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本实用新型公开一种磁流体密封装置，所述磁流体密封装置包括传动轴、驱动器、密封罩以及用于控制所述密封罩内压力的压力控制部件，所述传动轴的一端与所述密封设备连接，所述传动轴的另一端与所述驱动器连接，所述传动轴的另一端和所述驱动器共同处于所述密封...该专利属于中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。