The method for detecting the breakdown characteristics of micro-gap gases provided by the present invention is not only referring to the current size of the electrode discharge circuit, but also describing the discharge characteristics of the electrode gap by detecting the light signal, current and current waveform of the electrode gap, so that the micro-gap can be judged more accurately. No gas discharge or breakdown occurs.
【技术实现步骤摘要】
一种用于检测微小间隙气体击穿特性的方法及装置
本专利技术属于气体放电研究检测
,尤其涉及一种用于检测微小间隙气体击穿特性的方法及装置。
技术介绍
由于工业上对于小型化,精确化的机械系统越来越紧迫的需求,近年来微机电系统得到了较高的关注度与发展。微机电系统是内部结构一般在微米甚至纳米量级的一个独立的智能机械或电子系统,具有体积小,精度高,功耗低等优点。而随着微机电系统不断向小型化发展,其内部电子元器件的大小及其相距距离也越来越小达到了微米甚至纳米量级。因此,对于微机电系统电子元器件的防静电保护越来越受到关注。与此同时由于医学,化学等学科对于微小等离子体的应用需求,微米及纳米间隙下的放电现象越来越受到关注。但由于微米及纳米级别间隙过于微小,难以进行具体的放电间隙距离测量以及对微小间隙下的放电特性、气体击穿特性进行测量,尤其是对于空间正对式电极结构的微小间隙,其放电特性更加难以测量。例如在采用沿面电极进行微小间隙放电的实验中,通过在绝缘介质板上镀金属膜作为金属电极来进行微小间隙放电的研究,该研究方法具有无法直接调控间隙大小,金属电极附着的介质板影响放电等劣势。并且,在采用沿面电极进行微小间隙放电的实验中,由于放电间隙过于微小,此状态下的空间偶然电荷也会在电场作用下产生飘移运动从而产生较小的回路电流,与此同时微小间隙下发生击穿时回路电流较小,因此仅仅通过放电回路电流并不能确切地判断是否发生气体击穿现象。
技术实现思路
为解决上述问题,本专利技术提供一种用于检测微小间隙气体击穿特性的方法及装置,能够更准确地判断微小的电极间隙是否发生气体放电、击穿现象。一种用于检测 ...
【技术保护点】
1.一种用于检测微小间隙气体击穿特性的方法,其特征在于,包括以下步骤:确定两个电极的间隙零点;根据所述间隙零点,将电极间隙调节至设定距离;在两个电极之间施加电压,采集电极间隙的光信号、测量电极间隙的电流以及电极间隙的电流波形;判断所述光信号、电流以及电流波形是否符合预设判据,如果同时符合,则所述电极间隙发生气体击穿。
【技术特征摘要】
1.一种用于检测微小间隙气体击穿特性的方法,其特征在于,包括以下步骤:确定两个电极的间隙零点;根据所述间隙零点,将电极间隙调节至设定距离;在两个电极之间施加电压,采集电极间隙的光信号、测量电极间隙的电流以及电极间隙的电流波形;判断所述光信号、电流以及电流波形是否符合预设判据,如果同时符合,则所述电极间隙发生气体击穿。2.如权利要求1所述的一种用于检测微小间隙气体击穿特性的方法,其特征在于,所述确定两个电极的间隙零点,包括以下步骤:固定其中一个电极,并将另一个电极作为活动电极;在两个电极之间施加电压,按预设步长将所述活动电极向固定的电极推进,直至与两个电极连接的微电流检测装置有电流信号,且波形检测装置有波形显示,则两个电极连通;两个电极连通后,将所述活动电极按预设步长反向移动,直至所述电流信号为零,所述波形消失,则两个电极分离;将两个电极连通时位移调节装置对应的刻度示数与两个电极分离时位移调节装置对应的刻度示数取平均值,所述平均值为电极间隙零点;或者将两个电极分离时位移调节装置对应的刻度示数加上预设步长的一半,所得和值为电极间隙零点;或者将两个电极连通时位移调节装置对应的刻度示数减去预设步长的一半,所得差值为电极间隙零点。3.如权利要求1所述的一种用于检测微小间隙气体击穿特性的方法,其特征在于,所述预设判据包括:所述光信号不为零;所述电流快速升高且超过设定阈值;所述电流波形有电流脉冲。4.如权利要求1所述的一种用于检测微小间隙气体击穿特性的方法,其特征在于,两个所述电极为板电极、线电极或针电...
【专利技术属性】
技术研发人员:欧阳吉庭,张桐恺,王荣刚,季启政,张宇,
申请(专利权)人:北京理工大学,
类型:发明
国别省市:北京,11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。