力学量传感器制造技术

一种力学量传感器，具有：形成有固定电极(437、613)的支承部(4)；固定于支承部的板状的固定部(21)；支承于固定部并在固定部的平面上的一个方向上延伸设置的梁部(22)；第一锤部(23)，在固定部的平面上的与一个方向垂直的另一方向上配置在固定部的一侧，连结于所述梁部，并且该第一锤部与梁部的连接部(231)和该第一锤部的与梁部相反一侧的前端部(232)利用在另一方向上延伸设置的连结部(233)连结，从而在连接部和前端部之间形成空间；第二锤部(24)，在另一方向上在与第一锤部相反的一侧配置于固定部，连结于梁部；第一锤部在另一方向上的长度大于第二锤部在另一方向上的长度，利用第一锤部及第二锤部位移时固定电极与第一锤部及第二锤部之间的静电电容的变化来检测力学量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】力学量传感器关联申请的相互参照本申请是基于2015年11月3日申请的日本专利申请第2015-216228号的申请，在此通过参照的方式整合其记载内容。
本公开涉及一种具有杠杆构造的力学量传感器。
技术介绍
以往，提出过专利文献1记载的那种加速度传感器。该加速度传感器是将固定电极与可动电极相对配置的静电电容型加速度传感器，利用惯性力所引起的可动电极的位移和基于此的电极间静电电容的变化来检测加速度。另外，在专利文献1记载的加速度传感器这种具有X、Y、Z方向各自的检测部的三轴加速度传感器中，与可动电极由弹簧支承的X、Y方向的检测部不同，Z方向的检测部中，可动电极被设为以支点为中心的杠杆构造。并且，在Z方向上与可动电极相对地配置有两个固定电极，当可动电极受到惯性力时，各个固定电极与可动电极之间的静电电容出现差异。在三轴加速度传感器中，利用该静电电容的差异检测Z方向的加速度。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-37341号公报
技术实现思路
在三轴加速度传感器中，要想提高Z方向的灵敏度，从而使较小的加速也能被检测出来，就需要加大构成可动电极的杠杆的沿Y方向排列的两个锤的质量差。例如，在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种力学量传感器，其中，具有：形成有固定电极(437、613)的支承部(4)；固定于所述支承部的板状的固定部(21)；梁部(22)，支承于所述固定部，在所述固定部的平面上的一个方向上延伸设置；第一锤部(23)，在所述固定部的平面上的与所述一个方向垂直的另一方向上配置在所述固定部的一侧，连结于所述梁部，并且该第一锤部与所述梁部的连接部(231)和该第一锤部的与所述梁部相反一侧的前端部(232)利用在所述另一方向上延伸设置的连结部(233)连结，从而在所述连接部和所述前端部之间形成了空间；第二锤部(24)，在所述另一方向上在与所述第一锤部相反的一侧配置于所述固定部，并连结于所述梁部；所述第一锤...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.11.03 JP 2015-2162281.一种力学量传感器，其中，具有：形成有固定电极(437、613)的支承部(4)；固定于所述支承部的板状的固定部(21)；梁部(22)，支承于所述固定部，在所述固定部的平面上的一个方向上延伸设置；第一锤部(23)，在所述固定部的平面上的与所述一个方向垂直的另一方向上配置在所述固定部的一侧，连结于所述梁部，并且该第一锤部与所述梁部的连接部(231)和该第一锤部的与所述梁部相反一侧的前端部(232)利用在所述另一方向上延伸设置的连结部(233)连结，从而在所述连接部和所述前端部之间形成了空间；第二锤部(24)，在所述另一方向上在与所述第一锤部相反的一侧配置于所述固定部，并连结于所述梁部；所述第一锤部在所述另一方向上的长度大于所述第二锤部在所述另一方向上的长度，利用所述第一锤部及所述第二锤部位移时所述固定电极与所述第一锤部及所述第二锤部之间的静电电容的变化来检测力学量。2.如权利要求1所述的力学量传感器，其中，所述第一锤部由与构成所述第二锤部的材料相同的材料构成。3.如权利要求1所述的力学量传感器，其中，所述第一锤部由与构成所述第二锤部的材料相比每单位体积的质量更大的材料构成。4.如权利要求1至3中任一项所述的力学量传感器，其中，所述第一锤部的质量大于所述第二锤部的质量。5.如权利要求1至4中任一项所述的力学量传感器，其中，具有至少一部...

【专利技术属性】
技术研发人员：竹谷英一，
申请(专利权)人：株式会社电装，
类型：发明
国别省市：日本,JP