一种涂布设备制造技术

公开了一种涂布设备，包括：基台，用于承载待涂布的基板；喷头，可以移动地位于基台上方，用于涂布基板；干燥装置，位于基台上；以及传动装置，与干燥装置连接，用于将干燥装置传动至基板上方或将所述干燥装置从所述基板上方撤离。本实用新型专利技术的涂布设备的干燥装置喷出干燥气体可以在短时间内赶走涂布溶液薄膜附近的湿润空气，使涂布溶液薄膜快速凝固，从而避免在涂布完成或者涂布过程中，涂布溶液薄膜与除尘室内湿润气体长时间接触而发生缓慢反应，最终导致被涂布基板劣化。

【技术实现步骤摘要】
一种涂布设备
本技术涉及一种涂布设备领域，更具体地涉及一种可进行干燥操作的涂布设备。
技术介绍
涂布设备为精密生产设备且被涂布基板良率易受空气中微尘的影响，因此涂布设备一般位于可以调控空气温湿度的无尘室内，以延长涂布设备的寿命同时保证涂布基板良率。当涂布溶液粘度较低时，为防止搬送时基板变形导致涂布溶液膜薄厚不均，通常需要在涂布后让基板在涂布机载台上静置一段时间，使涂布溶液薄膜自然干燥。但是，在静置的这段时间内涂布溶液薄膜与无尘室内具有一定湿度空气充分接触，并且发生缓慢反应，最终导致基板劣化。为了避免涂布溶液薄膜在完成涂布后或者涂布过程中与无尘室的湿润空气发生缓慢反应，现有技术可采用压缩抽干机，将无尘室内部的湿润空气抽干。但是，所采用的压缩抽干机并不能迅速的抽干周围的湿润空气，仍然不能解决涂布溶液薄膜与周围湿润空气缓慢反应的问题，不能保证基板质量。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种涂布设备，在基板涂布后或者涂布过程中能够避免涂布溶液薄膜与周围湿润空气长时间接触而发生的缓慢反应，保证被涂布基板的质量。为解决上述技术问题，本技术涂布设备包括：基台，用于承载待涂布的基板；喷头，可以移动地位于所述基台上方，用于涂布所述基板；干燥装置，位于所述基台上；以及传动装置，与所述干燥装置连接，用于将所述干燥装置传动至所述基板上方或将所述干燥装置从所述基板上方撤离。进一步地，所述干燥装置还包括：腔体；进气口，与所述腔体连通，用于向所述腔体输入干燥气体；出气口，与所述腔体连通，位于所述腔体的下表面。进一步地，所述干燥装置还包括:多个球体，位于所述腔体内。进一步地，所述多个球体尺寸不同。进一步地，所述多个球体的尺寸随与所述进气口的距离增大而逐渐增大。进一步地，所述多个球体是吸湿球体或外部包裹有吸湿层的非吸湿球体。进一步地，所述出气口为包括多个通孔的面板。进一步地，所述多个通孔的尺寸相同，并且在所述面板上阵列排布。进一步地，所述干燥装置还包括：空气过滤网，位于所述腔体内部并且靠近所述出气口的位置。进一步地，所述传动装置包括：滑块，与所述干燥装置连接；滑道，横向延伸于所述干燥装置上方，所述滑块在所述滑道内滑动带动所述干燥装置传动至所述基板上方或将所述干燥装置从所述基板上方撤离。根据本技术的涂布设备，基板的涂布工作开始之前，涂布设备的传动装置将干燥装置传送至基台上方。传动装置高度在保证基板表面的风速均匀和不干扰其他机构运作的前提下，尽量靠近基板的被涂布表面。由干燥装置出气口喷出的干燥气体经过干燥装置内部的空气过滤网快速的扩散导出，均匀地作用在涂布溶液薄膜上，使涂布溶液薄膜暂时与无尘室内的湿润空气隔离，避免发生缓慢反应，同时加速涂布溶液薄膜的干燥。这样不仅能够避免涂布设备受到损坏，而且可以保证产品良率，提高产品性能。完成干燥后，干燥装置的传动装置可将干燥装置撤离基台上方。其中干燥装置的腔体内部分布着尺寸不同的多个球体，多个球体的尺寸随与干燥装置进气口距离的增大而逐渐增大，多个球体可为刚性吸湿球体，从而保证干燥装置腔体内部干燥气体均匀喷出，有效提高涂布质量。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本实用型新作进一步详细的说明：图1为本实用型新实施例涂布设备的立体图。图2为本实用型新实施例涂布设备中干燥装置的立体图。图3为本实用型新实施例涂布设备中干燥装置的俯视图。图4为本实用型新实施例涂布设备中干燥装置的剖面图。图5为涂布溶液的载流子的迁移率随暴露在空气中的时间变化的曲线图。具体实施方式以下将参照附图更详细的描述本技术。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，在图中可能未示出某些公知的部分。在下文中描述了本技术的许多特定的细节，例如部件的结构、材料、尺寸、处理工艺和技术，以便更清楚地理解本技术。但正如本领域的技术人员能够理解的那样，可以不按照这些特定的细节来实现本技术。应当理解，在描述部件的结构时，当将一层、一个区域称为位于另一层、另一个区域“上面”或“上方”时，可以指直接位于另一层、另一个区域上面，或者在其与另一层、另一个区域之间还包含其它的层或区域。并且，如果将部件翻转，该一层、一个区域将位于另一层、另一个区域“下面”或“下方”。本技术的涂布设备可应用于涂布金属氧化物半导体溶液的狭缝涂布以及狭缝涂布液膜的干燥。图1为本技术实施例涂布设备的立体图。该涂布设备为对周围空气湿度敏感的精密生产设备，同时普通环境中的微尘会影响被涂布基板良率，因此一般该涂布设备放置于无尘室内500。无尘室500内空气流动可以是垂直层流式，该无尘室500上方为具有密集小孔洞的空气匀风扩散装置的天花板510，在天花板510之上是风机过滤机组(FanFilterUnit，FFU)，工厂厂务端向风机过滤机组输送经过湿度调节的空气，所输送空气经风机过滤机组过滤后送入无尘室500环境，随后气流经地板520上气孔流出无尘室500。在无尘室500内形成自上而下的气流，在制程中或工作人员所产生的微尘颗粒被压向地板520，随气流快速流出无尘室500，而不会影响其它工作区，同时可保证无尘室500内空气保持适当的湿度。放置于无尘室500内的该涂布设备包括基台100、可在基台100上方移动的喷头200、位于基台上方的干燥装置300以及传动装置400。其中可在基台100上方移动的喷头200可以通过位于无尘室500内机械装置而移动，从而完成涂布的喷涂过程。传动装置400与干燥装置300连接，用于将干燥装置300传动至基板600上方或将干燥装置300从基板600上方撤离。本实施例中，传动装置400包括相互配合的滑块410与滑道420，其中滑块410与干燥装置300连接，滑道420横向延伸于干燥装置300上方，滑块410在滑道420内滑动，从而带动干燥装置300传动至基板600上方或将干燥装置300从基板600上方撤离。为了避免静电和空气之中的微尘对涂布设备以及对对被涂布基板良率的影响，除尘室内的空气需要保持一定湿度，但是涂布溶液薄膜与湿润气体长时间接触会发生缓慢反应，从而影响涂布质量，该干燥装置可以迅速喷出的干燥气体，均匀地作用在涂布溶液薄膜上，使涂布溶液薄膜暂时与无尘室内的湿润空气隔离，避免发生缓慢反应，同时加速涂布溶液薄膜的干燥。这样不仅能够避免涂布设备受到损坏，而且可以保证产品良率，提高产品性能。涂布溶液薄膜可以是金属氧化物半导体溶液薄膜，也可以是薄膜晶体管(ThinFilmTransistor，TFT)的至少部分功能层。用于涂布的溶液粘度低、流动性强。为了防止在移送基板600过程中将已完成的涂布溶液薄膜700破坏，使其薄厚不均，需要将涂布后的基板600静置一段时间或者迅速干燥。但是当涂布溶液薄膜700暴露在湿润空气中会与空气中的水汽发生缓慢反应，导致被涂布基板600劣化。图5为涂布溶液的载流子的迁移率随暴露在空气中的时间变化的曲线图，可以观察到载流子的迁移率随时间的增加逐渐降低，未接触湿润空气的涂布溶液载流子的迁移率约为1cm2/vs,而在湿润空气中放置5分钟后的涂布溶液载流子的迁移率约为0.35cm2/vs。因此本实施例采用干燥装置300对涂布完成的基板6本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂布设备，其特征在于，包括：基台，用于承载待涂布的基板；喷头，可移动地位于所述基台上方，用于涂布所述基板；干燥装置，位于所述基台上；以及传动装置，与所述干燥装置连接，用于将所述干燥装置传动至所述基板上方或将所述干燥装置从所述基板上方撤离。

【技术特征摘要】
1.一种涂布设备，其特征在于，包括：基台，用于承载待涂布的基板；喷头，可移动地位于所述基台上方，用于涂布所述基板；干燥装置，位于所述基台上；以及传动装置，与所述干燥装置连接，用于将所述干燥装置传动至所述基板上方或将所述干燥装置从所述基板上方撤离。2.根据权利要求1所述的涂布设备，其特征在于，所述干燥装置包括：腔体；进气口，与所述腔体连通，用于向所述腔体输入干燥气体；出气口，与所述腔体连通，位于所述腔体的下表面。3.根据权利要求2所述的涂布设备，其特征在于，所述干燥装置还包括:多个球体，位于所述腔体内。4.根据权利要求3所述的涂布设备，其特征在于，所述多个球体尺寸不同。5.根据权利要求4所述的涂布设备，其特征在于，所述多个球体的尺寸随与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：何佳新，柯健，徐芸，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32