The invention provides a directional processing method based on a horizontal sensor positioning crystal, which includes the following steps: fixing the horizontal sensor on the processed crystal, using the horizontal angle data in the crystal atomic surface X direction and the Y direction obtained by the crystal orientation, and compensating the crystal on the processing equipment according to the relative angle deviation value. At the angle, a new space position is obtained and processed in this position. The relative angle deviation value is taken as the reference of the worktable plane of the X ray orientation instrument, and the horizontal plane is used as the intermediate link or transition to measure the relative angle deviation value of the cutting surface of the cutting equipment and the directing instrument worktable plane. The method of the invention is simple, ensuring accuracy and improving operation convenience.
【技术实现步骤摘要】
一种基于水平传感器定位晶体的定向加工方法
:本专利技术涉及晶体切片及定向加工
,尤其涉及一种基于水平传感器定位晶体的定向加工方法。
技术介绍
:在晶体或晶棒加工过程中,包括去头尾,切片,内圆切割,磨端面,加工基准边,多线切割等等工序中,都需要对晶体进行定向加工。常规的加工工艺方法是,利用料板来固定晶体,先将晶体及料板放置到X射线定向仪上,通过调节晶体位置达到所需晶向角度,调节时按照X、Y两个方向进行调整,到位后用胶水进行粘接。等胶水固化后,将料板放置到切割设备上进行切割或打磨,这种方法利用了夹具料板的机械配合,属于机械定位。在通过切割后,用专用定向仪器进行测量,加以验证。传统的技术的缺点是,操作繁琐,需要用到特殊工装夹具,胶水定位方式,导致费时及清理不方便等等,通过机械定位,在安装及搬运过程中,经常出现失误,最大的缺点是,一旦粘接完毕,后续的加工角度的准确性是随机的不可控的,精度偏差很大。针对以上问题,现有的中国专利文献公开了一种晶体自动X光定向粘料机,包括垂直方向转动的垂直向旋转的驱动电机、水平方向转动的水平向旋转驱动电机,垂直向旋转电机上安装的编码器,水平向旋转电机上安装的编码器,控制两个旋转电机的PLC,X射线定向仪,料板夹具等。该专利技术通过测量晶体定向角度后,通过电机调节晶体垂直和水平方向旋转,利用编码器检测旋转的角度,直到到达需要的定向角度,然后用胶水,将晶体粘结在料板上,当胶水固化后,将料板及晶体安装到切割设备上进行切割。其原理与传统的加工方法基本一致,只是将手动调节晶体角度的动作改为了电动控制,通过了两个电机的转动实现调节。只是利用了 ...
【技术保护点】
1.一种基于水平传感器定位晶体的定向加工方法,其特征在于,它包括以下步骤:在待加工晶体上固定水平传感器;在X射线定向仪上,利用X射线定向仪工作台平面为参考,在所需要的晶体衍射角度下进行定向,找出所需晶体原子面与水平面的相对位置关系,获得水平传感器测得的晶体原子面X方向和Y方向上的水平角度数据∠x,∠y;利用晶体定向时取得的晶体原子面X方向和Y方向上的水平角度数据,将晶体放置到切割设备上,按照相对角度偏差值补偿到晶体在加工设备上的角度,得到一个新的空间位置,在这个位置状态下,进行加工,即得所需定向角度的晶体外观表面;所述相对角度偏差值为以X射线定向仪工作台平面为参考,利用水平面为中间纽带或过渡,测量出切割设备加工面与定向仪工作台平面的相对角度偏差值,记做△x,△y。
【技术特征摘要】
1.一种基于水平传感器定位晶体的定向加工方法,其特征在于,它包括以下步骤:在待加工晶体上固定水平传感器;在X射线定向仪上,利用X射线定向仪工作台平面为参考,在所需要的晶体衍射角度下进行定向,找出所需晶体原子面与水平面的相对位置关系,获得水平传感器测得的晶体原子面X方向和Y方向上的水平角度数据∠x,∠y;利用晶体定向时取得的晶体原子面X方向和Y方向上的水平角度数据,将晶体放置到切割设备上,按照相对角度偏差值补偿到晶体在加工设备上的角度,得到一个新的空间位置,在这个位置状态下,进行加工,即得所需定向角度的晶体外观表面;所述相对角度偏差值为以X射线定向仪工作台平面为参考,利用水平面为中间纽带或过渡,测量出切割设备加工面与定向仪工作台平面的相对角度偏差值,记做△x,△y。2.如权利要求1所述的一种基于水平传感器定位晶体的定向加工方法,其特征在于,所述相对角度偏差值的测定包括以下步骤:将水平传感器固定到晶体上,将带有水平传感器的晶体放到X射线定向仪中,将该X射线定向仪调节到所需晶向角度θ位置定向...
【专利技术属性】
技术研发人员:张伟明,徐秋峰,沈浩,张寒贫,秦小勇,
申请(专利权)人:天通控股股份有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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