶片材料表面的边缘；三、将待键合的玻璃晶片材料置于楔形片的上方，使得待键合的玻璃晶片材料表面与另一待键合的非玻璃晶片材料表面相对；四、将放置好的待键合晶片对置于紫外光光源正下方进行照射活化；五、完成活化后，原位抽去楔形片，使得待键合表面相互贴合；六、关闭紫外光光源，取出表面贴合的晶片对，手动施加压力完成键合。2.根据权利要求1所述的利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法，其特征在于所述清洗过程为：将待键合的玻璃晶片材料和非玻璃晶片材料以及若干枚楔形片置于去离子水中，室温下超声清洗5~15min。3.根据权利要求1或2所述的利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晨曦，许继开，王源，吴斌，康秋实，王特，赵珈辉，李义邦，田艳红，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23