The invention discloses an intelligent vacuum coating mechanism for plating thin plate shaped workpiece with a central hole, including a feeding mechanism, a first transmission device, a processing furnace, a second transmission device, and a feeding mechanism. In the invention, the workpiece on the feeding mechanism is transported to the feed Kong Zheng of the reheating furnace under the action of the first transmission device, received by the lifting platform and placed in the heating furnace. The feed hole is closed by the first vacuum cover, then the space in the heating furnace is evacuated through a vacuum pump, when the vacuum condition is reached. The heater is heated in the heating furnace to melt the coating on the surface of the workpiece to complete the coating, then the first vacuum cover is raised, the lifting platform will push the workpiece into the feed hole, the second vacuum cover is adsorbed, and then the second vacuum cover is transported to the top of the conveying mechanism by the rotation second transmission device, and the most vacuum cover will put the workpiece on the workpiece. The workpiece is dropped into the conveying mechanism, so that no manual operation is required.
【技术实现步骤摘要】
一种智能真空镀膜机构
本专利技术涉及一种智能真空镀膜机构。
技术介绍
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。众所周知,在某些材料的表面上,只要镀上一层薄膜,就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。20世纪70年代,在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。前者是通过通电,使电解液电解,被电解的离子镀到作为另一个电极的基体表面上,因此这种镀膜的条件,基体必须是电的良导体,而且薄膜厚度也难以控制。后者是采用化学还原法,必须把膜材配制成溶液,并能迅速参加还原反应,这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差,而且镀膜既不均匀也不易控制,同时还会产生大量的废液,造成严重的污染。因此,这两种被人们称之为湿式镀膜法的镀膜工艺受到了很大的限制。真空镀膜则是相对于上述的湿式镀膜方法而发展起来的一种新型镀膜技术,通常称为干式镀膜技术。现有技术中的真空镀膜装置,都需要人工依次摆料,自动化程度低。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供了自动化程度高的真空镀膜装置。为解决上述问题,本专利技术提供了一种智能真空镀膜机构,用于对具有中心孔的薄板状工件进行镀膜,该工件的上表面贴附由薄膜,该其特征在于,还包括:处理炉,该处理炉具有空腔,其顶端设有该空腔连通的进料孔,所述处理炉包括位于所述进料孔正下方并由第一升降装置驱 ...
【技术保护点】
1.一种智能真空镀膜机构,用于对具有中心孔的薄板状工件(2)进行镀膜,该工件(2)的上表面贴附由薄膜,该其特征在于,还包括:处理炉(100),该处理炉(100)具有空腔,其顶端设有该空腔连通的进料孔(102),所述处理炉(100)包括位于所述进料孔(102)正下方并由第一升降装置驱动升降的升降平台(104),位于所述处理炉(100)内的加热器(106)以及用于对处理炉内进行抽气的抽空泵,所述升降平台(104)的水平最大直线尺寸小于所述进料孔(102)的直径;供料机构(200),其位于所述处理炉(100)的一侧,所述供料机构(200)用于所述工件(2)的水平放置;收料机构(300),其位于所述处理炉(100)的另一侧,所述收料机构(300)设有用于所述工件(2)水平放置的支撑台;位于所述处理炉(100)与所述供料机构(200)之间的第一传输装置(400),所述第一传输装置(400)包括能够做升降运动和旋转运动的第一连接板(402)、设置在所述第一连接板(402)两端的第一真空盖(404),以及设置在所述第一真空盖(404)底部,用于吸附与之接触的所述工件(2)的吸盘(406),所述第一真 ...
【技术特征摘要】
1.一种智能真空镀膜机构,用于对具有中心孔的薄板状工件(2)进行镀膜,该工件(2)的上表面贴附由薄膜,该其特征在于,还包括:处理炉(100),该处理炉(100)具有空腔,其顶端设有该空腔连通的进料孔(102),所述处理炉(100)包括位于所述进料孔(102)正下方并由第一升降装置驱动升降的升降平台(104),位于所述处理炉(100)内的加热器(106)以及用于对处理炉内进行抽气的抽空泵,所述升降平台(104)的水平最大直线尺寸小于所述进料孔(102)的直径;供料机构(200),其位于所述处理炉(100)的一侧,所述供料机构(200)用于所述工件(2)的水平放置;收料机构(300),其位于所述处理炉(100)的另一侧,所述收料机构(300)设有用于所述工件(2)水平放置的支撑台;位于所述处理炉(100)与所述供料机构(200)之间的第一传输装置(400),所述第一传输装置(400)包括能够做升降运动和旋转运动的第一连接板(402)、设置在所述第一连接板(402)两端的第一真空盖(404),以及设置在所述第一真空盖(404)底部,用于吸附与之接触的所述工件(2)的吸盘(406),所述第一真空盖(404)能够分别运动至所述供料机构(200)与所述进料孔(102)的正下方,所述第一真空盖(404)通过插入所述进料孔(102)或者与所述进料孔(102)端面贴合从而将所述进料孔(102)闭塞;位于所述处理炉(100)与所述收料机构(300)之间的第二传输装置(500),所述第二传输装置(500)包括能够做升降运动和旋转运动的第二连接板(502)、设置在所述第二连接板(502)两端的第二真空盖(504),以及设置在所述第二真空盖(504)底部,用于吸附所述工件(2)的吸盘(406),所述第二真空盖(504)能够分别运动至所述收料机构(300)与所述进料孔(102)的正下方。2.根据权利要求1所述的一种智能真空镀膜机构,其特征在于,所述第一传输装置(400)和第二传输装置(500)均包括:用于所述第一连接板(402)或者第二连接板(502)在竖直方向上的支撑,并能够驱动所述第一连接板(402)或者第二连接板(502)做升降运动的第二升降装置(4);固定连接在所述第一连接板(402)或者第二连接板(502)底部的套管(6),该套管(6)为空心环状结构,其内壁转动连接在所述第二升降装置(4)...
【专利技术属性】
技术研发人员:李科慧,
申请(专利权)人:昆山木利机械设计有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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