减压容器、处理装置、处理系统、以及制造平板显示器的方法制造方法及图纸

一种减压容器包括外壁，所述外壁包括第一构件。第一构件包括第一基部和第一肋部。第一基部包括具有四边形形状的第一表面。第一肋部设置在所述第一表面上。第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。本发明专利技术还涉及一种处理装置、一种处理系统、以及一种制造平板显示器的方法。

【技术实现步骤摘要】
减压容器、处理装置、处理系统、以及制造平板显示器的方法
本专利技术涉及内部减压的减压容器、包括减压容器的处理装置、包括处理装置的处理系统、以及使用减压容器制造平板显示器的方法。
技术介绍
例如，在用于制造半导体装置或平板显示器(FPD)的处理装置(譬如成膜装置)中，诸如成膜处理这样的处理在减压容器中进行。在这种类型的减压容器中，容器内部被减压且因此压力被施加至容器的壁部。此时，如果容器的壁部的强度较低，则壁部将变形，并且因此将产生诸如空气通过接合部等进入容器中且因此无法维持容器内部的压力、或者壁部的变形影响到设置在容器中的内藏物这样的问题。因此，减压容器需要具有耐压强度。另外，由于所施加的压力随着容器的尺寸变大而变高，因此在增大容器的尺寸时需要增加容器的强度。因此，加大的减压容器变得更重。例如，在用于制造半导体装置或FPD的处理装置(譬如成膜装置)中，因为减压容器的尺寸随着晶圆或玻璃基板的尺寸的增大而增大，所以减压容器的重量也趋于增大。这就意味着用于减压容器的材料的成本增加以及用于安装减压容器的铺设成本增加。因此，希望提供一种减压容器，其尽可能轻，同时具有足够的耐压强度。作为用于加强本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种减压容器，包括：外壁，所述外壁包括第一构件，所述第一构件包括第一基部和第一肋部，所述第一基部包括具有四边形形状的第一表面，所述第一肋部设置在所述第一表面上，其中所述第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。

【技术特征摘要】
2017.01.20 JP 2017-0090011.一种减压容器，包括：外壁，所述外壁包括第一构件，所述第一构件包括第一基部和第一肋部，所述第一基部包括具有四边形形状的第一表面，所述第一肋部设置在所述第一表面上，其中所述第一肋部包括：围绕所述第一表面的中心的第一肋；多个第二肋，所述多个第二肋连接至所述第一肋并且朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸；以及多个第三肋，所述多个第三肋分别设置成与所述第一表面的四边形形状的相应角部相对、朝向形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的相应成对侧边延伸、并且相互间隔开。2.根据权利要求1所述的减压容器，其中所述多个第二肋包括一对肋，这一对肋分别朝向所述第一表面的四边形形状的两条相对侧边延伸。3.根据权利要求1所述的减压容器，其中在沿着垂直于所述第一表面的方向观察时，所述第一肋具有多边形形状，并且其中所述多个第二肋分别从所述第一肋的角部朝向所述第一表面的四边形形状的侧边延伸。4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的减压容器，其中所述多个第二肋是分别垂直于所述第一表面的四边形形状的侧边的直线状肋。5.根据权利要求1至3中的任意一项所述的减压容器，其中所述多个第三肋是相对于形成所述第一表面的四边形形状的相应角部的两条相应成对侧边倾斜的直线状肋。6.根据权利要求1至3中的任意一项所述的减压容器，其中在所述第一肋内侧的区域中不设置肋。7.根据权利要求1至3中的任意一项所述的减压容器，其中在所述第一肋内侧的区域中设有窗口。8.根据权利要求7所述的减压容器，其中在所述第一肋和所述窗口之间的距离为100mm以下。9.根据权利要求1至3中的任意一项所述的减压容器，其中所述减压容器包括第二构件，所述第二构件邻接所述第一构件并且包括第二基部和第二肋部，所述第二基部包括具有四边形形状的第二表面，所述第二肋部设置在所述第二表面上，其中所述第二肋部包括：围绕所述第二表面的中心的第四肋；多个第五肋，所述多个第五肋连接至所述第四肋并且朝向所述第二表面的四边形形...

【专利技术属性】
技术研发人员：森纯平，太田明，
申请(专利权)人：佳能株式会社，佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP