The purpose of the utility model is to provide a double-cavity slot nozzle, which makes the bubbles contained in the liquid medicine flow smoothly out to the outside, thereby improving the coating quality of the liquid medicine, and at the same time improving the uniformity of the coating film of the liquid medicine coated on the substrate surface. The utility model for realizing the said purpose comprises a first cavity which is connected with the inflow path of the liquid medicine and is filled by the liquid medicine at one time; a connecting flow path which is connected with the downflow of the first cavity; and a second cavity which is formed in the connecting flow path and an outflow path which sprays the liquid medicine on the surface of the substrate. And filled with two times.
【技术实现步骤摘要】
双腔狭缝喷嘴
本技术涉及一种双腔狭缝喷嘴，更为详细地，涉及一种双腔狭缝喷嘴，其快速且顺畅地排出药液所包含的气泡，从而提高药液的涂布质量，同时可以提高涂布于基板表面的药液涂布膜的均匀度。
技术介绍
基板涂布装置将药液以一定的厚度均匀地涂布于平板基板，并可以用于多种领域，如下的涂布工艺也属于其中一种：为了制造如液晶显示器(LCD)一样的平板显示器而将感光性树脂涂布于玻璃基板表面。随着显示器基板的尺寸大型化，作为药液涂布方式正广泛使用利用狭缝喷嘴(SlitNozzle)的狭缝涂布方式。狭缝涂布方式为：使得狭缝喷嘴沿着基板移送的同时喷射并涂布药液，狭缝喷嘴具有与被处理基板的宽度相对应的长度。参照图1，就现有基板涂布装置1而言，在基板20固定于工作台10上的状态下，狭缝喷嘴30通过驱动部50的驱动而沿着基板20的上侧空间移动的同时涂布药液40。在图1中，X轴指狭缝喷嘴30移动的水平方向，Y轴指与X轴直角交叉的水平方向，Z轴指与X轴及Y轴直角交叉的竖直方向。所述狭缝喷嘴30沿Y轴方向长长地构成，基板20以其宽度方向与Y轴方向一致的形式安装于工作台10上。参照图2和图3，所述狭...
【技术保护点】
1.一种双腔狭缝喷嘴，其包括：第一空腔，其与药液流入的流入流路相连接，并被药液一次填充；连接流路，其与所述第一空腔的下流相连接；以及第二空腔，其形成于所述连接流路和将药液喷射于基板表面的排出流路之间，并被药液二次填充。
【技术特征摘要】
1.一种双腔狭缝喷嘴，其包括：第一空腔，其与药液流入的流入流路相连接，并被药液一次填充；连接流路，其与所述第一空腔的下流相连接；以及第二空腔，其形成于所述连接流路和将药液喷射于基板表面的排出流路之间，并被药液二次填充。2.根据权利要求1所述的双腔狭缝喷嘴，其特征在于，所述第一空腔形成为以中间部为顶点两侧部间的夹角并非水平的结构，所述第二空腔水平地形成。3.根据权利要求1所述的双腔狭缝喷嘴，其特征在于，所述第二空腔以具有小于所述第一空腔的体积的形式形成。4.根据权利要求2所述的双腔狭缝喷嘴，其特征在于，所述第一空腔形成为以中间部为顶点所述两侧部向下倾斜。5.根据权利要求4所述的双腔狭缝喷嘴，其特征在于，用于排出收容于所述第一空腔的药液所包含的气泡的第一排气管分别连接于所述第一空腔的中间部和两侧部，用于排出收容于所述第二空腔的药液所包含的气泡的第二排气管分别连接于所述第二空腔的两侧部。6.根据权利要求5所述的双...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵康一，
申请(专利权)人：凯斯科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国,KR
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