下载一种夏克-哈特曼波前传感器的误差标校方法的技术资料

文档序号:41324610

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本发明公开的一种夏克‑哈特曼波前传感器的误差标校方法,属于光学检测领域。本发明实现方法为:通过引入不同方向与大小的倾斜波前,使用多项式拟合子孔径的光斑质心不一致性偏移误差关于光斑质心偏移量的函数关系式。利用离焦波前局部波前倾斜大小随空间位置...
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