本发明公开了一种无磁极紧凑型磁流体密封旋转轴，包括：旋转轴，与磁流体应用端设备输出轴相连；外壳，套设于旋转轴外；磁流体，填充于旋转轴和外壳之间；永磁体，产生磁场将磁流体封闭在当前位置上；其中，旋转轴上设有用于填充相变材料的空腔，空腔内的...

本实用新型公开了真空设备用高真空磁流体密封联轴器，包括带齿轮传动结构的传动轴、壳体、电机固定套，壳体靠近齿轮的一侧端面与真空设备的真空腔壁固定，传动轴通过其上设置的齿轮传动结构与真空设备内部的齿轮匹配连接，电机固定套内设置伺服电机，并通...

本实用新型公开了一种蓝宝石炉用磁流体密封装置，包括与蓝宝石炉的腔壁连接的壳体、与蓝宝石炉的拉伸轴配合连接的空心传动轴、设置在壳体一端的端盖、锁紧圈，蓝宝石炉的拉伸轴穿过空心传动轴后用锁紧圈锁紧，壳体内设置有悬臂重载结构及磁流体密封结构。...

本实用新型公开了一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置，包括传动轴、壳体及水冷套，壳体与传动轴围成的空腔内设置有磁流体密封结构，水冷套内集成有多通道气路和水路。本实用新型通过传动轴和带多通道气路和水路集成的水冷套构成了轴内部水冷循...

本实用新型公开了细胞培养罐用磁流体密封搅拌装置，包括搅拌轴及壳体，壳体内设置有容纳腔，壳体与细胞培养罐连接的一端上设置有与细胞培养罐顶部螺纹连接的外螺纹，搅拌轴与壳体真空端连接处及端盖与搅拌轴连接处均设置有第一密封圈，容纳腔内设置有磁流...

本实用新型公开了一种大负载真空机械手用多轴传动磁流体密封装置，包括端面静密封法兰、外壳体、内壳体、传动轴，外壳体与端面静密封法兰通过螺栓连接，外壳体与内壳体之间设置有外磁密封机构，内壳体与传动轴之间设置有内磁密封机构，内壳体与外磁密封机...

本实用新型公开了一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，包括传动轴及壳体，传动轴位于壳体内的部分上安装有两个深沟球轴承，该深沟球轴承与传动轴构成稳定的传动系统，壳体位于真空侧一端的端面上设置有端面氟胶O型密封圈，壳体内设置有磁...