一种原位检测矿物微区EBSD图像的方法技术

本发明专利技术提供了一种原位检测矿物微区EBSD图像的方法，采用配置了电子背散射衍射探头的双束扫描电镜进行检测，步骤如下：(1)将样品置于样品台上，密闭样品腔并抽真空，选取检测区域；(2)利用FIB功能将选取的检测区域内的样品制成切片，固定在FIB载网上使切片与样品台垂直，利用FIB功能将切片减薄成薄片样品；(3)①对薄片样品进行t‑EBSD检测，得到初始厚度下的样品微区EBSD图像；②利用FIB功能对薄片样品继续减薄，减薄过程中，利用SEM功能实时观察薄片样品的表面形态，当薄片样品表面出现纳米颗粒时，对出现纳米颗粒的区域进行t‑EBSD检测，得到包含纳米颗粒的样品微区EBSD图像；③重复步骤②的操作，得到不同厚度下包含纳米颗粒的样品微区EBSD图像。

【技术实现步骤摘要】
一种原位检测矿物微区EBSD图像的方法
本专利技术属于天体、地质学矿物电子背散射衍射分析领域，涉及一种原位检测矿物微区EBSD图像的方法。
技术介绍
电子背散射衍射(ElectronBackscatteredDiffraction,EBSD)自20世纪80年代以来得到了众多材料学者的关注，已成为了材料研究不可或缺的手段之一。该技术通过采集样品在高能电子束轰击下产生的电子背散射衍射图像(ElectronBackscatterDiffractionPattern,EBSP)，可以精确、快速定量标定晶体颗粒的晶格方位和描述晶体颗粒的边界、形态等特征。EBSD技术与现代扫描电子显微镜(SEM)和能谱分析等设备配合，不仅能实现对材料的形貌观察和成分分析，而且能对材料进行晶体结构、晶粒取向等晶体学特征分析和未知矿物相的鉴定。尽管EBSD方法在SEM分析中具有提供相鉴定、晶粒取向、晶体结构以及晶粒的应变以及各类晶界统计信息等优点，但它在分析纳米尺度晶粒时仍然有很大的局限性，其较低的空间分辨率一直限制了EBSD技术的发展。EBSD分析时采用的加速电压通常在15～30kV左右，入射电子与块体样品的作用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种原位检测矿物微区EBSD图像的方法，采用配置了电子背散射衍射探头的双束扫描电镜进行检测，其特征在于步骤如下：(1)将块状地质样品置于双束扫描电镜的样品腔中的样品台上，将聚焦离子束载网安装在与样品台垂直的卡槽内，密闭样品腔，对样品腔抽真空，然后利用双束扫描电镜的扫描电子显微镜功能观察样品的表面形态，在样品表面选取检测区域；(2)利用双束扫描电镜的聚焦离子束功能将选取的检测区域内的样品制成厚度为1.5～2μm的切片，将切片固定在聚焦离子束载网上使切片与样品台垂直，利用双束扫描电镜的聚焦离子束功能将聚焦离子束载网上的切片减薄制成厚度为50～800nm的薄片样品；(3)①对薄片样品进行透射式电...

【技术特征摘要】
1.一种原位检测矿物微区EBSD图像的方法，采用配置了电子背散射衍射探头的双束扫描电镜进行检测，其特征在于步骤如下：(1)将块状地质样品置于双束扫描电镜的样品腔中的样品台上，将聚焦离子束载网安装在与样品台垂直的卡槽内，密闭样品腔，对样品腔抽真空，然后利用双束扫描电镜的扫描电子显微镜功能观察样品的表面形态，在样品表面选取检测区域；(2)利用双束扫描电镜的聚焦离子束功能将选取的检测区域内的样品制成厚度为1.5～2μm的切片，将切片固定在聚焦离子束载网上使切片与样品台垂直，利用双束扫描电镜的聚焦离子束功能将聚焦离子束载网上的切片减薄制成厚度为50～800nm的薄片样品；(3)①对薄片样品进行透射式电子背散射衍射检测，得到在初始厚度条件下的样品微区EBSD图像；②利用双束扫描电镜的聚焦离子束功能对薄片样品继续减薄，在减薄过程中，利用双束扫描电镜的扫描电子显微镜功能实时观察薄片样品的表面形态，当薄片样品表面出现纳米颗粒时，停止对薄片样品进行减薄，对薄片样品出现纳米颗粒的区域进行透射式电子背散射衍射检测，得到包含纳米颗粒的样品微区EBSD图像；③重复步骤②的操作，得到在不同厚度条件...

【专利技术属性】
技术研发人员：李瑞，李阳，李雄耀，王世杰，于雯，金宏，莫冰，刘连银，
申请(专利权)人：中国科学院地球化学研究所，
类型：发明
国别省市：贵州,52