下载力学量传感器的技术资料

文档序号:18767656

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一种力学量传感器,具有:形成有固定电极(437、613)的支承部(4);固定于支承部的板状的固定部(21);支承于固定部并在固定部的平面上的一个方向上延伸设置的梁部(22);第一锤部(23),在固定部的平面上的与一个方向垂直的另一方向上配置...
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