磁流体密封装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种磁流体密封装置，所述磁流体密封装置包括传动轴、驱动器、密封罩以及用于控制所述密封罩内压力的压力控制部件，所述传动轴的一端与所述密封设备连接，所述传动轴的另一端与所述驱动器连接，所述传动轴的另一端和所述驱动器共同处于所述密封罩中，所述压力控制部件连接所述密封罩。在磁流体密封装置用于真空密封时，利用压力控制部件控制密封罩内的压力，以使磁流体两侧气压差为零，从而杜绝泄漏事故，对密封设备中环境的污染，提高了产品良率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及磁流体密封
，尤其涉及一种磁流体密封装置。
技术介绍
磁流体(Magneticfluid或Ferrofluid)是将超微磁粒通过界面活性剂高度分散在载液中而形成的一种胶体溶液。其具有两大特点：1)在磁场的作用下，磁化强度随外加磁场的增加而增加，直至饱和，而外磁场去除后又无任何磁滞现象，磁场对磁流体的作用表现为体积力；2)与一般纳米粒子相同，只有小尺寸效应、表面效应、量子尺寸效应和宏观量子隧道效应。因此，磁流体是动态密封的理想材料，其密封原理如下：在磁场的作用下，磁流体往往聚集在磁场梯度最大处；因此，利用外磁场可将磁流体约束在密封部位形成磁流体“O”型环。当磁流体注入磁场间隙时，可以充满整个间隙；在均匀稳定磁场的作用下，磁流体可以充满于设定的空间内，建立起多级“O”型密封环，从而达到密封的效果。每级密封圈一般可以承受大于0.15～0.2个大气压的压差，总承压为各级压差之和，进而满足真空密封的需要。磁流体密封装置利用磁流体来实现真空密封，其功能是把旋转运动传递到密封设备内。目前，磁流体密封装置已在许多回转动密封设备上使用，例如单晶硅炉、真空热处理炉、离子溅射、物理化学气相沉积、离子镀膜、液晶在生、电子指示器等设备的密封，以及计算机硬盘、机器人及军工产品等环境要求较高的设备的环境密封，获得很好的使用效果。但是由于磁流体密封装置通过密封槽中密封油实现密封，工作一段时间后受多方面因素的影响，常出泄漏的现象，对炉内真空环境造成污染，进而影响产品良率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种磁流体密封装置，以解决现有技术中磁流体密封装置实现真空密封，会出现泄漏现象，导致产品良率下降的问题。为了解决上述技术问题，本技术提供一种磁流体密封装置，所述磁流体密封装置，包括：传动轴、驱动器、密封罩以及用于控制所述密封罩内压力的压力控制部件，所述传动轴的一端与所述密封设备连接，所述传动轴的另一端与所述驱动器连接，所述传动轴的另一端和所述驱动器共同处于所述密封罩中，所述压力控制部件连接所述密封罩。可选的，在所述的磁流体密封装置中，所述压力控制部件包括管路及真空泵，所述管路的一端与所述密封罩连接，所述管路的另一端与所述真空泵连接，所述管路上设置有气动阀。可选的，在所述的磁流体密封装置中，所述驱动器为马达。可选的，在所述的磁流体密封装置中，还包括位于所述密封罩内的驱动带，所述驱动带的一端与所述驱动器连接，所述驱动带的另一端与所述传动轴连接。可选的，在所述的磁流体密封装置中，所述密封设备为单晶硅炉或真空热处理炉。可选的，在所述的磁流体密封装置中，还包括密封槽，套接于所述传动轴的外侧。可选的，在所述的磁流体密封装置中，还包括磁极及轴承，两者均套接于所述密封槽的外侧。可选的，在所述的磁流体密封装置中，还包括不导磁座，套接于所述磁极和所述轴承的外侧。可选的，在所述的磁流体密封装置中，所述磁极的数量为两个，磁流体密封装置还包括磁钢，套接于所述密封槽的外侧，并处于两个所述磁极之间。可选的，在所述的磁流体密封装置中，还包括O型圈，套接于所述磁极上，并处于所述不导磁座内侧。可选的，在所述的磁流体密封装置中，所述密封槽中设置有密封油。在本技术所提供的磁流体密封装置中，所述磁流体密封装置包括传动轴、驱动器、密封罩以及用于控制所述密封罩内压力的压力控制部件，所述传动轴的一端与所述密封设备连接，所述传动轴的另一端与所述驱动器连接，所述传动轴的另一端和所述驱动器共同处于所述密封罩中，所述压力控制部件连接所述密封罩。在磁流体密封装置密封密封装备时，利用压力控制部件控制密封罩内的压力，以使磁流体两侧气压差为零，从而杜绝泄漏事故，对密封设备中环境的污染，提高了产品良率。附图说明图1是专利技术人熟知的磁流体密封装置的结构示意图；图2是专利技术人熟知的磁流体密封装置应用于密封设备的结构示意图；图3是本技术一实施例中磁流体密封装置的结构示意图；图4是本技术一实施例中磁流体密封装置应用于密封设备的结构示意图。图1-2中：晶舟10；轴承11；磁极12；密封槽13；磁钢14；O型圈15；不导磁座16；传动轴17；升降机装置18；单晶硅炉19。图3-4中：晶舟20；轴承21；磁极22；密封槽23；磁钢24；O型圈25；不导磁座26；传动轴27；升降机装置28；单晶硅炉29；驱动器30；密封罩31；气动阀32；真空泵33。具体实施方式请参考图1，磁流体密封装置主要由轴承11、磁极12、密封槽13(其内分布有密封油，优选为磁性密封油)、磁钢14、O型圈15、不导磁座16和传动轴17组成，密封槽13套接于传动轴17外侧，磁极12和轴承11均套接于密封槽13外侧，O型圈15套接于磁极12上，所述不导磁座16套接于磁极12和轴承11的外侧，磁钢14套接于所述密封槽13的外侧，并处于两个磁极12之间。图2是专利技术人熟知的磁流体密封装置应用于密封设备为单晶硅炉时的结构示意图，该磁流体密封装置通过紧固件连接至升降机装置18，传动轴17的端部从升降机装置18的通孔中露出，以便连接至密封设备中相应的连接装置(如晶舟支撑轴)，不导磁座16和升降机装置18之间没有间隙，紧密接触，升降机装置18与不导磁座16相对的一侧与单晶硅炉19连接，炉内为真空环境，晶圆设置于炉内的晶舟10中，从而维持晶舟10在炉中的洁净度。以下结合附图和具体实施例对本技术提出的磁流体密封装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。经过长期不断研究实验发现，实际导致磁流体密封装置存在泄漏的主要原因在于：在磁流体密封装置用于真空密封时，磁流体密封装置包括的各个密封槽在低压下工作时都会承受一定压力，所有密封槽的压力累加后可以抵挡内外界的压力差，但是在使用过程中由于部分密封槽遭到破坏，随着密封层数的减少，降低了密封槽能够承受压力，进而无法满足密封真空所能承受压力的能力，从而导致泄漏事故的发生。总而言之，由于磁流体密封装置的磁流体两侧存在气压差，是导致泄漏事故的发生的根本原因。图3为本技术实施例的磁流体密封装置的示意图。如图2所示，所述磁流体密封装置适用于真空密封一密封设备，主要包括：传动轴27、驱动器30、密封罩31以及用于控制所述密封罩31内压力的压力控制部件，所述传动轴27的一端与所述密封设备连接，所述传动轴27的另一端与所述驱动器30连接，所述传动轴27的另一端和所述驱动器30共同处于所述密封罩31中，所述压力控制部件连接所述密封罩31。通过增设密封罩31和压力控制部件，利用密封罩31使原来处于大气侧的磁流体处于密封环境中，利用压力控制部件控制密封罩31内的压力，以便于后续应用于密封装备密封时，将密封罩31内的压力控制为与密封装备侧相同，实现磁流体两侧气压差为零(即不存在气压差)，从而避免泄漏事故发生。优选的，所述驱动器30为马达。所述磁流体密封装置还包括位于所述密封罩内的驱动带，所述驱动带的一端与所述驱动器连接，所述驱动带的另一端与所述传动轴连接。驱动带将驱动器的驱动力传递至传送轴，进而迫使传动轴转动。本实施例中，所述压力控制部件包括管本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁流体密封装置，适用于真空密封一密封设备，其特征在于，包括：传动轴、驱动器、密封罩以及用于控制所述密封罩内压力的压力控制部件，所述传动轴的一端与所述密封设备连接，所述传动轴的另一端与所述驱动器连接，所述传动轴的另一端和所述驱动器共同处于所述密封罩中，所述压力控制部件连接所述密封罩。

【技术特征摘要】
1.一种磁流体密封装置，适用于真空密封一密封设备，其特征在于，包括：传动轴、驱动器、密封罩以及用于控制所述密封罩内压力的压力控制部件，所述传动轴的一端与所述密封设备连接，所述传动轴的另一端与所述驱动器连接，所述传动轴的另一端和所述驱动器共同处于所述密封罩中，所述压力控制部件连接所述密封罩。2.如权利要求1所述的磁流体密封装置，其特征在于，所述压力控制部件包括管路及真空泵，所述管路的一端与所述密封罩连接，所述管路的另一端与所述真空泵连接，所述管路上设置有气动阀。3.如权利要求1所述的磁流体密封装置，其特征在于，所述驱动器为马达。4.如权利要求1所述的磁流体密封装置，其特征在于，还包括位于所述密封罩内的驱动带，所述驱动带的一端与所述驱动器连接，所述驱动带的另一端与所述传动轴连接。5.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：王刚，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造天津有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12