An image sensor and its forming method comprising a semiconductor substrate, a pixel device located within the semiconductor substrate, and a filter matrix located on the surface of the semiconductor substrate, the filter matrix comprising a plurality of minimum repetition units, each of which contains at least a first. A green filter and a second green filter, and the light receiving area of the first green filter and the second green filter are different. The scheme of the invention can improve the dynamic range of the image sensor.
【技术实现步骤摘要】
图像传感器及其形成方法
本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种图像传感器及其形成方法。
技术介绍
图像传感器是摄像设备的核心部件，通过将光信号转换成电信号实现图像拍摄功能。以CMOS图像传感器(CMOSImageSensors，简称CIS)器件为例，由于其具有低功耗和高信噪比的优点，因此在各种领域内得到了广泛应用。以后照式(Back-sideIllumination，简称BSI)CIS为例，在现有的制造工艺中，先在半导体衬底内形成逻辑器件、像素器件以及金属互连结构，然后采用承载晶圆与所述半导体衬底的正面键合，进而对半导体衬底的背部进行减薄，进而在半导体衬底的背面形成CIS的后续工艺，例如在所述像素器件的半导体衬底背面形成网格状的格栅(Grid)，在所述格栅之间的网格内形成滤光器(Filter)矩阵等。其中，滤光器矩阵通常包括多个最小重复单元，以拜耳(Bayer)滤光器矩阵为例，所述最小重复单元中包含的绿色滤光器为红色滤光器或蓝色滤光器的两倍。具体而言，相比于可见光谱中的其他色彩，人类视觉系统对绿波段中的色彩更加敏感，因此倾向于设置更多的绿色滤光器。进一步地...
【技术保护点】
1.一种图像传感器，其特征在于，包括：半导体衬底；像素器件，位于所述半导体衬底内；滤光器矩阵，位于所述半导体衬底的表面，所述滤光器矩阵包括多个最小重复单元，每个所述最小重复单元至少包含第一绿色滤光器以及第二绿色滤光器，且所述第一绿色滤光器与所述第二绿色滤光器的受光面积不同。
【技术特征摘要】
1.一种图像传感器，其特征在于，包括：半导体衬底；像素器件，位于所述半导体衬底内；滤光器矩阵，位于所述半导体衬底的表面，所述滤光器矩阵包括多个最小重复单元，每个所述最小重复单元至少包含第一绿色滤光器以及第二绿色滤光器，且所述第一绿色滤光器与所述第二绿色滤光器的受光面积不同。2.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，所述最小重复单元还包括红色滤光器和蓝色滤光器，所述第一绿色滤光器的受光面积小于第二绿色滤光器的受光面积，所述第二绿色滤光器的受光面积与所述红色滤光器、蓝色滤光器的受光面积相同。3.根据权利要求2所述的图像传感器，其特征在于，所述第一绿色滤光器的受光面积为所述红色滤光器的受光面积以及所述蓝色滤光器的受光面积的50％至70％。4.根据权利要求2所述的图像传感器，其特征在于，还包括：网格状的格栅，位于所述半导体衬底的表面，所述格栅具有多个网格开口，且所述最小重复单元中的各个滤光器位于所述格栅的网格开口内。5.根据权利要求4所述的图像传感器，其特征在于，所述第一绿色滤光器所处的网格开口的尺寸小于其他绿色滤光器所处的网格开口尺寸。6.根据权利要求4所述的图像传感器，其特征在于，所述格栅的各个网格开口具有相同的尺寸，还包括：金属环，位于所述第一绿色滤光器所处的网格开口内。7.根据权利要求1所述的图像传感器，其特征在于，所述最小重复单元还包括红色滤光器和蓝色滤光器，所述第一绿色滤光器的受光面积小于所述红色滤光器、蓝色滤光器的受光面积，所述第二绿色滤光器的受光面积大于所述红色滤光器、蓝色滤光...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕相南，北村陽介，黄晓橹，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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