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场效应晶体管及场效应晶体管的制备方法技术
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文档序号:18825540
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提供一种场效应晶体管(10)及场效应晶体管的制备方法。场效应晶体管包括衬底(110),衬底包括第一表面(110a);栅极(120),栅极自第一表面嵌设于衬底,且栅极的一端面与第一表面平齐;栅介质层(130),覆盖第一表面及栅极与第一表面平齐...
该专利属于华为技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华为技术有限公司授权不得商用。
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