一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，包括传动轴及壳体，传动轴位于壳体内的部分上安装有两个深沟球轴承，该深沟球轴承与传动轴构成稳定的传动系统，壳体位于真空侧一端的端面上设置有端面氟胶O型密封圈，壳体内设置有磁流体密封装置，传动轴大气侧连接设置有水介质旋转器，水介质旋转器与传动轴之间形成水冷循环系统，壳体上还设置有NPT卡套水接头。本实用新型专利技术水冷循环系统的设置，可有效的降低传动轴温度，确保传动轴正常工作，金属密封圈的设置，提高密封效果，ISO标准法兰的设置，便于装卸，提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置
本技术涉及磁流体密封传动装置，具体涉及一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置。
技术介绍
传统的太阳能电池PECVD（等离子体增强化学气相沉积设备）生产线，有单腔室PECVD设备，一般只适用于电池生产厂商以及各高校、研究所等研发机构的工艺研发，而不能形成量产；也有多腔室PECVD设备，太阳能电池从一个腔体传输到下一个腔体时，阀门的切换和电池板的同步传输是设备生产效率的关键，原有的传统技术需要多组复杂的传动装置和传统的机械密封结构或者普通的磁流体密封，以及配合复杂的生产工艺。生产效率不高，而且需要经常的维护保养。磁流体密封装置，因其长寿命、无磨损、真空度高、转速范围广等性能，已经在绝大多数需要动转密封的场合取代传统机械密封。但是，单一的磁流体密封结构，并不能适用于所有的应用场合。针对PECVD设备腔体内，需要适应复杂的工艺工况，其磁流体密封装置必须同时具备耐高温、耐粉尘、耐高真空、回转精度高等特性。传统的机械密封和普通的磁流体密封都不能很好的满足。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于设计提供一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置。所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，包括传动轴及套接设置在传动轴上的壳体，所述传动轴为一根细长轴，从大气端穿过PECVD设备腔室侧壁进入腔室内部，大气端连接电机和同步带轮，真空端连接传动轮，传动轴位于壳体内的部分上安装有两个深沟球轴承，该深沟球轴承与传动轴构成稳定的传动系统，壳体位于真空侧一端的端面上设置有端面氟胶O型密封圈，其特征在于所述壳体内设置有磁流体密封装置，所述传动轴大气侧连接设置有水介质旋转器，所述水介质旋转器与传动轴之间形成水冷循环系统，所述壳体上还设置有NPT卡套水接头。所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于靠近真空侧的深沟球轴承端面上安装有金属密封圈。所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于所述壳体为带ISO标准法兰的壳体。所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于所述磁流体密封装置包括位于壳体内部且与传动轴套接设置的钕铁硼永久磁钢、磁极。所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于所述水冷循环系统包括设置在水介质旋转器上的进水口和出水口、沿传动轴长度方向设置的内孔、与进水口相连且深入到内孔底部的通水管，所述出水口与内孔连通。所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于所述NPT卡套水接头设置有四个，两个进水水接头，两个出水水接头，进水水接头和对应的出水水接头之间设置环形水槽。与传统的机械密封和普通的磁流体密封比较，本技术的技术优点：1）传动轴和水介质旋接器构成的轴内部水冷循环系统，可以非常高效地降低整根传动轴的温度，使得传动轴可以大部分长度伸入设备腔室内部的高温工况中，也能正常工作，不变形不卡顿，保证电池板的平稳匀速传输；2）传动轴、两个精密深沟球轴承和耐磨金属密封圈形成了一个稳定可靠的传动系统，回转精度高，轴端圆跳动控制在0.1mm范围内，且防尘效果好，有效防止了PECVD设备腔室内的工艺粉尘对磁流体密封的破坏；3）壳体上设计了ISO标准法兰，和普通的螺栓孔法兰相比，安装和拆卸都要更加方便快捷，提高工作效率。附图说明图1为本技术整体结构示意图；图中，1-传动轴，2-壳体，3-深沟球轴承，4-端面氟胶O型密封圈，5-水介质旋转器，6-NPT卡套水接头，7-金属密封圈，8-钕铁硼永久磁钢，9-磁极，10-进水口，11-出水口，12-内孔，13-通水管，14-环形水槽。具体实施方式以下结合说明书附图对本技术作进一步详细说明，并给出具体实施方式。如图1所示，本技术一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，包括传动轴1、带ISO标准法兰的壳体2、端面氟胶O型密封圈4、NPT卡套水接头6、深沟球轴承3、金属密封圈7、钕铁硼永久磁钢8、磁极9、水介质旋接器5、通水管13。其中，传动轴1为一根细长轴，从大气端穿过PECVD设备腔室侧壁进入腔室内部，大气端连接电机和同步带轮，真空端连接传动轮，可以带动电池板的稳定匀速传动。带ISO标准法兰的壳体2，是该磁流体密封装置的外壳，ISO标准法兰用于固定于PECVD设备腔室侧壁上，因为是ISO标准法兰，所以安装和拆卸都非常方便快捷。端面氟胶O型密封圈3，用于壳体法兰和PECVD设备腔室侧壁之间的静密封，氟橡胶的耐温耐腐性性能保证了静密封的安全稳定可靠。壳体2外圆上的4个NPT卡套水接头6，两个进水水接头，两个出水水接头，进水水接头和对应的出水水接头之间设置环形水槽14，用于形成壳体2内部的一个水路循环，可以有效降低壳体2表面、磁极9、钕铁硼永久磁钢8和磁流体密封部位的温度，保证磁流体密封可以一直在0-80℃温度范围下运行。水介质旋接器5，内部集成了进水口10和出水口11两个通道，进水口10通入冷却水后，进入与之连接的通水管13内部并直通到传动轴1的内孔底部，然后再沿着通水管13外壁与传动轴1的内孔内壁之间的间隙返回到水介质旋接器9，并经过其内部的出水通道从出水口11流出，从而形成一个水冷效果充分的水冷循环系统，使得传动轴1伸入设备腔室内部的部分，在高温工况下，也能正常工作，不变形不卡顿。耐磨的金属密封圈7，安装于真空侧的轴承端面，与轴承内圈转动部分面接触，转动时既耐磨又可防尘密封，用于防止PECVD设备腔室内的工艺粉尘进入轴承，导致轴承的卡死。精密深沟球轴承3，安装于传动轴1上，构成了一个稳定的传动系统，使得传动轴1的轴端圆跳动控制在0.1mm范围内，传动轴1和钕铁硼永久磁钢8、磁极9构成了一个磁密封回路，使得磁流体密封部位的磁饱和强度、耐压差性能都稳定可靠。本技术，通过壳体ISO标准法兰固定于PECVD设备腔体壁上，传动轴1大气端安装一个同步带轮与电机相连，电机提供动力带动传动轴同步旋转，传动轴1真空端安装一个传动轮，将动力同步传送给电池板，带动电池板匀速平稳向前传输。每一个PECVD设备腔室两侧均匀分布了若干个磁流体密封传动装置，每一整块大电池板由若干个传动轮带动前进，从一个腔室传输到下一个腔室，无需停顿，传输速度可快可慢，控制方便。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，包括传动轴（1）及套接设置在传动轴（1）上的壳体（2），所述传动轴（1）为一根细长轴，从大气端穿过PECVD设备腔室侧壁进入腔室内部，大气端连接电机和同步带轮，真空端连接传动轮，传动轴（1）位于壳体（2）内的部分上安装有两个深沟球轴承（3），该深沟球轴承（3）与传动轴（1）构成稳定的传动系统，壳体（2）位于真空侧一端的端面上设置有端面氟胶O型密封圈（4），其特征在于所述壳体（2）内设置有磁流体密封装置，所述传动轴（1）大气侧连接设置有水介质旋转器（5），所述水介质旋转器（5）与传动轴（1）之间形成水冷循环系统，所述壳体（2）上还设置有NPT卡套水接头（6）。

【技术特征摘要】
1.一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，包括传动轴（1）及套接设置在传动轴（1）上的壳体（2），所述传动轴（1）为一根细长轴，从大气端穿过PECVD设备腔室侧壁进入腔室内部，大气端连接电机和同步带轮，真空端连接传动轮，传动轴（1）位于壳体（2）内的部分上安装有两个深沟球轴承（3），该深沟球轴承（3）与传动轴（1）构成稳定的传动系统，壳体（2）位于真空侧一端的端面上设置有端面氟胶O型密封圈（4），其特征在于所述壳体（2）内设置有磁流体密封装置，所述传动轴（1）大气侧连接设置有水介质旋转器（5），所述水介质旋转器（5）与传动轴（1）之间形成水冷循环系统，所述壳体（2）上还设置有NPT卡套水接头（6）。2.如权利要求1所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于靠近真空侧的深沟球轴承（3）端面上安装有金属密封圈（7）。3.如权利要求1所述的一种用...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄昌盛，徐美婷，楼允洪，
申请(专利权)人：杭州维科磁电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33