The invention discloses a new design scheme of high performance refractive index sensor, and further puts forward the sensitivity test method of the sensor, which has low cost and is widely used in the fields of biology, medicine, food and so on. The sensing technology based on the surface plasmon resonance (surface plasmon resonance) has the characteristics of simple design, simple structure, low processing technology, low preparation cost, no calibration, real-time detection, non-contact and no damage, and high sensitivity can be used in the analysis and detection of gas, liquid and biofilm. It is possible to develop a new surface plasmon sensor with ultra high detection sensitivity and its testing method.
【技术实现步骤摘要】
一种高性能折射率灵敏度传感器件及其测试方法
本专利技术涉及传感器折射率灵敏度的领域,尤其涉及高灵敏度传感器的研发应用领域。
技术介绍
近年来,随着人们生活水平的不断提高和对环保的日益重视,对各种有毒、有害气体/液体的探测,对生命科学、生化检测、医疗诊断、药物筛选、食品检测、环境检测、毒品检测以及法医鉴定等方面的要求越来越高,因此对气体/液体传感器的研究开发也越来越重要。表面等离子体共振对周围环境非常敏感,界面介质折射率的微小变化将影响表面等离子体共振的耦合条件,进而引起共振峰的偏移,这使表面等离子体共振在传感器的设计中具有极大的应用价值。基于表面等离子体共振的传感技术具有无需标定、实时检测、非接触、无损伤等突出特点,可用于气体、液体和生物膜等的分析检测,展示了巨大的应用前景,有望发展为具有超高检测灵敏度的新型表面等离子体传感器。目前,表面等离子体共振的传感器主要采用衰减全反射棱镜或金属光栅结构,虽然这两种方法可以提高检测的灵敏度,但也存在体积大,不易集成的缺陷。基于金属纳米颗粒的等离子共振传感器是根据纳米颗粒表面粒子间的相互作用引起共振峰的偏移。例如,2009年法国马赛大学的A.V.Kabashin和英国贝尔法斯特皇后学院的A.V.Zayats等一起提出了金纳米棒结构传感器,德国慕尼黑大学的S.K.Dondapati和德国伊梅诺科技大学的T.A.Klar等提出了金纳米星结构传感器,美国莱斯大学的S.Lee等提出了金双锥体结构传感器,美国犹他大学的R.Bukasov和J.S.Shumaker-Parry一起提出了金新月结构传感器,美国西北大学的L.J.She ...
【技术保护点】
1.一种高性能折射率传感器件,其特征在通过如下步骤进行设计,具体包括:利用有限元分析软件中的射频模块建立几何模型并选择材料,设计硅纳米线为等边三角形阵列排布,每个等边三角形的边长为1000nm;采用硅基底及硅纳米线,设计生成等边三角形排布的金‑硅共形纳米线阵列,所述硅纳米线表面覆盖金层,所述硅基底厚度为300nm,所述硅纳米线半径为300nm,所述硅纳米线深度为500‑1500nm,所述金层厚度为50‑90nm。
【技术特征摘要】
1.一种高性能折射率传感器件,其特征在通过如下步骤进行设计,具体包括:利用有限元分析软件中的射频模块建立几何模型并选择材料,设计硅纳米线为等边三角形阵列排布,每个等边三角形的边长为1000nm;采用硅基底及硅纳米线,设计生成等边三角形排布的金-硅共形纳米线阵列,所述硅纳米线表面覆盖金层,所述硅基底厚度为300nm,所述硅纳米线半径为300nm,所述硅纳米线深度为500-1500nm,所述金层厚度为50-90nm。2.根据权利要求1所述的高性能折射率传感器件,其特征在于:通过如下步骤进行设计,具体包括:所述硅基底厚度为300nm,所述金-硅共形纳米线阵列中的所述硅纳米线半径为300nm,所述硅纳米线深度为500nm,所述金层厚度为60nm。3.一种权利要求1-2中任一高性能折射率传感器件的测试方法,其特征在于包括如下步骤:a、金-硅共形纳米线阵列传感器件三维电磁场仿真步骤:利用有限元分析软件的射频模块进行物理场设置,首先在入射系统的前表面设置一个平面光源,并运用于所述等边三角形排布的金-硅共形纳米线阵列;再设置分析条件,包括电/磁导体的光学周期性边界条件和散射边界条件;然后进行四面体网格划分;最后根据已设定的各项物理参数,从电磁学最基础的麦克斯韦方程组和连续性方程出发,选择有限元分析软件的射频模块中的稳态求解模式进行波长扫描计算求解,得到光谱响应,包括反射谱、透射谱和吸收谱;b、金-硅共形纳米线阵列的折射率传感测试步骤:根据步骤a中的反射谱,按照从小到大的顺序依次设置不同背景折射率,将会得到不同背景折射率所对应的不同反射谱曲线;c、根据不同反射谱曲线的最小值可以得到对应的波长,将不同折射率与所述的不同反射谱曲线的最小值对应的波长绘制...
【专利技术属性】
技术研发人员:秦琳玲,李孝峰,吴邵龙,张程,
申请(专利权)人:苏州大学,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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