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一种利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法技术
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下载一种利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法的技术资料
文档序号:18914905
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本发明公开了一种利用紫外光活化键合叠加式放置的玻璃与其他材料的方法,所述方法步骤如下:对待键合材料的表面进行清洗→放置楔形片→放置玻璃晶片→活化待键合的晶片对→抽出楔形→手动施压完成键合。本发明通过利用紫外光能透过玻璃晶片对下方材料的待键合...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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