清洗干燥方法及装置制造方法及图纸

一种使清洗后的被清洗物旋转进行干燥的清洗干燥方法及装置，通过将被清洗物安装在置物台上并使其旋转，产生从被清洗物的旋转中心部沿被清洗物的正反面流向外周部的空气流，用该空气流除去被清洗物中心部的附着物。因此，即使不向被清洗物的正反面喷射干燥用的氮气，也能获得良好的清洗干燥状态，能适用于液晶显示器中所使用的玻璃基片等的清洗干燥。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用水或溶剂清洗被清洗物、并通过使被清洗物旋转而使附着在被清洗物上的水或溶剂因离心力而飞散、从而使被清洗物变干的清洗干燥方法方法及装置，尤其涉及适用于薄板状被清洗物正反面的清洗干燥的清洗干燥方法及装置。传统的这种清洗干燥装置如图5和图6所示。载置保持被清洗物30的置物台24安装在转轴23的顶端。置物台24及转轴23被盖筒26所包围。盖筒26为圆筒状，其上部设有装卸被清洗物30用的开口部，其上端部剖面呈以曲线弯向内侧(靠近转轴23的方向)的形状。此外，在盖筒26的下部，形成有下部排气口27。盖筒26安装在本体台架22上，转轴23由安装在本体台架22上的驱动部25作旋转驱动。31是将被清洗物30固定在置物台24上的基板固定销，34是本体台架22的上面板，35是本体台架22下端的调节螺栓。对于这种传统的清洗干燥装置，为了用盖筒26挡住从30甩出的水或溶剂防止其飞散，盖筒26的圆筒直径大小必需是被清洗物30外周部转动所绘出的直径D(见图6)的1.5-2倍，故存在装置大型化的问题。另外，当被清洗物30中心部分的干燥不充分时，为了使其充分干燥，通常的作法是，或者从喷嘴28、29本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种清洗干燥方法，其特征在于，包括：用水或溶剂清洗被清洗物的清洗工序；使清洗后的被清洗物旋转、由于该旋转而产生从被清洗物的旋转中心部沿被清洗物的正反面流向外周部的空气流、使被清洗物干燥的干燥工序。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：今田哲夫，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]