The utility model discloses a reduction furnace for the production of polysilicon, which comprises a base, an electrode, a silicon core, a furnace body and a gas circulation device. The inner of the base is provided with a flow guide cavity, and a number of vent holes are provided on the top wall of the flow passage, and the furnace body includes the outer furnace body, the inner furnace body and the jacket layer, and the outlet of the furnace body is connected with the inner furnace body. The furnace body is equipped with a cold medium inlet and a cooling medium tube, and the gas circulation device includes the gas outlet, the cover body and the intake pipe, the outlet pipe is extended to the upper part of the inner furnace body, and the air duct is formed between the outlet pipe and the cover body, the top wall of the diversion cavity is opened with a flow vent hole, the upper end of the intake pipe is set with a spherical gas storage cavity, and the gas storage cavity is uniformly set on the air chamber. The lower end of the intake pipe runs through the side wall of the outlet pipe. The gas flow in the device has no dead angle, avoiding the inverted furnace phenomenon, and at the same time, it can absorb the heat of gas from the gas in the reducing furnace, reduce the energy consumption and save the cost greatly.
【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产用还原炉
本技术涉及多晶硅生产设备领域,具体涉及一种多晶硅生产用还原炉。
技术介绍
目前多晶硅的工业生产工艺主要有:改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法,硅烷法——硅烷热分解法,流化床法,冶金法和气液沉淀法。其中改良西门子法在多晶硅生产当中是一种非常成熟的方法,国内大部分厂家都是利用这种方法来生产多晶硅。改良西门子法工艺分为六个步骤:三氯氢硅合成工序,三氯氢硅提纯工序,三氯氢硅还原工序,尾气回收工序,氢化工序,后处理工序。合成工序是在流化床反应器中用纯度约99%的金属硅(工业硅)与HCI反应生成三氯氢硅。提纯工序采用多级分馏塔对三氯氢硅进行精制,除去四氯化硅及硼、磷等有害杂质。还原工序是在化学蒸发沉积反应器(还原炉)内加氢还原三氯氢硅,先在还原炉中预先放置初始硅芯,利用特别的启动装置来对硅芯进行预热,然后对硅芯直接通电加热,三氯氢硅还原后在硅芯上沉积出多晶硅棒。尾气回收工序对来自还原炉、氢化炉、合成洗涤塔顶冷却器的三氯氢硅、四氯化硅、氢气和氯化氢等进行分离、净化、再生和回收。氢化工序是在高压反应器内把四氯化硅转化为三氯氢硅再返回还原炉循环利用。后处理工序包括对最终多晶硅产品进行破碎、净化、包装等。在还原工序中,需要用到还原炉,由还原炉进气口冲入混合反应气,经反应后由还原炉出气口排出;目前所用的还原炉的进、出气口均位于还原炉炉体底座上,这存在以下几个问题:一是,进、出气口均位于还原炉炉体底座上,在正中心的出气口处形成一个低压区,如图9所示还原炉内气体的流动图,这种循环自然很容易在炉体的上部及下部形成死角①、②、③三个区域,死角内气体流动缓慢, ...
【技术保护点】
1.一种多晶硅生产用还原炉,其特征在于:包括底座(1),贯穿设置于所述底座(1)上的电极(3),设置于所述电极(3)上的硅芯(24),设置于所述底座(1)上的双层炉体(2)和设置于所述炉体(2)内的气体循环装置(4);所述底座(1)内部开设有导流腔(5),所述导流腔(5)的顶壁上开设有若干与所述炉体(2)相连通的炉体出气孔(6);所述炉体(2)包括外炉体(2‑1),内炉体(2‑2)和设置于所述外炉体(2‑1)与内炉体(2‑2)之间的夹套层(2‑3),炉体出气孔(6)与所述内炉体(2‑2)相连通,所述外炉体(2‑1)底部设有与所述夹套层(2‑3)相连通的冷媒进管(7),所述外炉体(2‑1)顶部设有与所述夹套层(2‑3)相连通的冷媒出管(8);所述气体循环装置(4)包括贯穿设置于所述底座(1)中心处的出气管(9),套设于所述出气管(9)外的罩体(10)和设置于所述出气管(9)内的进气管(11);所述出气管(9)延伸至所述内炉体(2‑2)上部,所述出气管(9)与所述罩体(10)之间形成出气风道(12),所述导流腔(5)的顶壁上开设有与出气风道(12)相连通的导流腔出气孔(13),所述进气管( ...
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产用还原炉,其特征在于:包括底座(1),贯穿设置于所述底座(1)上的电极(3),设置于所述电极(3)上的硅芯(24),设置于所述底座(1)上的双层炉体(2)和设置于所述炉体(2)内的气体循环装置(4);所述底座(1)内部开设有导流腔(5),所述导流腔(5)的顶壁上开设有若干与所述炉体(2)相连通的炉体出气孔(6);所述炉体(2)包括外炉体(2-1),内炉体(2-2)和设置于所述外炉体(2-1)与内炉体(2-2)之间的夹套层(2-3),炉体出气孔(6)与所述内炉体(2-2)相连通,所述外炉体(2-1)底部设有与所述夹套层(2-3)相连通的冷媒进管(7),所述外炉体(2-1)顶部设有与所述夹套层(2-3)相连通的冷媒出管(8);所述气体循环装置(4)包括贯穿设置于所述底座(1)中心处的出气管(9),套设于所述出气管(9)外的罩体(10)和设置于所述出气管(9)内的进气管(11);所述出气管(9)延伸至所述内炉体(2-2)上部,所述出气管(9)与所述罩体(10)之间形成出气风道(12),所述导流腔(5)的顶壁上开设有与出气风道(12)相连通的导流腔出气孔(13),所述进气管(11)的上端穿过所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯谨,孟昱良,姚亮,
申请(专利权)人:河北东明中硅科技有限公司,
类型:新型
国别省市:河北,13
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。