一种夏克-哈特曼波前传感器的误差标校方法技术

本发明专利技术公开的一种夏克‑哈特曼波前传感器的误差标校方法，属于光学检测领域。本发明专利技术实现方法为：通过引入不同方向与大小的倾斜波前，使用多项式拟合子孔径的光斑质心不一致性偏移误差关于光斑质心偏移量的函数关系式。利用离焦波前局部波前倾斜大小随空间位置线性变化的特性，构建光斑非线性偏移误差关于经过不一致性校正后光斑质心偏移量的函数关系式。通过引入准确已知的离焦波前，计算光斑质心位置坐标，利用上述两个函数关系式分别对光斑质心位置坐标相继进行子孔径间的不一致性误差校正和非线性误差校正，对子孔径光斑位移和局部波前休旅间的整体比例系数进行误差标定，得到标定数据。根据标定数据，对夏克‑哈特曼波前传感器的波前测量进行误差校正。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种夏克-哈特曼波前传感器的误差标校方法，属于光学检测领域。

技术介绍

1、夏克-哈特曼波前传感器是自适应光学系统的核心部件之一，用于测量入射波前分布，在光学元件面形检测、眼科科学等领域得到了广泛应用。在夏克-哈特曼波前传感器的制造及装调过程中，会不可避免的引入系统误差。引入的系统误差会导致探测精度降低，为了消除系统误差带来的影响，夏克-哈特曼波前传感器使用前必须经过标定这一环节。标定后，不仅可以消除系统误差的影响，还可以获得系统参数的真实值，如微透镜焦距，子孔径直径以及图像传感器的像素尺寸，确定由重构波前对应到被测波前的比例系数。目前主要使用球面波作为参考波前，对夏克-哈特曼波前传感器实现高精度标定。

2、夏克-哈特曼波前传感器主要由微透镜阵列和图像传感器构成，在某些情况下，微透镜阵列无法直接与图像传感器直接耦合。比如，在可见光波段，微透镜规模大，子孔径小，微透镜焦距很短，受到图像探测器窗口玻璃厚度的影响，无法直接将图像传感器放置在微透镜的后焦面上，需要通过中继透镜将微透镜后焦面成像在图像传感器上。对于红外夏克-哈特曼波前传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种夏克-哈特曼波前传感器的误差标校方法，其特征在于：包括如下步骤：

2.如权利要求1所述的一种夏克-哈特曼波前传感器的误差标校方法，其特征在于：基于如下光学系统进行误差标校，所述光学系统包括激光二极管、单模光纤、夏克-哈特曼波前传感器、三维精密位移台，所述夏克-哈特曼波前传感器是误差标校对象，所述夏克-哈特曼波前传感器包括准直透镜、微透镜阵列、中继成像透镜组、图像传感器；

3.如权利要求2所述的一种夏克-哈特曼波前传感器的误差标校方法，其特征在于：步骤二具体实现方法包括如下步骤，

4.如权利要求3所述的一种夏克-哈特曼波前传感器的误差标校方法，其...

【技术特征摘要】

1.一种夏克-哈特曼波前传感器的误差标校方法，其特征在于：包括如下步骤：

2.如权利要求1所述的一种夏克-哈特曼波前传感器的误差标校方法，其特征在于：基于如下光学系统进行误差标校，所述光学系统包括激光二极管、单模光纤、夏克-哈特曼波前传感器、三维精密位移台，所述夏克-哈特曼波前传感器是误差标校对象，所述夏...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡新奇，刘刚，吴传旭，张梦惠，李秉宸，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：