场效应晶体管及场效应晶体管的制备方法技术

技术编号:18825540 阅读:25 留言:0更新日期:2018-09-01 14:05
提供一种场效应晶体管(10)及场效应晶体管的制备方法。场效应晶体管包括衬底(110),衬底包括第一表面(110a);栅极(120),栅极自第一表面嵌设于衬底,且栅极的一端面与第一表面平齐;栅介质层(130),覆盖第一表面及栅极与第一表面平齐的端面;石墨烯层(140),设置在栅介质层背离衬底的表面;源极(150),设置在石墨烯层背离栅介质层的表面;及漏极(160),设置在石墨烯层背离栅介质层的表面,且与源极之间设有间隙。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请,说明书已公开。

【技术保护点】
PCT国内申请,权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请,...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐慧龙秦旭东张臣雄
申请(专利权)人:华为技术有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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