The invention discloses a laser-assisted glass packing method, which comprises: off-line measuring the relationship between the film thickness of glass and laser power; uploading the glass substrate containing glass to the workbench to measure the film thickness of the glass; and feedback the position information of the film thickness measuring point on the glass by the position information processing module. According to the film thickness and the corresponding position information of the glass material, the host module calculates the laser power adjustment time sequence of the whole glass material and feeds back the information to the laser scanning module. The laser scanning module packages the glass material according to the received information. The invention adds the function of on-line measuring the film thickness of glass material, reduces the difficulty of realizing the film thickness measuring function, and makes the synchronous control between the film thickness and the measuring position easier because the original optical path is used.
【技术实现步骤摘要】
激光辅助的玻璃料封装方法本申请是申请号为201410854247.X、申请日为2014年12月31日、专利技术名称为“激光辅助的玻璃料封装装置及方法”的专利申请的分案申请。
本专利技术涉及集成电路制造领域,特别涉及一种激光辅助的玻璃料封装装置及方法。
技术介绍
近年来,OLED(有机发光二极管,OrganicLight-EmittingDiode)以其自发光、结构简单、超轻薄、响应速度快、色彩对比度高、宽视角、低功耗及可实现柔性显示等优异特性,已成为平板显示和照明领域的一个重要发展方向。目前OLED显示屏所采用的有机发光材料及电极对其周围环境中的水蒸气及氧气极度敏感,并因相互作用使其劣化造成暗点,而严重影响其寿命。为此需要对OLED进行极度苛刻的气密性封装。激光辅助的玻璃料封装工艺以其优良封装气密性、低温选择性及成熟工艺已成为当前OLED玻璃封装的首选封装工艺。激光辅助的玻璃料封装在封装过程中温度要求尽可能低,以减少对OLED器件的不良影响。而激光辅助玻璃料封装的原理是通过特定吸收波长的激光对玻璃料进行照射,产生热效应,使玻璃料温度迅速达到软化点以上。根据光吸收基本定律“物质对单色光吸收的强弱与吸光物质的浓度和厚度存在一定关系”,温度在玻璃料的传递中会呈现下降趋势,即离表面越远、厚膜越厚的玻璃料其温度衰减越厉害,所以为了使底层玻璃料也能够达到软化点,其激光功率需要加大到一定程度。但也不能过大的加强激光功率,这是由于激光功率过大时,会引发一系列问题,首先其封装温度将会大幅度上升,从而影响到OLED器件的性能,并且相同的激光功率对于不同厚度的玻璃料有着热效应的 ...
【技术保护点】
1.一种激光辅助的玻璃料封装方法,其特征在于,包括:步骤1:离线测量玻璃料的膜厚与激光功率关系;步骤2:载有玻璃料的玻璃基板上传至工件台,对所述玻璃料进行膜厚测量;步骤3:位置信息处理模块反馈玻璃料上的膜厚测量点的位置信息;步骤4:主机模块根据玻璃料的膜厚和对应位置信息,计算完成整个玻璃料的激光功率调整时序,并将信息反馈至激光扫描模块;步骤5:激光扫描模块根据接收到的信息进行玻璃料封装;所述步骤1包括:设定激光的扫描速度;使用不同激光功率对直线段的同一膜厚的玻璃料进行扫描封装;对封装后的玻璃料进行切片观察,以确定与该膜厚对应的激光功率;计算膜厚与激光功率之间的对应关系。
【技术特征摘要】
1.一种激光辅助的玻璃料封装方法,其特征在于,包括:步骤1:离线测量玻璃料的膜厚与激光功率关系;步骤2:载有玻璃料的玻璃基板上传至工件台,对所述玻璃料进行膜厚测量;步骤3:位置信息处理模块反馈玻璃料上的膜厚测量点的位置信息;步骤4:主机模块根据玻璃料的膜厚和对应位置信息,计算完成整个玻璃料的激光功率调整时序,并将信息反馈至激光扫描模块;步骤5:激光扫描模块根据接收到的信息进行玻璃料封装;所述步骤1包括:设定激光的扫描速度;使用不同激光功率对直线段的同一膜厚的玻璃料进行扫描封装;对封装后的玻璃料进行切片观察,以确定与该膜厚对应的激光功率;计算膜厚与激光功率之间的对应关系。2.如权利要求1所述的激光...
【专利技术属性】
技术研发人员:任书铭,陈海华,黄元昊,
申请(专利权)人:上海微电子装备集团股份有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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