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本发明提供了一种原位检测矿物微区EBSD图像的方法，采用配置了电子背散射衍射探头的双束扫描电镜进行检测，步骤如下：(1)将样品置于样品台上，密闭样品腔并抽真空，选取检测区域；(2)利用FIB功能将选取的检测区域内的样品制成切片，固定在FIB...
该专利属于中国科学院地球化学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院地球化学研究所授权不得商用。

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