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本实用新型公开了一种多晶硅生产用还原炉，包括底座，电极，硅芯，炉体和气体循环装置；底座内部设有导流腔，导流腔的顶壁上开设有若干炉体出气孔；炉体包括外炉体，内炉体和夹套层，炉体出气孔与内炉体相连通，外炉体上设有冷媒进管和冷媒出管；气体循环装置...
该专利属于河北东明中硅科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北东明中硅科技有限公司授权不得商用。

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