一种设有碳化硅膜的半导体厂氢氟回收水装置制造方法及图纸

技术编号:18543729 阅读:35 留言:0更新日期:2018-07-28 05:18
本实用新型专利技术公开了一种设有碳化硅膜的半导体厂氢氟回收水装置,包括装置本体、底板、支撑杆、搅拌腔室、石灰进料口、氢氟水进料口、出水口、回收腔室、氟化钙过滤网、氢氧化钠进料口和反渗透膜,所述装置本体底端设置有底板,所述底板一端上方设置有支撑杆,所述支撑杆上方设置有搅拌腔室,所述搅拌腔室顶端一侧设置有石灰进料口,所述搅拌腔室顶端另一侧设置有氢氟水进料口,所述搅拌腔室底部一端设置有出水口,所述出水口一端设置有回收腔室,所述回收腔室内部设置有氟化钙过滤网,所述氟化钙过滤网下方设置有反渗透膜,所述回收腔室一侧设置有氢氧化钠进料口,设置有搅拌腔室,可以将氢氟废水和石灰充分搅拌,使其充分反应。

【技术实现步骤摘要】
一种设有碳化硅膜的半导体厂氢氟回收水装置
本技术涉及回收水装置
,具体为一种设有碳化硅膜的半导体厂氢氟回收水装置。
技术介绍
氢氟酸是氟化氢气体的水溶液,清澈,无色、发烟的腐蚀性液体,有剧烈刺激性气味,易溶于水、乙醇,微溶于乙醚,因为氢原子和氟原子间结合的能力相对较强,且水溶液中氟化氢分子间存在氢键,使得氢氟酸在水中不能完全电离,所以理论上低浓度的氢氟酸是一种弱酸,具有极强的腐蚀性,能强烈地腐蚀金属、玻璃和含硅的物体,如吸入蒸汽或接触皮肤会造成难以治愈的灼伤。实验室一般用萤石和浓硫酸来制取,需要密封在塑料瓶中,并保存于阴凉处,所以,含有氢氟酸的水溶液在排放的过程中会严重污染环境,所以,人们急需一种设有碳化硅膜的半导体氢氟回收水装置来解决上述问题。
技术实现思路
本技术提供一种设有碳化硅膜的半导体厂氢氟回收水装置,可以有效解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种设有碳化硅膜的半导体厂氢氟回收水装置,包括装置本体、底板、支撑杆、搅拌腔室、石灰进料口、氢氟水进料口、搅拌电机、减震弹簧、限位弹簧、固定螺丝、搅拌杆、搅拌架、出水口、阀门、回收腔室、母扣、氟化钙过滤网、子扣、氢氧化钠进料口、反渗透膜和取水口,所述装置本体底端设置有底板,所述底板一端上方设置有支撑杆,所述支撑杆上方设置有搅拌腔室,所述搅拌腔室顶端一侧设置有石灰进料口,所述搅拌腔室顶端另一侧设置有氢氟水进料口,所述搅拌腔室下方设置有搅拌电机,所述搅拌电机两侧均设置有限位弹簧,所述搅拌电机一端两侧均设置有固定螺丝,所述搅拌腔室内部设置有搅拌杆,所述搅拌杆外侧设置有搅拌架,所述搅拌腔室底端一侧设置有出水口,所述出水口上方设置有阀门,所述出水口下方设置有回收腔室,所述回收腔室内壁设置有母扣,所述母扣上方设置有子扣,所述子扣一端设置有氟化钙过滤网,所述氟化钙过滤网下方设置有反渗透膜,所述回收腔室一侧中部设置有氢氧化钠进料口,所述回收腔室底部一侧设置有取水口。优选的,所述搅拌腔室、搅拌杆、搅拌架和出水口均为一种塑料材质的构件。优选的,所述底板和支撑杆均为一种钢铁材质的构件。优选的,所述搅拌电机下方设置有减震弹簧。优选的,所述搅拌电机与电源电性连接。与现有技术相比,本技术的有益效果:本技术结构科学合理,使用安全方便,设置有石灰进料口,可以加入石灰来和含有氢氟酸的水溶液反应,产生氟化钙来稀释氢氟酸溶液,设置有搅拌腔室,可以将石灰与氢氟酸的水溶液充分搅拌反应,可以增加反应的程度,设置有氟化钙过滤网,可以过滤掉石灰与氢氟酸反应时产生的氟化钙,设置有反渗透膜和氢氧化钠进料口,可以进一步的去除没有去除干净的氢氟酸,反渗透膜可以进一步过滤掉水溶液中含有的钠离子,提高了水回收的效率。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本技术的实施例一起用于解释本技术,并不构成对本技术的限制。在附图中:图1是本技术的结构示意图;图2是本技术电机的结构示意图;图3是本技术氟化钙过滤网的结构示意图;图中标号:1、装置本体;2、底板;3、支撑杆;4、搅拌腔室;5、石灰进料口;6、氢氟水进料口;7、搅拌电机;8、减震弹簧;9、限位弹簧;10、固定螺丝;11、搅拌杆;12、搅拌架;13、出水口;14、阀门;15、回收腔室;16、母扣;17、氟化钙过滤网;18、子扣;19、氢氧化钠进料口;20、反渗透膜;21、取水口。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术,并不用于限定本技术。实施例:如图1-3所示,本技术提供一种技术方案,一种设有碳化硅膜的半导体厂氢氟回收水装置,包括装置本体1、底板2、支撑杆3、搅拌腔室4、石灰进料口5、氢氟水进料口6、搅拌电机7、减震弹簧8、限位弹簧9、固定螺丝10、搅拌杆11、搅拌架12、出水口13、阀门14、回收腔室15、母扣16、氟化钙过滤网17、子扣18、氢氧化钠进料口19、反渗透膜20和取水口21,装置本体1底端设置有底板2,底板2一端上方设置有支撑杆3,支撑杆3上方设置有搅拌腔室4,搅拌腔室4顶端一侧设置有石灰进料口5,搅拌腔室4顶端另一侧设置有氢氟水进料口6,搅拌腔室4下方设置有搅拌电机7,搅拌电机7两侧均设置有限位弹簧9,搅拌电机7一端两侧均设置有固定螺丝10,搅拌腔室4内部设置有搅拌杆11,搅拌杆11外侧设置有搅拌架12,搅拌腔室4底端一侧设置有出水口13,出水口13上方设置有阀门14,出水口14下方设置有回收腔室15,回收腔室15内壁设置有母扣16,母扣16上方设置有子扣18,子扣18一端设置有氟化钙过滤网17,氟化钙过滤网17下方设置有反渗透膜20,回收腔室15一侧中部设置有氢氧化钠进料口19,回收腔室15底部一侧设置有取水口21。为了防止氢氟水腐蚀搅拌腔室4、搅拌杆11、搅拌架12和出水口13,本实施例中,优选的,搅拌腔室4、搅拌杆11、搅拌架12和出水口13均为一种塑料材质的构件。为了延长装置的使用寿命,本实施例中,优选的,底板2和支撑杆3均为一种钢铁材质的构件。为了减小搅拌电机7工作时产生的震动,本实施例中,优选的,搅拌电机7下方设置有减震弹簧8。为了使整个装置可以在电能的作用下正常工作,本实施例中,优选的,搅拌电机7与电源电性连接。本技术的工作原理及使用流程:将氢氟水溶液从氢氟水进料口6加入搅拌腔室4内部,将石灰从石灰进料口5加入搅拌腔室4,打开搅拌电机7的电源开关,石灰与氢氟水溶液会在搅拌架11的作用下充分搅拌,充分反应,然后打开阀门14,反应之后的溶液会进入回收腔室15,通过氟化钙过滤网17会将氢氟水溶液与石灰反应的产物氟化钙过滤,过滤完的水溶液中任然含有氢氟酸,所以,在回收腔室15的侧壁设置有氢氧化钠进料口19,会将剩余的溶液中含有的氢氟酸中和,就会充分的去除溶液中的氢氟酸,然后,可以在取水口21将过滤完毕的水溶液取出检测是否达标。最后应说明的是:以上所述仅为本技术的优选实例而已,并不用于限制本技术,尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种设有碳化硅膜的半导体厂氢氟回收水装置,包括装置本体(1)、底板(2)、支撑杆(3)、搅拌腔室(4)、石灰进料口(5)、氢氟水进料口(6)、搅拌电机(7)、减震弹簧(8)、限位弹簧(9)、固定螺丝(10)、搅拌杆(11)、搅拌架(12)、出水口(13)、阀门(14)、回收腔室(15)、母扣(16)、氟化钙过滤网(17)、子扣(18)、氢氧化钠进料口(19)、反渗透膜(20)和取水口(21),其特征在于:所述装置本体(1)底端设置有底板(2),所述底板(2)一端上方设置有支撑杆(3),所述支撑杆(3)上方设置有搅拌腔室(4),所述搅拌腔室(4)顶端一侧设置有石灰进料口(5),所述搅拌腔室(4)顶端另一侧设置有氢氟水进料口(6),所述搅拌腔室(4)下方设置有搅拌电机(7),所述搅拌电机(7)两侧均设置有限位弹簧(9),所述搅拌电机(7)一端两侧均设置有固定螺丝(10),所述搅拌腔室(4)内部设置有搅拌杆(11),所述搅拌杆(11)外侧设置有搅拌架(12),所述搅拌腔室(4)底端一侧设置有出水口(13),所述出水口(13)上方设置有阀门(14),所述出水口(13)下方设置有回收腔室(15),所述回收腔室(15)内壁设置有母扣(16),所述母扣(16)上方设置有子扣(18),所述子扣(18)一端设置有氟化钙过滤网(17),所述氟化钙过滤网(17)下方设置有反渗透膜(20),所述回收腔室(15)一侧中部设置有氢氧化钠进料口(19),所述回收腔室(15)底部一侧设置有取水口(21)。...

【技术特征摘要】
1.一种设有碳化硅膜的半导体厂氢氟回收水装置,包括装置本体(1)、底板(2)、支撑杆(3)、搅拌腔室(4)、石灰进料口(5)、氢氟水进料口(6)、搅拌电机(7)、减震弹簧(8)、限位弹簧(9)、固定螺丝(10)、搅拌杆(11)、搅拌架(12)、出水口(13)、阀门(14)、回收腔室(15)、母扣(16)、氟化钙过滤网(17)、子扣(18)、氢氧化钠进料口(19)、反渗透膜(20)和取水口(21),其特征在于:所述装置本体(1)底端设置有底板(2),所述底板(2)一端上方设置有支撑杆(3),所述支撑杆(3)上方设置有搅拌腔室(4),所述搅拌腔室(4)顶端一侧设置有石灰进料口(5),所述搅拌腔室(4)顶端另一侧设置有氢氟水进料口(6),所述搅拌腔室(4)下方设置有搅拌电机(7),所述搅拌电机(7)两侧均设置有限位弹簧(9),所述搅拌电机(7)一端两侧均设置有固定螺丝(10),所述搅拌腔室(4)内部设置有搅拌杆(11),所述搅拌杆(11)外侧设置有搅拌架(12),所述搅拌腔室(4)底端一侧设置有出水口(13...

【专利技术属性】
技术研发人员:倪卫斌张学良
申请(专利权)人:上海沃威沃水技术有限公司
类型:新型
国别省市:上海,31

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1